ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。
Automatic notch aligner (WHS-A3)
l 接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造
l 複数のアライメントプログラム: 標準、薄型/複合ウェハ、エッジ検査
l ±1°ノッチアライメント...
ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。
Manual notch aligner (WHS-A4)
l 接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造
l 200mmウェハ用の上部と下部のノッチアライメント
l ウェハを優しく取り扱うためのバネ式ノッチキャッ...
ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。
Automatic wafer flat aligner (WHS-A1)
l 接地されたウェハとカセットのパスを備えた帯電防止構造
l クリーニングとメンテナンスを簡素化するクイックディスコネクトローラー
l ±1以内の...
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの300mm(12インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。
【使用可能基板サイズ】
l ...
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの200mm(8インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。
【使用可能基板サイズ】
l 最大...
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの150mm(6インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。
【使用可能基板サイズ】
l 最大...
ホースポンプ。デスクトップ型めっき(メッキ)システム(装置)用オプション部品(パーツ)。基板裏面への周り込み無く成膜できるのが特徴。省スペースでリーズナブルコスト。
詳しくはこちらから
品名
型番
用途
Hose Pump
HP
application: filling, through-flow and draining of the unit. seals up to 99 °
温度管理。デスクトップ型めっき(メッキ)システム(装置)用オプション。基板裏面への周り込み無く成膜できるのが特徴。省スペースでリーズナブルコスト。
詳しくはこちらから
品名
型番
用途
Temperature Management
TM
up to 80°C, Magnetic stirrer with heating, Pt1000 sensor, glass coated
