徴収:
PHOTOLITHOGRAPHY
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セミオートマチックSMIFポッドオープナー Semi-Automatic SMIF Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。
WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。
これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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マニュアルSMIFポッドオープナー Manual SMIF Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。
WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。
これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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セミオートマチックRSP200ポッドオープナー Semi-Automatic RSP200 Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。
WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。
これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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マニュアルRSP200ポッドオープナー Manual RSP200 Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。
WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。
これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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セミオートマチックRSP150オープナー Semi-Automatic RSP150 Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。
WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。
これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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マニュアルRSP150オープナー Manual RSP150 Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。
WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。
これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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フープ/FOSBオープナー FOUP/FOSB openers
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。
WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。
これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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オートマチックノッチアライナー Automatic notch aligner
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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。
Automatic notch aligner (WHS-A3)
l 接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造
l 複数のアライメントプログラム: 標準、薄型/複合ウェハ、エッジ検査
l ±1°ノッチアライメント...
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マニュアルノッチアライナー Manual notch aligner
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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。
Manual notch aligner (WHS-A4)
l 接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造
l 200mmウェハ用の上部と下部のノッチアライメント
l ウェハを優しく取り扱うためのバネ式ノッチキャッ...
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オートマチックフラットアライナー Automatic flat aligner
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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。
Automatic wafer flat aligner (WHS-A1)
l 接地されたウェハとカセットのパスを備えた帯電防止構造
l クリーニングとメンテナンスを簡素化するクイックディスコネクトローラー
l ±1以内の...
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ウェハソーター Wafer sorter
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カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。
多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
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マニュアルウェハフラットアライナー (WHS-A2) Manual wafer flat aligner
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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。
WHS-A2 シリーズは、76 mm (3インチ) から 150 mm (6インチ) までのウェハの上部と下部のバルクアライメント用に設計された手動ウェハフラットアライナーです。InP、GaAs、GaN、SiC などの複合ウェハ...
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セーフガードウェハトランスファー Safeguard wafer transfer
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カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。
多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
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オートマチックウェハトランスファー Automatic wafer transfer
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カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。
多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
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マニュアルウェハトランスファー Manual wafer transfer
ASK
カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。
多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
POLOSホットプレート 350アドバンスド POLOS HOTPLATE 350 Advanced
定価
¥2,060,000
販売価格
¥2,060,000
定価
単価
/対して
プリベーク・ポストベークに適したデスクトップサイズのホットプレート。用途に合わせたカスタマイズが可能。精密温度制御、アラートサウンド機能付き。研究開発(R&D)向け。
詳しくはこちらから
POLOS Hotplate 350 Advanced• Voltage: 230 VAC
Temperature Range: 50 - 230°C - Programmable storage...
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POLOS 450 NPPアドバンスドPPスピンプロセッサー POLOS450 NPP Advanced PP Spin Processor【予約品】
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POLOS 450 アドバンスド シングル サブストレート スピン プロセッサ、デスクトップ バージョン、NPP ハウジング、スピンカップ、手動ケミカル ディスペンス、ヘビー デューティ モーター付き。空気力学的に効率的なチャンバーが均一性を高め、天然ポリプロピレンまたはステンレス スチールのプロセス チャンバーが汚染のない、簡単に清掃できるプロセス領域を保証します。すべてのユニットに、プロ...
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POLOS Spin300x アドバンスドスピンコーターテーブルトップ POLOS Spin300x Advanced Spin Coater Tabletop 【予約品】
ASK
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの300mm(12インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。
【使用可能基板サイズ】
l ...
POLOS Spin200x デスクトップ POLOS Spin200x【予約品】
定価
¥1,540,000 から
販売価格
¥1,540,000 から
定価
単価
/対して
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの200mm(8インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。
【使用可能基板サイズ】
l 最大...
POLOS Spin150x デスクトップ POLOS Spin150x
定価
¥1,020,000 から
販売価格
¥1,020,000 から
定価
単価
/対して
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの150mm(6インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。
【使用可能基板サイズ】
l 最大...
デスクトップナノ粒子生成装置VSP P-1+G1
定価
¥35,700,000 から
販売価格
¥35,700,000 から
定価
単価
/対して
ナノ粒子を生成するデスクトップ型装置VSP-G1に追加するプリンターのオプション。G1と併用することで基板上へのナノ粒子の印字が可能。20nm以下の高純度無機微粒子をサイズ・純度・粒子成分を制御しながら作成可能。ドライタイプ。スパーク放電。新材料(素材)の開発に最適。半導体、化学、医療等。研究開発(R&D)。
詳しくはこちらから
Polos HP200 プレシジョンホットプレート POLOS HP200 Precision Hotplate
定価
¥860,000 から
販売価格
¥860,000 から
定価
単価
/対して
プリベーク・ポストベークに適したデスクトップサイズのホットプレート。用途に合わせたカスタマイズが可能。精密温度制御、アラートサウンド機能付き。研究開発(R&D)向け。
詳しくはこちらから
POLOS Hotplate 200 Standard• Voltage: 230 VAC
Temperature range: 50 - 230°C - Programmable storage...
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POLOS μライター POLOS μWriter
定価
¥8,220,000
販売価格
¥8,220,000
定価
単価
/対して
光学露光(フォトリソグラフィー)を可能にするPOLOSマイクロライター。コンフォーカル顕微鏡付き。マイクロレーザー制御ソフトウェアを搭載。主に405nmレーザー用。研究開発(R&D)向け。405nm laser, optical system including 3 lenses, confocal microscope with yellow illumination for fo...
ASK
POLOS μプリンター POLOS μPrinter
定価
¥9,460,000
販売価格
¥9,460,000
定価
単価
/対して
マスクレス露光(フォトリソグラフィー)を可能にするPOLOSマイクロプリンター。マイクロ構造、複製、スティッチングが可能なソフトフェアを搭載。研究開発(R&D)向け。
POLOS µPrinter Maskless photolithography equipmentSFTprintSFTprint with 435nm light source Machine control so...
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