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加工装置

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定価 ¥1,900,000
販売価格 ¥1,900,000
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パソコンやディスク等の磁気データを消去する装置。記録メディア(2.5/3.5インチHDD、CMT、LTO、DAT、DLT、VHS等)内に保管されたデータを瞬時に消去可能。レンタルサービスも実施。 詳しくはこちらから タイプ PRO-L10 特徴 処理能力最大の据置型 製品名称(型番) EPL10-302 消去対象メディア 発生磁界 750kA/m 電源定格 A...
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定価 ¥800,000
販売価格 ¥800,000
定価
単価
対して 
パソコンやディスク等の磁気データを消去する装置。記録メディア(2.5/3.5インチHDD、CMT、LTO、DAT、DLT、VHS等)内に保管されたデータを瞬時に消去可能。レンタルサービスも実施。 詳しくはこちらから タイプ PRO-M02 特徴 厚型HDD対応のプロ仕様 製品名称(型番) EPM02-302/332 消去対象メディア 発生磁界 820kA/m ...
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定価 ¥800,000
販売価格 ¥800,000
定価
単価
対して 
パソコンやディスク等の磁気データを消去する装置。記録メディア(2.5/3.5インチHDD、CMT、LTO、DAT、DLT、VHS等)内に保管されたデータを瞬時に消去可能。レンタルサービスも実施。 詳しくはこちらから タイプ PRO-P02 特徴 発生磁界を追求したパワーモデル 製品名称(型番) EPP02-302/332 消去対象メディア 発生磁界 1120kA/...
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定価 ¥550,000
販売価格 ¥550,000
定価
単価
対して 
パソコンやディスク等の磁気データを消去する装置。記録メディア(2.5/3.5インチHDD、CMT、LTO、DAT、DLT、VHS等)内に保管されたデータを瞬時に消去可能。レンタルサービスも実施。 詳しくはこちらから タイプ PRO-S01 特徴 消去装置のスタンダード 製品名称(型番) EPS01-302/332 消去対象メディア 発生磁界 750kA/m 電...
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定価 ¥3,000,000
販売価格 ¥3,000,000
定価
単価
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ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。半導体製造装置用部品(パーツ)のデポ(付着物)除去に有効。エッチング工程向け。精密洗浄。CO2洗浄。 詳しくはこちらから 仕様 本体寸法(mm) 450(W)×450(D)×780(H)  本体重量 40kg~80kg (軽量化はオプション) ガン寸法 重量 24(W)...
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定価 ¥5,500,000
販売価格 ¥5,500,000
定価
単価
対して 
ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。半導体製造装置用部品(パーツ)のデポ(付着物)除去に有効。エッチング工程向け。精密洗浄。CO2洗浄。 詳しくはこちらから 仕様 本体寸法(mm) 500(W)×650(D)×885(H) 本体重量 130kg ガン寸法 重量 36(W)×450(D)×160(H) 96...
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定価 ¥120,000,000
販売価格 ¥120,000,000
定価
単価
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デスクトップ式ナノパターン露光(フォトリソグラフィー)装置。タルボ効果を利用し周期構造に対してハーフピッチ150nmの一括露光が可能。電子ビーム描画レベルの解像度で周期性をもったデバイス開発に最適。DUV光源選択時にはハーフピッチ75nmの一括露光も可能。 詳しくはこちらから ナノパターン露光装置PhableR 100の仕様 解像度 150nm ハーフピッチ(リニアグレーティング)*D...
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定価 ¥2,500,000
販売価格 ¥2,500,000
定価
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タッチスクリーン式、USB内蔵のハンディタイプのUV照度計(パワーメーター/Power Meter)。OAI社製で旧型モデル358の後継機種。校正サービスも提供可。専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)も販売。 詳しくはこちらから model 対応波長帯域 強度レンジ Model659 365nm – 436nm ~7,500mW/cm2   ...
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片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学式。全自動/フルオート式。中量産向け。フラッド露光/エッジビード露光が可能。シャドウマスク技術が必要なエッジビード除去工程向け。OAI製。 詳しくはこちらから モデル 2000 基板 対応サイズ 12インチ径まで マスク 対応サイズ - アライメント ステージコントロール - アライメント 精度 - 露光 ...
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UV光源(ライトソース/Light source)。フォトリソグラフィー/露光/Photolithography用途向けにコリメートされた光源。OAI製。半導体、MEMS、研究開発(R&D)、少量産、中量産向け。多様なビームサイズに対応。 詳しくはこちらから モデル タイプ ビームサイズ 波長帯域 出力レンジ シャッタータイム Model 30 UVライトソース 2" ...
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UV LED光源(ライトソース/Light source)。フォトリソグラフィー/露光/Photolithography用途向けにコリメートされた光源。OAI製。半導体、MEMS、研究開発(R&D)、少量産、中量産向け。 ビーム サイズ 4 ~ 12 インチ sg 波長 365um、405um またはデュアル波長 デュアル波長チューニングが可能 +/- 4% より優れたビーム均一性...
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片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学式。全自動/フルオート式。液晶/FPD/LCD/フラットパネルディスプレイ、中量産向け。大型基板(最大20″×20″まで)。オールコンピューター制御。OAI製。 詳しくはこちらから モデル 6020 基板 対応サイズ 12インチ角 – 20インチ角まで マスク 対応サイズ 14インチ角 – 24インチ角まで アライ...
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片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学裏面露光式。全自動/フルオート式。半導体、MEMS、研究開発(R&D)向け。中量産向け。オールコンピューター制御、スループットは1時間に180ウェハが可能。OAI製。 詳しくはこちらから モデル 6000 基板 対応サイズ 50mm~200mmウェハ/角 もしくは200mm~300mmウェハ/角 100um~7mm...
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両面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学式。トップ面またはボトム面のアライメントが可能。半自動/セミオート式。研究開発(R&D)向け。少量産向け。OAI製。 詳しくはこちらから モデル 800E 基板 対応サイズ 8インチ角 まで マスク 対応サイズ 9インチ角 まで アライメント ステージコントロール XY 動作 : ±5mm回転 : ±4° ...
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片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。ベンチトップ式のためコンパクトで設置が簡単。マニュアル式。研究開発(R&D)向け。リーズナブル。最大12インチまでの中型基板用。OAI製。 詳しくはこちらから モデル 212 基板 対応サイズ 12インチ角まで マスク 対応サイズ 14インチ角まで アライメント ステージコントロール XY 動作 : ±10mm...
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片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。デスク/テーブルトップ式のためコンパクトで設置が簡単。マニュアル式。研究開発(R&D)向け。リーズナブル。OAI製。 詳しくはこちらから モデル 200 基板 対応サイズ 8インチ角 まで マスク 対応サイズ 9インチ角 まで アライメント ステージコントロール XY 動作 : ±10mmZ 動作 : 1500...
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定価 ¥40,000,000
販売価格 ¥40,000,000
定価
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UV露光(リソグラフィー)を行うためのナノインプリント装置。樹脂やフィルムのような凹凸、うねりのある基板へのパターン転写に適した装置。半自動(セミオート式)。樹脂(ポリマー)を塗布した基板とソフトモールドを密着させる方式。 真空・加圧が必要ないシンプルな構成 解像度:100nmレベルでの微細構造パターン製作 高い生産性(スループットは1~2分) 従来のナノインプリント装置に比べ、高い残膜制...
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定価 ¥6,000,000
販売価格 ¥6,000,000
定価
単価
対して 
UV露光(リソグラフィー)を行うためのナノインプリント装置。樹脂やフィルムのような凹凸、うねりのある基板へのパターン転写に適した装置。マニュアル式。樹脂(ポリマー)を塗布した基板とソフトモールドを密着させる方式。 真空・加圧が必要ないシンプルな構成 解像度:100nmレベルでの微細構造パターン製作 高い生産性(スループットは1~2分) 従来のナノインプリント装置に比べ、高い残膜制御性(15...