徴収:
膜付きウェハ
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膜付きウェハ(カスタマイズ)
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膜付きウェハをご希望の仕様に合わせて作製します。
弊社準備のSiウェハ(φ2~φ12インチ等)への成膜、ご支給基板への成膜のいずれのケースにも対応します。
【特徴】
小片~φ300mmサイズの基板まで、枚数 1枚から対応
特殊な基板(小口径、角型、立体、フイルム等) への成膜が可能
保有材料=約120種類!(金属、合金、酸化物、窒化物 etc.)
ターゲット在庫表はこちら
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カッパー(Cu)膜付きシリコンウェハ
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研究/開発用途向け Cu膜付きSiウェハの販売となります。1枚~少量産までご希望の数量をお申し付けください。
【成膜仕様】
方式:スパッタリング(PVD)成膜
膜構成:Sub/Ti/Cu
膜厚公差:狙い値より±10%以内狙い
基板:ウェハ、他 特殊な基板可(小口径、角型、立体、フイルム等)
成膜環境:弊社クリーンルーム(Class 1000)
標準納期:約2~3週間
※基板はご支給または...
ルテニウム(Ru)膜付きシリコンウェハ
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研究/開発用途向け Ru膜付きSiウェハの販売となります。1枚~少量産までご希望の数量をお申し付けください。
【成膜仕様】
方式:スパッタリング(PVD)成膜
膜構成:Sub/Ti/Ru
膜厚公差:狙い値より±10%以内狙い
基板:ウェハ、他 特殊な基板可(小口径、角型、立体、フイルム等)
成膜環境:弊社クリーンルーム(Class 1000)
標準納期:約2~3週間
※基板はご支給または...
ロジウム(Rh)膜付きシリコンウェハ
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研究/開発用途向け Rh膜付きSiウェハの販売となります。1枚~少量産までご希望の数量をお申し付けください。
【成膜仕様】
方式:スパッタリング(PVD)成膜
膜構成:Sub/Rh
膜厚公差:狙い値より±10%以内狙い
基板:ウェハ、他 特殊な基板可(小口径、角型、立体、フイルム等)
成膜環境:弊社クリーンルーム(Class 1000)
標準納期:約2~3週間
※基板はご支給または、弊社...
タングステン(W)膜付きシリコンウェハ
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研究/開発用途向け W膜付きSiウェハの販売となります。1枚~少量産までご希望の数量をお申し付けください。
【成膜仕様】
方式:スパッタリング(PVD)成膜
膜構成:Sub/Ti/W
膜厚公差:狙い値より±10%以内狙い
基板:ウェハ、他 特殊な基板可(小口径、角型、立体、フイルム等)
成膜環境:弊社クリーンルーム(Class 1000)
標準納期:約2~3週間
※基板はご支給または、弊...
ハフニア(HfO2)膜付きシリコンウェハ
ASK
研究/開発用途向け HfO2膜付きSiウェハの販売となります。1枚~少量産までご希望の数量をお申し付けください。
【成膜仕様】
方式:スパッタリング(PVD)成膜
膜構成:Sub/HfO2
膜厚公差:狙い値より±10%以内狙い
基板:ウェハ、他 特殊な基板可(小口径、角型、立体、フイルム等)
成膜環境:弊社クリーンルーム(Class 1000)
標準納期:約2~3週間
※基板はご支給また...
イットリア安定化ジルコニア(YSZ)膜付きシリコンウェハ
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研究/開発用途向け YSZ膜付きSiウェハの販売となります。1枚~少量産までご希望の数量をお申し付けください。
【成膜仕様】
方式:スパッタリング(PVD)成膜
膜構成:Sub/YSZ
膜厚公差:狙い値より±10%以内狙い
基板:ウェハ、他 特殊な基板可(小口径、角型、立体、フイルム等)
成膜環境:弊社クリーンルーム(Class 1000)
標準納期:約2~3週間
※基板はご支給または、...
3インチプラチナ(Pt)膜付きシリコンウェハ ★期間限定キャンペーン実施中
定価
¥40,000 から
販売価格
¥40,000 から
定価
単価
/対して
研究/開発用途 3インチPt膜付きSiウェハの販売となります。枚数 1枚~ご希望の数量をお申し付けください。
【成膜仕様】
方式:スパッタリング(PVD)成膜
膜構成:Sub/Ti/Pt
膜厚公差:狙い値より±10%以内狙い
基板:φ3インチSiウェハ
成膜面:ミラー面
成膜環境:弊社クリーンルーム(Class 1000)
標準納期:ご発注後3営業日(在庫品)
★期間限定キャンペーン(30%...
ASK
4インチプラチナ(Pt)膜付きシリコンウェハ
定価
¥45,000 から
販売価格
¥45,000 から
定価
単価
/対して
研究/開発用途 4インチPt膜付きSiウェハの販売となります。枚数 1枚~ご希望の数量をお申し付けください。
【成膜仕様】
方式:スパッタリング(PVD)成膜
膜構成:Sub/Ti/Pt
膜厚公差:狙い値より±10%以内狙い
基板:φ4インチSiウェハ
成膜面:ミラー面
成膜環境:弊社クリーンルーム(Class 1000)
標準納期:ご発注後3営業日(在庫品)
在庫品 SOLD OUT
(受...
3インチ金(Au)膜付きシリコンウェハ ★期間限定キャンペーン実施中
定価
¥40,000 から
販売価格
¥40,000 から
定価
単価
/対して
研究/開発用途 3インチAu膜付きSiウェハの販売となります。枚数 1枚~ご希望の数量をお申し付けください。
【成膜仕様】
方式:スパッタリング(PVD)成膜
膜構成:Sub/Ti/Au
膜厚公差:狙い値より±10%以内狙い
基板:φ3インチSiウェハ
成膜面:ミラー面
成膜環境:弊社クリーンルーム(Class 1000)
標準納期:ご発注後3営業日(在庫品)
★期間限定キャンペーン(30...
4インチ金(Au)膜付きシリコンウェハ
定価
¥45,000 から
販売価格
¥45,000 から
定価
単価
/対して
研究/開発用途 4インチAu膜付きSiウェハの販売となります。枚数 1枚~ご希望の数量をお申し付けください。
【成膜仕様】
方式:スパッタリング(PVD)成膜
膜構成:Sub/Ti/Au
膜厚公差:狙い値より±10%以内狙い
基板:φ4インチSiウェハ
成膜面:ミラー面
成膜環境:弊社クリーンルーム(Class 1000)
標準納期:ご発注後3営業日(在庫品)
ASK
Ti/Ni/Au (裏面電極)スパッタリング成膜サービス
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Ti/Ni/Au膜の成膜サービスとなります。裏面電極用途等、1枚~少量産までご希望の枚数をご相談ください。
【成膜仕様】
方式:スパッタリング(PVD)成膜
膜構成:Sub/Ti/Ni/Au
膜厚公差:狙い値より ±10%以内狙い
投入基板:ウェハ、他 特殊な基板可(小口径、角型、立体、フイルム等)
成膜環境:弊社クリーンルーム(Class 1000)
標準納期:約2~3週間
※受注生産...
φ4インチ PE-CVD 1μm (片⾯)付Siウェハ
定価
¥132,600 から
販売価格
¥132,600 から
定価
単価
/対して
納期:受注後約2週間
※納期につきましては、枚数やご注文タイミングなどの詳細がわかればもう少し早くに調整することも可能です。
※表示価格は当方標準条件での成膜の場合となります。
1枚からでも加工対応は可能ですが、その場合はセットアップ費用分を別料金で頂くため、価格が大きく変わってきます。ご注意ください。
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