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¥1

シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット。バッテリー(電池)駆動でポータブル。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様など複数のラインアップ。 Cordless portable vacuum wand (WHS-V6) l ウェハ処理用のコードレスバッテリー駆...

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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。 Automatic notch aligner (WHS-A3) l 接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造 l 複数のアライメントプログラム: 標準、薄型/複合ウェハ、エッジ検査 l ±1°ノッチアライメント...

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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。 Manual notch aligner (WHS-A4) l 接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造 l 200mmウェハ用の上部と下部のノッチアライメント l ウェハを優しく取り扱うためのバネ式ノッチキャッ...

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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。 Automatic wafer flat aligner (WHS-A1) l 接地されたウェハとカセットのパスを備えた帯電防止構造 l クリーニングとメンテナンスを簡素化するクイックディスコネクトローラー l ±1以内の...

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カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...

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マニュアルウェハフラットアライナー (WHS-A2) Manual wafer flat aligner

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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。 WHS-A2 シリーズは、76 mm (3インチ) から 150 mm (6インチ) までのウェハの上部と下部のバルクアライメント用に設計された手動ウェハフラットアライナーです。InP、GaAs、GaN、SiC などの複合ウェハ...

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セーフガードウェハトランスファー Safeguard wafer transfer

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オートマチックウェハトランスファー Automatic wafer transfer

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POLOSホットプレート 350アドバンスド POLOS HOTPLATE 350 Advanced

¥2,060,000

プリベーク・ポストベークに適したデスクトップサイズのホットプレート。用途に合わせたカスタマイズが可能。精密温度制御、アラートサウンド機能付き。研究開発(R&D)向け。詳しくはこちらから POLOS Hotplate 350 Advanced• Voltage: 230 VAC Temperature Range: 50 - 230°C - Programmable storage...

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POLOS 450 NPPアドバンスドPPスピンプロセッサー POLOS450 NPP Advanced PP Spin Processor【予約品】

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POLOS 450 アドバンスドシングルサブストレートスピンプロセッサ、デスクトップバージョン、NPP ハウジング、スピンカップ、手動ケミカルディスペンス、ヘビーデューティモーター付き。空気力学的に効率的なチャンバーが均一性を高め、天然ポリプロピレンまたはステンレススチールのプロセスチャンバーが汚染のない、簡単に清掃できるプロセス領域を保証します。すべてのユニットに、プロ...

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POLOS Spin300x アドバンスドスピンコーターテーブルトップ POLOS Spin300x Advanced Spin Coater Tabletop 【予約品】

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1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの300mm(12インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。【使用可能基板サイズ】最大...

POLOS Spin200x デスクトップ POLOS Spin200x【予約品】

¥1,540,000 から

1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの200mm(8インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。【使用可能基板サイズ】最大 φ...

テフロン製ポーラスインレーチャックアダプター Porous PTFE inlay chuck adaptor

¥150,000

多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos Spin 150x用の基板保持用のポーラスインレーチャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。10mm×10mm×100μmt用の真空チャック。6,000rpmも使用可能。詳しくはこちらから

Model 308照度計用専用プローブ 220-540nm Probes for Model 308 UV Light Meter

¥200,000 から

UV照度計(パワーメーター/Power Meter)モデル308用専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。 ※w/Handle、および、高温仕様(High Temp)用のプローブは別価格となります。

¥1,020,000 から

1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの150mm(6インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。【使用可能基板サイズ】最大 φ...

¥35,700,000 から

ナノ粒子を生成するデスクトップ型装置VSP-G1に追加するプリンターのオプション。G1と併用することで基板上へのナノ粒子の印字が可能。20nm以下の高純度無機微粒子をサイズ・純度・粒子成分を制御しながら作成可能。ドライタイプ。スパーク放電。新材料(素材)の開発に最適。半導体、化学、医療等。研究開発(R&D)。詳しくはこちらから

Polos HP200 プレシジョンホットプレート POLOS HP200 Precision Hotplate

¥860,000 から

プリベーク・ポストベークに適したデスクトップサイズのホットプレート。用途に合わせたカスタマイズが可能。精密温度制御、アラートサウンド機能付き。研究開発(R&D)向け。詳しくはこちらから POLOS Hotplate 200 Standard• Voltage: 230 VAC Temperature range: 50 - 230°C - Programmable storage...

Polosスピンプロセッサー用センタリングツール Centering Aid for Polos Spin Processor

¥110,000

多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos Spin150x/200x用のセンタリングツール(治具)。150x用はΦ2～φ6インチ、4インチ□角基板まで、200x用φ2～φ8インチ、6インチ□角基板まで利用が可能。 ※画像は「旧モデルPolos Spin200i用」：参考資料詳しくはこちらから

Polos スピンプロセッサー用ポンプ Vacuum Pump for Spin Processor

¥130,000

多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の真空(バキューム)ポンプ。Spin150x、Spin200xに対応。 ※写真はDP-40V 詳しくはこちらから＜推奨付属部品＞・ポンプの振動を抑えたい場合はこちら（直接当該サイトからご購入ください。）・ポンプを完全に固定したい場合はこちら（直接当該サイトからご購入ください。）

¥80,000 から

多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。小片/チップ用。詳しくはこちらから Part No. Model Description 38071 J-V17-S50-PP Foil Adapter, Perforation d=0,5mm, material NPP, vacuum a...

¥40,000 から

多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。小片/チップ用。詳しくはこちらから Standard Chucks 　　 Part No. Model Description 26533 D-V10-S50-PP Fragment adapter, material NPP, vac...

Cタイプ非真空メカニカルチャック（4センタリングピン）C-type Non-Vacuum, mechanical Chuck with 4 centering pins

¥190,000

多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の非真空メカニカルチャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。詳しくはこちらから

Aタイプ真空チャック（センタリングピン無し）A-type Vacuum chuck without centering pins

¥60,000 から

多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。詳しくはこちらから Standard Chucks 　　 Part No. Model Description 31857 A-V36-S45-PP-HD Vacuum chuck without cent...