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オリジナルCMP装置のMATTDOL Plus(マトドルト プラス)。Mirra機のコンセプトを受け。継ぎ、操作性・メンテ性を容易にしたCMP装置。オプションでWAIS(ディフェクトモニタリングシステム、TM5(厚さ測定)を搭載することも可能。
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