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定価 ¥450,000
販売価格 ¥450,000
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FURON(ヒューロン)UPM2-646NC Furon Valve 3個セット。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)プラテンシャワー(純水)用。
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・品名:M1020 2PH Motor Repair kit (N) ・Description:Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。 ・純正P/N:CM010HK30
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・品名:M1020 2PH Motor Repair kit (O) ・Description:Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。 ・純正P/N:CM010HK20
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・品名:M350 2PH Motor Repair Kit ・Description:Cryo Torr-8、8F、250FクライオポンプまたはOn Board-8、8F、250Fクライオポンプ用。 ・純正P/N:CM008HK20
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・品名:CT/OB-10 15K Array ・Description:Cryo Torr-10クライオポンプまたはOn Board-10クライオポンプに適しています。 ・純正P/N:CT010V030
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・品名:CT/OB-8 15K Array ・Description:Cryo Torr-8クライオポンプまたはOn Board-8クライオポンプに適しています。 ・純正P/N:CT008V030
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CMP装置用リテーナーリング。材質はX3G、PEEK、PET 等。6インチ(150mm)用。東京精密(ACCRETECH/TSK) CHAMP211用。表面仕上げの有り、無しで選択可能。 ※リテーナーリング(樹脂部)のみ。メンブレン部は含みません。※写真は代表的なリテーナーリングのため、実物と異なる場合があります。
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CMP装置用リテーナーリング。材質はX3G、PEEK、PET 等。8インチ(200mm)用。東京精密(ACCRETECH/TSK) CHAMP211用。表面仕上げの有り、無しで選択可能。 ※リテーナーリング(樹脂部)のみ。メンブレン部は含みません。※写真は代表的なリテーナーリングのため、実物と異なる場合があります。
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定価 ¥8,500,000
販売価格 ¥8,500,000
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CMP装置用FABSロボットの再生済中古品。ローツェ(Rorze)製。修理後のロボットは専用のテスト機での動作確認を実施。メーカー型式はRR700L150-Z30-010。フルオーバーホールの対応も可能。 ※納期:受注後5~7週間※中古品につきタイミングによっては売り切れの場合があります。
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エッチング(Etching)装置用の石英(クォーツ/Quatz)アプリケーター(コイル付きチューブAssy)の販売。12インチ(300mm)用。LAM Versys kiyo用。P/N: 765-065782-001用など。
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CVD装置用V452 SBCボードの互換品の新品販売。P/N: 0090-03467/0090-76133の互換品。納期:受注後8~10週間。
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CMP装置用パッドコンディショナーローテーションギアボックスの販売。非純正(2ndソース)モデル。内部シール、ギアデザインの改善モデル。NEMA 17マウント(Mount), 22:1(Rotation)。8インチ/200mm用。P/N:BW304PS11納期:受注後2週間。
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CMP装置用パッドコンディショナーローテーションギアボックスの販売。純正(OEM)モデル。NEMA 17マウント(Mount), 22:1(Rotation)。8インチ/200mm用。P/N:BW304PS03納期:受注後22週間。
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CVD装置用TXZヒーター(TXZ Heater)。P/N:0010-28715の互換品。AMAT CVD装置Centura TXZチャンバー用。300mm用形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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CMP装置用のガスケットロボットブレード。TITAN-I/1ヘッド用。AMAT Mirra用のラインアップ。P/N:0020-78177の互換品。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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CMP装置用の8.0 ロードカップ用ペデスタルパッド。TITAN-I/1ヘッド用。AMAT Mirra用のラインアップ。P/N:0021-24557の互換品。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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Conpact Flash(CF) ACD-73100用のCFカード(メディア)。SCSI通信規格専用。主にAMATの装置(Centura/Endura/Producer等への互換性)。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。 ※メディアの記憶容量も都度変わりますのでご注意ください。
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CMP装置用のパッドコンディショナースイッチングバルブ。Parker製バルブアッシーに置き換わる改良タイプ。リーク問題の改善、「プラグ&プレイ」で装置へのインストールが簡単(15分以内)、寿命5年以上の性能改善モデル。TITAN-I/1ヘッド用。AMAT Mirra用のラインアップ。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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エッチング(Etching)装置用のDPSスロットルバルブリードスクリューAssy の販売。8インチ(200mm)、AMATメタルDPS用。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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エッチング(Etching)装置用のスロットルバルブAssyの販売。5フェーズ、ベルトタイプ、8インチ(200mm)、AMATメタルDPS用。P/N:0010-30135の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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CMP装置用の改良型ウェハセンサー。TITAN-I/1ヘッド用。センサー中央部に圧力がかかった時にのみ反応。誤検知によるローディングエラーの問題を改善。AMAT Mirra用のラインアップ。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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CMP装置用キャリアプレート/メンブレンサポート。TITAN-I/1ヘッド用。純正P/N:0020-79088の互換品。AMAT Mirra用のラインアップ。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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CMP装置用PPSセンタリングジョー/アーム。純正P/N:0020-78932等の互換品。材質はPPS(※純正はPEEK)。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。AMAT Mirra用のラインアップ。
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CMP装置用リテーナーリング。材質はPPS。12インチ(300mm)用。AMAT Reflexion/LK用。P/N:0241-04012/0041-75394/0247-01552/0040-97734等の互換品。