徴収:
PVD
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ロワーシールド 8インチ用 Lower Shield 8inch
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PVD装置用ロワーシールド 8インチ(200mm)用の販売。AMAT(Applied Materials) ENDURA用。P/N:0020-29344の互換品。
※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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M1020 2PH Motor Repair kit (N) CM010HK30
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・品名:M1020 2PH Motor Repair kit (N)
・Description:Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。
・純正P/N:CM010HK30
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M1020 2PH Motor Repair kit (O) CM010HK20
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・品名:M1020 2PH Motor Repair kit (O)
・Description:Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。
・純正P/N:CM010HK20
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M350 2PH Motor Repair Kit CM008HK20
ASK
・品名:M350 2PH Motor Repair Kit
・Description:Cryo Torr-8、8F、250FクライオポンプまたはOn Board-8、8F、250Fクライオポンプ用。
・純正P/N:CM008HK20
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CT/OB-10 15K Array CT010V030
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・品名:CT/OB-10 15K Array
・Description:Cryo Torr-10クライオポンプまたはOn Board-10クライオポンプに適しています。
・純正P/N:CT010V030
ASK
CT/OB-8 15K Array CT008V030
ASK
・品名:CT/OB-8 15K Array
・Description:Cryo Torr-8クライオポンプまたはOn Board-8クライオポンプに適しています。
・純正P/N:CT008V030
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CFユニット(ACD-73100)用CFカード CF Card for CF Unit (ACD-73100)
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Conpact Flash(CF) ACD-73100用のCFカード(メディア)。SCSI通信規格専用。主にAMATの装置(Centura/Endura/Producer等への互換性)。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
※メディアの記憶容量も都度変わりますのでご注意ください。
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PC/FC-98➡Windows 10変換エミュレーター PC/FC-98 to Windows 10 Conversion Emulator
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NEC製PC-9800/FC-9800シリーズのOS/アプリケーションで動いている設備を、既存設備の改良なしでそのまま最新Windows PC上で動作(エミュレート)させることができる老朽化延命対策ソリューション。
老朽化したPC-98の、いつ起こるかわからない障害に対する不安を解消
生産設備全体のリプレースの必要はなく、生産設備の要である制御用PCのみをリプレース
評価不要のため低コス...
マグネットAssy MAGNET ASSY
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PVD(スパッタリング)装置用マグネットAssyの販売。AMAT(Applied Materials) ENDURA用。P/N:0010-20224の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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PRF補助用 樹脂製ローラー Polymer Roller for PRF assistance
定価
¥7,000
販売価格
¥7,000
定価
単価
/対して
チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する樹脂製ローラー。真空台上で吸着したCCWに、Particle Removal Film(PRF)を気泡を追い出しながら押し当てるためのパーツ。
詳しくはこちらから
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AMAT CVGアッセンブリーアップグレード AMAT CVG Assembly Upgrade External Resistor Upgrade for Legacy tools
定価
¥620,000
販売価格
¥620,000
定価
単価
/対して
CVGアッセンブリーのアップグレードモデル。セラミックレジスターとクォーツチューブを取り除いたデザイン。0021-23550/0021-10296/0020-09602/0020-10134/0040-05294/0040-02938の互換品。AMAT ENDURA、P5000、Centura用。Input Block、Output Block/DLH SACVD CVG/DLH SiN/P...
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CCW再生用_樹脂製真空台用_真空ポンプ Vacuum Pump for polymer vacuum plate for CCW recycle
定価
¥90,000
販売価格
¥90,000
定価
単価
/対して
日東工器社製真空ポンプ。P/N:VP0940。チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する真空台用の専用ポンプ。真空到達圧:-53.3kPa、吐出空気量:60L/min。付属品:φ6エアーチューブ(2m)、エアーON/OFFハンドバルブ、サイレンサー付き。
詳しくはこちらから
樹脂製真空台 2層 12,8,6,5,4インチ 各インチ専用タイプ
定価
¥200,000 から
販売価格
¥200,000 から
定価
単価
/対して
樹脂製真空台 2層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の専用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。
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樹脂製真空台 3層 12,8,6,5,4インチプレート交換可能タイプ
定価
¥310,000 から
販売価格
¥310,000 から
定価
単価
/対して
樹脂製真空台 3層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の兼用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。各インチ用プレートが必要。
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チャッククリーニングウェハ(CCW) 6025ガラスマスク用 Chuck Cleaning Wafer for Glass Mask 6025
ASK
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。
RNC-MCP-8601-CS(MCP-8601-CS), RNCM-0601S2G8(MC...
ディフェクトリムーバルフィルム(DRF) Defect Removal Film (DRF)
ASK
チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。フォトリソ/露光用CCW専用。
RNC-DRF-1255(DRF-1255), RNC-DRF-1038(DRF-1038), RNC-DRF-1593(DRF-1593)
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パーティクルリムーバルフィルム(PRF) Particle Removal Film (PRF)
定価
¥29,000 から
販売価格
¥29,000 から
定価
¥0
単価
/対して
チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。ETCH(エッチング)/スパッタ(PVD)用CCW専用。
RNP-PRF-1255(PRF-1255-BL), RNP-PRF-1038(PRF-1038-BL), RNP-PRF-1593(PRF-1593-BL), RNP-PRF-1138(...
チャッククリーニングウェハ(CCW) 12インチ Chuck Cleaning Wafer 12 inch
ASK
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。
RNC-SCB-0015NG7(CCW-7015-01-SC4-HT), RNC-SCB-0...
チャッククリーニングウェハ(CCW) 8インチ Chuck Cleaning Wafer 8 inch
定価
¥172,000
販売価格
¥172,000
定価
単価
/対して
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。
RNC-SCB-0043NG7(CCW-7043-01-SC4-HT), RNC-SCB-0...
チャッククリーニングウェハ(CCW) 6インチ Chuck Cleaning Wafer 6 inch
ASK
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。
RNC-15B-0022J(CCW-7022J-01-150-FL), RNC-15B-00...
チャッククリーニングウェハ(CCW) 5インチ Chuck Cleaning Wafer 5 inch
ASK
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。
RNC-15B-0021F(CCW-7021-01-150-FL), RNC-15B-002...
チャッククリーニングウェハ(CCW) 4インチ Chuck Cleaning Wafer 4 inch
定価
¥79,000
販売価格
¥79,000
定価
単価
/対して
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。
RNC-25A-0020F(CCW-7020-001-257-FL), RNC-15B-00...
フロッピーディスク(FD)⇒SDカード変換型ユニット「Masty」
定価
¥3,500 から
販売価格
¥3,500 から
定価
単価
/対して
製造/生産中止のフロッピーディスク(FD/Floppy Disk)をSDカードに置き換えるための変換機器/アダプター。PC/FC9801、AT互換機に対応。SCSI通信規格用も別途ラインアップ。
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ライトペン Light Pen
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CRTモニターに使用されているライトペン。AMAT CVD/スパッタ(PVD)/イオン注入(IMP)/Centura/Endura/Producer/P5000/PI9500や、Therma-Wave社膜厚測定器(OPシリーズ)などで実績があり。
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