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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。 ・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。 ・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...
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真空ピンセット(Vacuum wands)用コード。このコードは、PU素材、導電性ポリウレタン素材から作られており、手触りの良い軽量な 「バネ 」フィーリングを確保しながら、摩耗や圧着に対する弾力性を確保しています。特にISO 3クリーンルーム環境で高いパフォーマンスを発揮します。   Coil cord conductive polyurethane (WHS-V3) l頑丈な圧着防止...
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シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット用のハンドル・グリップ・取っ手。   l  通常オープンのユニバーサルワンドハンドル l  静電気防止構造 l  大型グリップ   Vacuum wand handle normally open pressfit antistatic large grip (W...
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シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット用の交換用アタッチメント・チップ(先端)。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様、ナイフエッジ仕様など複数のラインアップ。   Vacuum Tip, Aluminum, 380/450 mm, 30 Down l  帯電防止アル...
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シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様など複数のラインアップ。     Vacuum wand set small device (WHS-V2) l  簡単にセットできるアッセンブリー品 l  静電気防止構造 l  小型デバイス...
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SPIN150xのリッド(蓋)とボウル/チャンバー部に装着する汚れ防止カバー。1パック20セット入り。ライナーを使用することでリッド(蓋)とボウル/チャンバー部の洗浄工程を省くことができます。   ・両面に均一な優れた帯電防止特性を持つ非晶質ポリエステル製のコスト効率の高い透明ハードホイル ・スピンプロセス終了後、SPIN150xのリッド(蓋)とボウルセットを交換、または簡易洗浄で再利用でき...
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定価 ¥1
販売価格 ¥1
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シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット。バッテリー(電池)駆動でポータブル。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様など複数のラインアップ。   l  ウェハ処理用のコードレスバッテリー駆動式バキュームピンセット l  自動オン機能。ピックアップ時に起動し、ドッキング時...
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自動(オート操作)でウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチウェハに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。150mm(6インチ)、200mm(8インチ)用ウェハに対応した商品ラインアップ。   l  接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造 l  複数のアライメントプログラム: 標準、薄型/複合ウェハ、エッジ検...
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手動(マニュアル操作)でウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチウェハに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。150mm(6インチ)、200mm(8インチ)用ウェハに対応した商品ラインアップ。   l  接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造 l  200mmウェハ用の上部と下部のノッチアライメント l  ウ...
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自動(オート操作)でウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。オリフラウェハに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。76mm(3インチ)、100mm(4インチ)、150mm(6インチ)、200mm(8インチ)用ウェハに対応した商品ラインアップ。   l  接地されたウェハとカセットのパスを備えた帯電防止構造 l  クリーニングとメ...
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100/150/200mmウェハに対応した自動ウェハソーター。IDに基づく分割・結合・圧縮やカスタムミックス作成が可能。傾斜ステージロードポートやリニアロボット、高精度な光学フラットアライナーと標準のIDリーダー(OCR/バーコード/データマトリックス対応のCognexまたはIOSS選択可)を備え、SECS/GEM互換ソフトウェアでロット・ID追跡やMRPによる部分的リモート制御が可能で生産...
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手動(マニュアル操作)でウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。オリフラウェハに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。76mm(3インチ)、100mm(4インチ)、150mm(6インチ)用ウェハに対応した商品ラインアップ。   WHS-A2シリーズは76 mmから150 mmのウェーハに対応する手動フラットアライナーです。InP、...
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ウェハ(25枚など)を別カセット(キャリア/キャリヤ)へ移動させるためのセーフガード用カバー・搬送機能付きのオートマチック(自動)式ウェハトランスファー(ウェハ移動ツール)。76mm(3インチ)、100mm(4インチ)、150mm(6インチ)、200mm(8インチ)用ウェハに対応した商品ラインアップ。     l  76 mm ~ 300 mm のウェハ用の精密ロボット制御 l  薄い、反り...
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  ウェハ(25枚など)をカセット(キャリア/キャリヤ)toカセットで移動させるためのオートマチック(自動)式ウェハトランスファー(ウェハ移動ツール)。76mm(3インチ)、100mm(4インチ)、150mm(6インチ)、200mm(8インチ)用ウェハに対応した商品ラインアップ。     l  SEMI準拠カセット間の自動ウェハ転送 l  76mm、100mm、150mm、200mmウェハに...
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ウェハ(25枚など)をカセット(キャリア/キャリヤ)toカセットで移動させるためのマニュアル(手動)式ウェハトランスファー(ウェハ移動ツール)。76mm(3インチ)、100mm(4インチ)、150mm(6インチ)、200mm(8インチ)用ウェハに対応した商品ラインアップ。 l  76 mm ~ 200 mm のウェハを手動で搬送 l  UHMW ベアリングを備えたメンテナンスフリーのスライ...
定価 ¥2,190,000
販売価格 ¥2,190,000
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プリベーク・ポストベークに適したデスクトップサイズのホットプレート。用途に合わせたカスタマイズが可能。精密温度制御、アラートサウンド機能付き。研究開発(R&D)向け。 詳しくはこちらから 【電圧:230 VAC】 温度範囲:50~230°C - 20プログラム(温度/時間)の保存機能付き - 音響アラーム付きカウントダウンタイマー(1~999秒) - 温度均一性 ±1.0°C - ...
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POLOS 450 アドバンスド シングル サブストレート スピン プロセッサ、デスクトップ バージョン、NPP ハウジング、スピンカップ、手動ケミカル ディスペンス、ヘビー デューティ モーター付き。空気力学的に効率的なチャンバーが均一性を高め、天然ポリプロピレンまたはステンレス スチールのプロセス チャンバーが汚染のない、簡単に清掃できるプロセス領域を保証します。すべてのユニットに、プロ...
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1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの300mm(12インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。 【使用可能基板サイズ】 l  ...
定価 ¥1,640,000 から
販売価格 ¥1,640,000 から
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1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの200mm(8インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。 【使用可能基板サイズ】 l  最大...
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多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos Spin 150x用の基板保持用のポーラスインレーチャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。10mm×10mm×100μmt用の真空チャック。6,000rpmも使用可能。 詳しくはこちらから チャックタイプ(型番)の見方はこちら
定価 ¥200,000 から
販売価格 ¥200,000 から
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UV照度計(パワーメーター/Power Meter)モデル308用専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。 ※w/Handle、および、高温仕様(High Temp)用のプローブは別価格となります。
定価 ¥1,080,000 から
販売価格 ¥1,080,000 から
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1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの150mm(6インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。 【使用可能基板サイズ】 l  最大...
定価 ¥35,700,000 から
販売価格 ¥35,700,000 から
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ナノ粒子を生成するデスクトップ型装置VSP-G1に追加するプリンターのオプション。G1と併用することで基板上へのナノ粒子の印字が可能。20nm以下の高純度無機微粒子をサイズ・純度・粒子成分を制御しながら作成可能。ドライタイプ。スパーク放電。新材料(素材)の開発に最適。半導体、化学、医療等。研究開発(R&D)。 詳しくはこちらから
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定価 ¥1,100,000
販売価格 ¥1,100,000
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パワーサプライ(電源)。デスクトップ型めっき(メッキ)システム(装置)用オプション部品(パーツ)。基板裏面への周り込み無く成膜できるのが特徴。省スペースでリーズナブルコスト。 詳しくはこちらから 品名 型番 用途 Power Supply PS with thyristor pre-regulation, LAN Comp.-interface and Coarse/Fine-Po...