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CMP装置用ターンテーブルモーターの修理/オーバーホール。主にベアリングの交換。P/N:C-5172-042-0001/K89EB7341B。EBARA(荏原) EPO用。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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洗浄装置用ブラシタンク用QCドライサイド(Dry Side)のアップグレード付き修理/オーバーホール。P/N:0010-25970の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。新品販売も可能。
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洗浄装置用ブラシタンク用QCウェットサイド(Wet Side)のアップグレード付き修理/オーバーホール。P/N:0010-25969の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。新品販売も可能。
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洗浄装置用ブラシタンク用QCギアボックスのアップグレード付き修理/オーバーホール。P/N:0010-25969/0021-18493の互換品。ギア外れ防止、部品の部分交換、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。新品販売も可能。
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定価 ¥800,000
販売価格 ¥800,000
定価
単価
対して 
CMP装置研磨ヘッド用コルモーゲンモーター(Kollmorgen)の修理。モーターは主にベアリング交換を実施。モーターP/N:D101A-93-1215-001またはD101B-93-1210-014に対応。AMAT Reflexion用。 詳しくはこちらから
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CMP装置用FABSロボットの修理。ローツェ(Rorze)製。修理後のロボットは専用のテスト機での動作確認を実施。メーカー型式はRR700L150-Z30-010。エクスチェンジ機、古オーバーホールの検討も可能。
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CMP装置用ウェットロボットの修理。モーター、リードスクリュー、リボンケーブル、PCB、バキュームトランスデューサーの部品交換も可能。修理後のロボットはMirraテスト機でのロボット軸フォーミング及び初期化を実施。P/N:0010-77676。
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CMP装置用ISRMモジュールの修理。CMPのエンドポイントをセンシングするレーザーモジュールの修理。デジタルISRMとフルスキャンISRMアッシーの修理が可能。水没、焼跡が無いことが前提での修理。P/N:0010-04514/0010-05004/0010-77057/0010-07620/0010-07729/0010-05002/0010-77264/0010-37866。AMAT M...
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CMP装置のCPUボードの修理。MEI、FABS CPU、AIO/DIO、ペンティアム(Pentium)、ロワーエレクトリックボード等に対応。ボード部品の欠品が無いこと、焼跡が無いことが前提での修理。P/N:0190-14502/0660-01705/0660-00123(MEI)、0660-01705/0100-76124、0660-01805/0660-01847/0660-00032/...
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CMP装置用プラテンの修理。表面の研磨・平坦化、エラストマーの再コート(黒テフロン又は純正グレー:Everslick)、ヘリサート再挿入、ネジ穴修理等。P/N:0040-77041/C、0010-77073等に対応。AMAT Mirra 6、8インチ(150mm、200mm)用。
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定価 ¥450,000
販売価格 ¥450,000
定価
単価
対して 
CMP装置用ヘッドスウィープモーターAssyの修理。純正品に見られるケーブル切れの問題を改善したアップグレード付修理。P/N:0010-77217、0010-03697。AMAT Mirra 8インチ(200mm)用。 詳しくはこちらから 【修理内容】 Headsweep is fully inspected upon receipt A2 and A3 assemblies are mo...
定価 ¥80,000 から
販売価格 ¥80,000 から
定価
単価
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CMP装置用HCLUロードカップの修理/再生/オーバーホール。洗浄、コート剥離、センターシャフト他主要パーツ交換込みのフルOH。ブラックスティックコーティングはスラリー固着の防止効果あり。P/N:0240-31390、0010-77157。AMAT Mirra 8インチ(200mm)用。オプションでセンタリングジョー(P/N:0020-78932)、デルリンフォーク交換も実施。 詳しくはこち...
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定価 ¥50,000
販売価格 ¥50,000
定価
単価
対して 
CMP装置用スラリーモーター(チューブポンプ)の修理。ドライアイス洗浄での内部清掃(クリーニング)とカーボンブラシ、ベアリング交換を含んだオーバーホール。P/N:0090-77057/0090-77135または900-1174等。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。 詳しくはこちらから
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定価 ¥560,000
販売価格 ¥560,000
定価
単価
対して 
CMP装置用プラテンモーターサーボパック(ドライバー)の修理。サーボバックは安川電気(Yaskawa)P/N:SGDB-44ADG。プラテンモーターは安川電機(Yaskawa)P/N:1080-01170またはSGMS-50A6ABの修理も可能。ギアボックスの修理の可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。 詳しくはこちらから
定価 ¥700,000 から
販売価格 ¥700,000 から
定価
単価
対して 
CMP装置用プラテンモーターとギアボックスの修理。プラテンモーターは安川電機(Yaskawa)P/N:1080-01170またはSGMS-50A6AB、ギアボックスはアルファ(Alpha)P/N:3970-01013または140-MFI-10-141-000、ストーバー(Stober)、安川(Yaskawa)製に対応。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。ギアボックスはオリジナルの...
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定価 ¥3,200,000
販売価格 ¥3,200,000
定価
単価
対して 
CMP装置用クロスペデスタル(ハーモニックドライブ)アッシーの修理。標準修理または新品ハーモニックギア交換込みの修理サービス。P/N:0010-26153(旧:0010-77141)。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
定価 ¥190,000 から
販売価格 ¥190,000 から
定価
単価
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CMP装置研磨ヘッド用メガトルクモーターとドライバー/コントローラーの修理/再生。主にNSK製品に対応。モーターは主にベアリング交換を実施。モーターP/N:RZ0810FN507/RS0810FN544、ドライバーP/N:EP0810AF3-05/EP0810AF5-05/EP0810AF8-05、0190-14344に対応。AMAT Mirra用。 詳しくはこちらから
定価 ¥350,000 から
販売価格 ¥350,000 から
定価
単価
対して 
CMP装置研磨ヘッド用ロータリーユニオンの修理/再生/オーバーホール。主にDublin製品に対応。3/4/6/8ポート(ゾーン)に対応。バック回収、パーツ交換、再組立、テスト。主に0190-17925/0760-01020/0760-01034/0760-01037/0190-12122/0190-34105用。AMAT Mirra用。 詳しくはこちらから
定価 ¥850,000 から
販売価格 ¥850,000 から
定価
単価
対して 
CMP装置用スピンドルシャフトの修理。標準修理(洗浄+スプラッシュガードのパウダーコート+ベアリング4交換)と、新品スピンドルシャフト交換込みのサービス。P/N:0021-79724、0010-77307の互換品。AMAT Reflexion向け。
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定価 ¥500,000
販売価格 ¥500,000
定価
単価
対して 
CMP洗浄装置用ブラシタンク用パーツのウェハ/ウェーハ/ウェハー・ブラシローラーアッシーの修理/オーバーホール。純正P/N:0021-13858/0010-23807などの互換部品。CMP洗浄装置MESA用。 詳しくはこちらから