シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット用の交換用アタッチメント・チップ（先端）。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様、ナイフエッジ仕様など複数のラインアップ。
Vacuum Tip, Aluminum, 380/450 mm, 30 Down
l 帯電防止アルミ...
シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様など複数のラインアップ。
Vacuum wand set small device (WHS-V2)
l 簡単にセットできるアッセンブリー品
l 静電気防止構造
l 小型デバイス
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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。
Automatic notch aligner (WHS-A3)
l 接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造
l 複数のアライメントプログラム: 標準、薄型/複合ウェハ、エッジ検査
l ±1°ノッチアライメント...
ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。
Manual notch aligner (WHS-A4)
l 接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造
l 200mmウェハ用の上部と下部のノッチアライメント
l ウェハを優しく取り扱うためのバネ式ノッチキャッ...
ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。
Automatic wafer flat aligner (WHS-A1)
l 接地されたウェハとカセットのパスを備えた帯電防止構造
l クリーニングとメンテナンスを簡素化するクイックディスコネクトローラー
l ±1以内の...
パワーサプライ(電源)。デスクトップ型めっき(メッキ)システム(装置)用オプション部品(パーツ)。基板裏面への周り込み無く成膜できるのが特徴。省スペースでリーズナブルコスト。
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品名
型番
用途
Power Supply
PS
with thyristor pre-regulation, LAN Comp.-interface and Coarse/Fine-Po...
ホースポンプ。デスクトップ型めっき(メッキ)システム(装置)用オプション部品(パーツ)。基板裏面への周り込み無く成膜できるのが特徴。省スペースでリーズナブルコスト。
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品名
型番
用途
Hose Pump
HP
application: filling, through-flow and draining of the unit. seals up to 99 °
温度管理。デスクトップ型めっき(メッキ)システム(装置)用オプション。基板裏面への周り込み無く成膜できるのが特徴。省スペースでリーズナブルコスト。
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品名
型番
用途
Temperature Management
TM
up to 80°C, Magnetic stirrer with heating, Pt1000 sensor, glass coated
カバー付き電解液タンク。デスクトップ型めっき(メッキ)システム(装置)用オプション部品(パーツ)。基板裏面への周り込み無く成膜できるのが特徴。省スペースでリーズナブルコスト。
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品名
型番
用途
Electrolyte tank with cover
Tank 3
Glass + Lid PP for quick release couplings and Pt1...
