PVD

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PVD装置用ロワーシールド 8インチ(200mm）用の販売。AMAT(Applied Materials) ENDURA用。P/N:0020-29344の互換品。 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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M1020 2PH Motor Repair kit (N) CM010HK30

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・品名：M1020 2PH Motor Repair kit (N) ・Description：Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。・純正P/N：CM010HK30

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M1020 2PH Motor Repair kit (O) CM010HK20

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・品名：M1020 2PH Motor Repair kit (O) ・Description：Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。・純正P/N：CM010HK20

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・品名：M350 2PH Motor Repair Kit ・Description：Cryo Torr-8、8F、250FクライオポンプまたはOn Board-8、8F、250Fクライオポンプ用。・純正P/N：CM008HK20

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・品名：CT/OB-10 15K Array ・Description：Cryo Torr-10クライオポンプまたはOn Board-10クライオポンプに適しています。・純正P/N：CT010V030

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・品名：CT/OB-8 15K Array ・Description：Cryo Torr-8クライオポンプまたはOn Board-8クライオポンプに適しています。・純正P/N：CT008V030

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CFユニット(ACD-73100)用CFカード CF Card for CF Unit (ACD-73100)

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Conpact Flash(CF) ACD-73100用のCFカード(メディア)。SCSI通信規格専用。主にAMATの装置(Centura/Endura/Producer等への互換性)。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。 ※メディアの記憶容量も都度変わりますのでご注意ください。

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PC/FC-98➡Windows 10変換エミュレーター PC/FC-98 to Windows 10 Conversion Emulator

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NEC製PC-9800/FC-9800シリーズのOS/アプリケーションで動いている設備を、既存設備の改良なしでそのまま最新Windows PC上で動作(エミュレート)させることができる老朽化延命対策ソリューション。老朽化したPC-98の、いつ起こるかわからない障害に対する不安を解消生産設備全体のリプレースの必要はなく、生産設備の要である制御用PCのみをリプレース評価不要のため低コス...

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PVD(スパッタリング)装置用マグネットAssyの販売。AMAT(Applied Materials) ENDURA用。P/N:0010-20224の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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PRF補助用樹脂製ローラー Polymer Roller for PRF assistance

¥7,000

チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する樹脂製ローラー。真空台上で吸着したCCWに、Particle Removal Film(PRF)を気泡を追い出しながら押し当てるためのパーツ。詳しくはこちらから

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AMAT CVGアッセンブリーアップグレード AMAT CVG Assembly Upgrade External Resistor Upgrade for Legacy tools

¥620,000

CVGアッセンブリーのアップグレードモデル。セラミックレジスターとクォーツチューブを取り除いたデザイン。0021-23550/0021-10296/0020-09602/0020-10134/0040-05294/0040-02938の互換品。AMAT ENDURA、P5000、Centura用。Input Block、Output Block/DLH SACVD CVG/DLH SiN/P...

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CCW再生用_樹脂製真空台用_真空ポンプ Vacuum Pump for polymer vacuum plate for CCW recycle

¥90,000

日東工器社製真空ポンプ。P/N:VP0940。チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する真空台用の専用ポンプ。真空到達圧:-53.3kPa、吐出空気量:60L/min。付属品：φ6エアーチューブ(2m)、エアーON/OFFハンドバルブ、サイレンサー付き。詳しくはこちらから

¥170,000 から

樹脂製真空台 2層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の専用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。詳しくはこちらから

¥280,000 から

樹脂製真空台 3層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の兼用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。各インチ用プレートが必要。詳しくはこちらから

チャッククリーニングウェハ(CCW) 6025ガラスマスク用 Chuck Cleaning Wafer for Glass Mask 6025

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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 RNC-MCP-8601-CS(MCP-8601-CS), RNCM-0601S2G8(MC...

ディフェクトリムーバルフィルム(DRF) Defect Removal Film (DRF)

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チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。フォトリソ/露光用CCW専用。 RNC-DRF-1255(DRF-1255), RNC-DRF-1038(DRF-1038), RNC-DRF-1593(DRF-1593) 詳しくはこちらから

パーティクルリムーバルフィルム(PRF) Particle Removal Film (PRF)

¥29,000 から

¥0

チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。ETCH(エッチング)/スパッタ(PVD)用CCW専用。 RNP-PRF-1255(PRF-1255-BL), RNP-PRF-1038(PRF-1038-BL), RNP-PRF-1593(PRF-1593-BL), RNP-PRF-1138(...