オリジナルCMP装置 MATTDOL Plus 6インチ、8インチ用

オリジナルCMP装置のMATTDOL Plus（マトドルト プラス）。Mirra機のコンセプトを受け。継ぎ、操作性・メンテ性を容易にしたCMP装置。オプションでWAIS(ディフェクトモニタリングシステム、TM5（厚さ測定）を搭載することも可能。