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POLOS Spin200x デスクトップ POLOS Spin200x【予約品】
定価
¥1,450,000 から
販売価格
¥1,450,000 から
定価
単価
/対して
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの200mm(8インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。
【使用可能基板サイズ】
最大 φ...
POLOS Spin150x デスクトップ POLOS Spin150x
定価
¥960,000 から
販売価格
¥960,000 から
定価
単価
/対して
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの150mm(6インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。
【使用可能基板サイズ】
最大 φ...
ASK
POLOS Spin300x アドバンスドスピンコーターテーブルトップ POLOS Spin300x Advanced Spin Coater Tabletop 【予約品】
ASK
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの300mm(12インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。
【使用可能基板サイズ】
最大...
ASK
POLOS 450 NPPアドバンスドPPスピンプロセッサー POLOS450 NPP Advanced PP Spin Processor【予約品】
ASK
POLOS 450 アドバンスド シングル サブストレート スピン プロセッサ、デスクトップ バージョン、NPP ハウジング、スピンカップ、手動ケミカル ディスペンス、ヘビー デューティ モーター付き。空気力学的に効率的なチャンバーが均一性を高め、天然ポリプロピレンまたはステンレス スチールのプロセス チャンバーが汚染のない、簡単に清掃できるプロセス領域を保証します。すべてのユニットに、プロ...
テフロン製ポーラスインレーチャックアダプター Porous PTFE inlay chuck adaptor
定価
¥150,000
販売価格
¥150,000
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos Spin 150x用の基板保持用のポーラスインレーチャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。10mm×10mm×100μmt用の真空チャック。6,000rpmも使用可能。
詳しくはこちらから
TRIO-PLUS ウェハホルダー 12インチ用 TRIO-PLUS Wafer Holder for 12 inch
定価
¥1,310,000 から
販売価格
¥1,310,000 から
定価
単価
/対して
薬液(ケミカル)エッチング、電解エッチング、電解めっき(メッキ)用ウェハ/ウェハー/ウェーハ(基板)ホルダー。クランプ式で基板裏面へのエッチャント/電解液の回り込みが無い構造。Φ12インチ/300mm(角基板も可)対応。樹脂製。
4か所のクランプによりウェハを挟み込む構造です。基板裏面へのエッチャント/電解液の回り込みはありません。
表面の外周3mmは加工エリア外になります。
φ2"~12...
TRIO-PLUS ウェハホルダー 8インチ用 TRIO-PLUS Wafer Holder for 8 inch
定価
¥970,000 から
販売価格
¥970,000 から
定価
単価
/対して
薬液(ケミカル)エッチング、電解エッチング、電解めっき(メッキ)用ウェハ/ウェハー/ウェーハ(基板)ホルダー。クランプ式で基板裏面へのエッチャント/電解液の回り込みが無い構造。φ8インチ/200mm(角基板も可)対応。樹脂製。
4か所のクランプによりウェハを挟み込む構造です。基板裏面へのエッチャント/電解液の回り込みはありません。
表面の外周3mmは加工エリア外になります。
φ2"~12"...
TRIO-PLUS ウェハホルダー 6インチ用 TRIO-PLUS Wafer Holder for 6 inch
定価
¥880,000 から
販売価格
¥880,000 から
定価
単価
/対して
薬液(ケミカル)エッチング、電解エッチング、電解めっき(メッキ)用ウェハ/ウェハー/ウェーハ(基板)ホルダー。クランプ式で基板裏面へのエッチャント/電解液の回り込みが無い構造。φ6インチ/150mm(角基板も可)対応。樹脂製。
4か所のクランプによりウェハを挟み込む構造です。基板裏面へのエッチャント/電解液の回り込みはありません。
表面の外周3mmは加工エリア外になります。
φ2"~12"...
TRIO-PLUS ウェハホルダー 5インチ用 TRIO-PLUS Wafer Holder for 5 inch
定価
¥760,000 から
販売価格
¥760,000 から
定価
単価
/対して
薬液(ケミカル)エッチング、電解エッチング、電解めっき(メッキ)用ウェハ/ウェハー/ウェーハ(基板)ホルダー。クランプ式で基板裏面へのエッチャント/電解液の回り込みが無い構造。φ5インチ/125mm(角基板も可)対応。樹脂製。
4か所のクランプによりウェハを挟み込む構造です。基板裏面へのエッチャント/電解液の回り込みはありません。
表面の外周3mmは加工エリア外になります。
φ2"~12"...
TRIO-PLUS ウェハホルダー 4インチ用 TRIO-PLUS Wafer Holder for 4 inch
定価
¥690,000 から
販売価格
¥690,000 から
定価
単価
/対して
薬液(ケミカル)エッチング、電解エッチング、電解めっき(メッキ)用ウェハ/ウェハー/ウェーハ(基板)ホルダー。クランプ式で基板裏面へのエッチャント/電解液の回り込みが無い構造。φ4インチ/100mm(角基板も可)対応。樹脂製。
4か所のクランプによりウェハを挟み込む構造です。基板裏面へのエッチャント/電解液の回り込みはありません。
表面の外周3mmは加工エリア外になります。
φ2"~12"...
TRIO-PLUS ウェハホルダー 3インチ用 TRIO-PLUS Wafer Holder for 3 inch
定価
¥680,000 から
販売価格
¥680,000 から
定価
単価
/対して
薬液(ケミカル)エッチング、電解エッチング、電解めっき(メッキ)用ウェハ/ウェハー/ウェーハ(基板)ホルダー。クランプ式で基板裏面へのエッチャント/電解液の回り込みが無い構造。φ3インチ/75mm(角基板も可)対応。樹脂製。
4か所のクランプによりウェハを挟み込む構造です。基板裏面へのエッチャント/電解液の回り込みはありません。
表面の外周3mmは加工エリア外になります。
φ2"~12"に...
TRIO-PLUS ウェハホルダー 2インチ用 TRIO-PLUS Wafer Holder for 2 inch
定価
¥640,000 から
販売価格
¥640,000 から
定価
単価
/対して
薬液(ケミカル)エッチング、電解エッチング、電解めっき(メッキ)用ウェハ/ウェハー/ウェーハ(基板)ホルダー。クランプ式で基板裏面へのエッチャント/電解液の回り込みが無い構造。φ2インチ/50mm(角基板も可)対応。樹脂製。
4か所のクランプによりウェハを挟み込む構造です。基板裏面へのエッチャント/電解液の回り込みはありません。
表面の外周3mmは加工エリア外になります。
φ2"...
Polosスピンプロセッサー用センタリングツール Centering Aid for Polos Spin Processor
定価
¥100,000
販売価格
¥100,000
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos Spin150x/200x用のセンタリングツール(治具)。150x用はΦ2~φ6インチ、4インチ□角基板まで、200x用φ2~φ8インチ、6インチ□角基板まで利用が可能。
※画像は「旧モデルPolos Spin200i用」:参考資料
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Polos スピンプロセッサー用ポンプ Vacuum Pump for Spin Processor
定価
¥180,000
販売価格
¥180,000
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の真空(バキューム)ポンプ。Spin150i、Spin200i、Spin300i。
※写真はVP-230V
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Jタイプフォイルアダプター J-type Foil Adapter
定価
¥70,000 から
販売価格
¥70,000 から
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。小片/チップ用。
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Part No.
Model
Description
38071
J-V17-S50-PP
Foil Adapter, Perforation d=0,5mm, material NPP, vacuum a...
Dタイプ小片アダプター D-type Fragment Adapter
定価
¥30,000 から
販売価格
¥30,000 から
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。小片/チップ用。
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Standard Chucks
Part No.
Model
Description
26533
D-V10-S50-PP
Fragment adapter, material NPP, vac...
Cタイプ非真空メカニカルチャック(4センタリングピン)C-type Non-Vacuum, mechanical Chuck with 4 centering pins
定価
¥180,000
販売価格
¥180,000
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の非真空メカニカルチャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。
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Aタイプ真空チャック(センタリングピン無し)A-type Vacuum chuck without centering pins
定価
¥60,000 から
販売価格
¥60,000 から
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。
詳しくはこちらから
Standard Chucks
Part No.
Model
Description
31857
A-V36-S45-PP-HD
Vacuum chuck without cent...
ASK
ドライアイスブラスト剥離洗浄機「スーパーブラスト」PT-MINI Dry ice(CO2) cleaning system "SUPERBLAST" PT-MINI
ASK
ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。油汚れの除去や塗装剥がしにも有効。工場内設備の定期洗浄(メンテナンス)などに最適。直圧式洗浄機。CO2洗浄。
詳しくはこちらから
仕様
本体寸法(mm)・重量
410(W)×470(D)×480(H) ・ 26kg
ガン寸法
65(W)×315(D)×185(H) 1kg
...
ASK
ドライアイスブラスト剥離洗浄機「スーパーブラスト」DSC-V「Reborn」Dry ice(CO2) cleaning system "SUPERBLAST" DSC-V「Reborn」
定価
¥3,000,000
販売価格
¥3,000,000
定価
単価
/対して
ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。半導体製造装置用部品(パーツ)のデポ(付着物)除去に有効。エッチング工程向け。精密洗浄。CO2洗浄。
詳しくはこちらから
仕様
本体寸法(mm)
450(W)×450(D)×780(H)
本体重量
40kg~80kg (軽量化はオプション)
ガン寸法 重量
24(W)...
ASK
ドライアイスブラスト剥離洗浄機「スーパーブラスト」DSC-I Dry ice(CO2) cleaning system "SUPERBLAST" DSC-I
定価
¥5,500,000
販売価格
¥5,500,000
定価
単価
/対して
ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。半導体製造装置用部品(パーツ)のデポ(付着物)除去に有効。エッチング工程向け。精密洗浄。CO2洗浄。
詳しくはこちらから
仕様
本体寸法(mm)
500(W)×650(D)×885(H)
本体重量
130kg
ガン寸法 重量
36(W)×450(D)×160(H) 96...
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