徴収:
加工装置
ASK
3次元ボールミル装置 3DB-210(分離型 中型)3D Ball Mill system 3DB-210 (Separated medium type)
ASK
原材料/物質を3次元(三次元/3D)の動きでマイクロ・ナノレベルの粒子に粉砕・混合・分散させるデスクトップ型ボールミル装置。新材料(素材)の開発に最適。半導体、化学、医療等。研究開発(R&D)、少量産向け。
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型式
3DB-210
特徴
分離型 中型
主軸
主軸/3次元軸の2軸任意回転設定機能一括運転機構
寸法
680(W)×420(D)×38...
ASK
3次元ボールミル装置 3DB-80(分離型 小型)3D Ball Mill system 3DB-80 (Separated small type)
ASK
原材料/物質を3次元(三次元/3D)の動きでマイクロ・ナノレベルの粒子に粉砕・混合・分散させるデスクトップ型ボールミル装置。新材料(素材)の開発に最適。半導体、化学、医療等。研究開発(R&D)、少量産向け。
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型式
3DB-80
特徴
分離型 小型
主軸
主軸/3次元軸 独自制御式卓上型グローブボックス投入型
寸法
585(W)×310(D)×...
Aタイプ真空チャック(センタリングピン無し)A-type Vacuum chuck without centering pins
定価
¥50,000 から
販売価格
¥50,000 から
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。
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Standard Chucks
Part No.
Model
Description
31857
A-V36-S45-PP-HD
Vacuum chuck without cent...
Cタイプ非真空メカニカルチャック(4センタリングピン)C-type Non-Vacuum, mechanical Chuck with 4 centering pins
定価
¥130,000 から
販売価格
¥130,000 から
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の非真空メカニカルチャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。
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Standard Chucks
Part No.
Model
Description
27819
C-CP4-S100-PP-HD
Non-Vacuum, mechanical Ch...
Dタイプ小片アダプター D-type Fragment Adapter
定価
¥30,000 から
販売価格
¥30,000 から
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。小片/チップ用。
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Standard Chucks
Part No.
Model
Description
26533
D-V10-S50-PP
Fragment adapter, material NPP, vac...
ASK
Jタイプフォイルアダプター J-type Foil Adapter
定価
¥60,000
販売価格
¥60,000
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。小片/チップ用。
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Part No.
Model
Description
38071
J-V17-S50-PP
Foil Adapter, Perforation d=0,5mm, material NPP, vacuum a...
ASK
Model 200 マニュアル式片面テーブルトップマスクアライナー R&D用
ASK
片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。デスク/テーブルトップ式のためコンパクトで設置が簡単。マニュアル式。研究開発(R&D)向け。リーズナブル。OAI製。
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モデル
200
基板 対応サイズ
8インチ角 まで
マスク 対応サイズ
9インチ角 まで
アライメント ステージコントロール
XY 動作 : ±10mmZ 動作 : 1500...
ASK
Model 2000 エッジビード露光システム 量産用向け
ASK
片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学式。全自動/フルオート式。中量産向け。フラッド露光/エッジビード露光が可能。シャドウマスク技術が必要なエッジビード除去工程向け。OAI製。
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モデル
2000
基板 対応サイズ
12インチ径まで
マスク 対応サイズ
-
アライメント ステージコントロール
-
アライメント 精度
-
露光 ...
ASK
Model 212 マニュアル式片面テーブルトップ大面積マスクアライナー R&D用
ASK
片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。ベンチトップ式のためコンパクトで設置が簡単。マニュアル式。研究開発(R&D)向け。リーズナブル。最大12インチまでの中型基板用。OAI製。
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モデル
212
基板 対応サイズ
12インチ角まで
マスク 対応サイズ
14インチ角まで
アライメント ステージコントロール
XY 動作 : ±10mm...
Model 308/308T UV照度計 Model 308/308T Light Meter
定価
¥320,000 から
販売価格
¥320,000 から
定価
単価
/対して
ハンディタイプのUV照度計(パワーメーター/Power Meter)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)も販売。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。
【Model 308】
Relative Accuracy:275-2000 mw/cm2 range: ±(.042% of reading +.4...
Model 308照度計用専用プローブ 220-540nm Probes for Model 308 UV Light Meter
定価
¥220,000 から
販売価格
¥220,000 から
定価
単価
/対して
UV照度計(パワーメーター/Power Meter)モデル308用専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。
※w/Handle、および、高温仕様(High Temp)用のプローブは別価格となります。
Model 308照度計用専用プローブ 220-540nm Probes for Model 308 UV Light Meter
定価
¥200,000 から
販売価格
¥200,000 から
定価
単価
/対して
UV照度計(パワーメーター/Power Meter)モデル308用専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。
※w/Handle、および、高温仕様(High Temp)用のプローブは別価格となります。
ASK
Model 32 UV LED光源
ASK
UV LED光源(ライトソース/Light source)。フォトリソグラフィー/露光/Photolithography用途向けにコリメートされた光源。OAI製。半導体、MEMS、研究開発(R&D)、少量産、中量産向け。
ビーム サイズ 4 ~ 12 インチ sg
波長 365um、405um またはデュアル波長
デュアル波長チューニングが可能
+/- 4% より優れたビーム均一性...
ASK
Model 6000 全自動量産マスクアライナー 量産用
ASK
片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学裏面露光式。全自動/フルオート式。半導体、MEMS、研究開発(R&D)向け。中量産向け。オールコンピューター制御、スループットは1時間に180ウェハが可能。OAI製。
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モデル
6000
基板 対応サイズ
50mm~200mmウェハ/角 もしくは200mm~300mmウェハ/角 100um~7mm...
ASK
Model 6020 大型基板向け自動マスクアライナー 量産用
ASK
片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学式。全自動/フルオート式。液晶/FPD/LCD/フラットパネルディスプレイ、中量産向け。大型基板(最大20″×20″まで)。オールコンピューター制御。OAI製。
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モデル
6020
基板 対応サイズ
12インチ角 – 20インチ角まで
マスク 対応サイズ
14インチ角 – 24インチ角まで
アライ...
ASK
Model 659 UVエネルギーアナライザー
定価
¥2,300,000
販売価格
¥2,300,000
定価
単価
/対して
タッチスクリーン式、USB内蔵のハンディタイプのUV照度計(パワーメーター/Power Meter)。OAI社製で旧型モデル358の後継機種。校正サービスも提供可。専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)も販売。
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model
対応波長帯域
強度レンジ
Model659
365nm – 436nm
~7,500mW/cm2
...
ASK
Model 800E: セミオート両面マスクアライナー R&D/少量産
ASK
両面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学式。トップ面またはボトム面のアライメントが可能。半自動/セミオート式。研究開発(R&D)向け。少量産向け。OAI製。
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モデル
800E
基板 対応サイズ
8インチ角 まで
マスク 対応サイズ
9インチ角 まで
アライメント ステージコントロール
XY 動作 : ±5mm回転 : ±4°
...
ASK
POLOS 300 アドバンスドテーブルトップ POLOS 300 Advanced Table Top
定価
¥3,730,000 から
販売価格
¥3,730,000 から
定価
単価
/対して
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの300mm(12インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※製造終了→後継機種「Spin300x」をお求めください。
詳しくはこちらから
ASK
POLOS Spin150i デスクトップ POLOS Spin150i
定価
¥860,000 から
販売価格
¥860,000 から
定価
単価
/対して
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの150mm(6インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※製造終了→後継機種「Spin150x」をお求めください。
詳しくはこちらから
POLOS Spin150x デスクトップ POLOS Spin150x
定価
¥860,000
販売価格
¥860,000
定価
単価
/対して
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの150mm(6インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。
【使用可能基板サイズ】
最大 φ...
ASK
POLOS Spin200i デスクトップ POLOS Spin200i
定価
¥1,370,000 から
販売価格
¥1,370,000 から
定価
単価
/対して
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの200mm(8インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※製造終了→後継機種「Spin200」をお求めください。
詳しくはこちらから
ASK
POLOS Spin200x デスクトップ POLOS Spin200x【予約品】
定価
¥1,370,000
販売価格
¥1,370,000
定価
単価
/対して
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの200mm(8インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。
【使用可能基板サイズ】
最大 φ...
ASK
POLOS μプリンター POLOS μPrinter
定価
¥8,830,000
販売価格
¥8,830,000
定価
単価
/対して
マスクレス露光(フォトリソグラフィー)を可能にするPOLOSマイクロプリンター。マイクロ構造、複製、スティッチングが可能なソフトフェアを搭載。研究開発(R&D)向け。
POLOS µPrinter Maskless photolithography equipmentSFTprintMachine control software allowing for- microstructu...
ASK
POLOS μライター POLOS μWriter
定価
¥8,220,000
販売価格
¥8,220,000
定価
単価
/対して
光学露光(フォトリソグラフィー)を可能にするPOLOSマイクロライター。コンフォーカル顕微鏡付き。マイクロレーザー制御ソフトウェアを搭載。主に405nmレーザー用。研究開発(R&D)向け。405nm laser, optical system including 3 lenses, confocal microscope with yellow illumination for fo...
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