徴収:
ETCH
FDD-USBユニット(Unit)
定価
¥110,000 から
販売価格
¥110,000 から
定価
単価
/対して
製造/生産中止のフロッピーディスク(FD/Floppy Disk)をUSBに置き換えるための変換機器/アダプター。ATAPI通信規格対応。34ピンコネクター、2HD、1.44MB FD対応。USBメモリー1個付き、主にUNITY等への互換性あり。
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フロッピーディスク(FD)⇒SDカード変換型ユニット「Masty」
定価
¥85,000 から
販売価格
¥85,000 から
定価
単価
/対して
製造/生産中止のフロッピーディスク(FD/Floppy Disk)をSDカードに置き換えるための変換機器/アダプター。PC/FC9801、AT互換機に対応。SCSI通信規格用も別途ラインアップ。
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ASK
コンパクトフラッシュ(CF)ユニット Compact Flash (CF) Unit
ASK
製造/生産中止のフロッピーディスク(FD/Floppy Disk)をConpact Flash(CF)に置き換えるための変換機器/アダプター。SCSI通信規格専用。主にAMATの装置(Centura/Endura/Producer等への互換性)。
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RAID1デュアルハードディスクシステム RAID1 Dual HDD System
ASK
3.5インチのHDDサイズで設計されたRAID1(ミラーリング)コントロールユニット。SCSI/IDE通信規格のハードディスク内データをSATA規格のデータに変換して2.5インチSATA HDへの保存が可能。2枚のHDを収納し自動でミラーリングを開始。ホットスワップ機能付で瞬停時のデータロスの心配も無し。
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液晶タッチパネル Integrated Touch Panel
ASK
CRTモニターとの置換え可能な液晶タッチパネル(LCD Monitor/Touch Panel)。17インチサイズの液晶モニター。AMAT CVD/PVD/イオン注入(IMP)/Centura/Endura/Producer/P5000/PI9500や、Therma-Wave社膜厚測定器(OPシリーズ)などで実績あり。
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ASK
ライトペン Light Pen
ASK
CRTモニターに使用されているライトペン。AMAT CVD/スパッタ(PVD)/イオン注入(IMP)/Centura/Endura/Producer/P5000/PI9500や、Therma-Wave社膜厚測定器(OPシリーズ)などで実績があり。
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ASK
CCW再生用_樹脂製真空台用_真空ポンプ Vacuum Pump for polymer vacuum plate for CCW recycle
定価
¥90,000
販売価格
¥90,000
定価
単価
/対して
日東工器社製真空ポンプ。P/N:VP0940。チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する真空台用の専用ポンプ。真空到達圧:-53.3kPa、吐出空気量:60L/min。付属品:φ6エアーチューブ(2m)、エアーON/OFFハンドバルブ、サイレンサー付き。
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樹脂製真空台 2層 12,8,6,5,4インチ 各インチ専用タイプ
定価
¥170,000 から
販売価格
¥170,000 から
定価
単価
/対して
樹脂製真空台 2層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の専用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。
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樹脂製真空台 3層 12,8,6,5,4インチプレート交換可能タイプ
定価
¥280,000 から
販売価格
¥280,000 から
定価
単価
/対して
樹脂製真空台 3層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の兼用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。各インチ用プレートが必要。
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ディフェクトリムーバルフィルム(DRF) Defect Removal Film (DRF)
ASK
チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。フォトリソ/露光用CCW専用。
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パーティクルリムーバルフィルム(PRF) Particle Removal Film (PRF)
ASK
チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。ETCH(エッチング)/スパッタ(PVD)用CCW専用。
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ASK
PRF補助用 樹脂製ローラー Polymer Roller for PRF assistance
定価
¥7,000
販売価格
¥7,000
定価
単価
/対して
チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する樹脂製ローラー。真空台上で吸着したCCWに、Particle Removal Film(PRF)を気泡を追い出しながら押し当てるためのパーツ。
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チャッククリーニングウェハ(CCW) 12インチ Chuck Cleaning Wafer 12 inch
ASK
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。
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チャッククリーニングウェハ(CCW) 8インチ Chuck Cleaning Wafer 8 inch
ASK
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。
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チャッククリーニングウェハ(CCW) 6インチ Chuck Cleaning Wafer 6 inch
ASK
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。
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チャッククリーニングウェハ(CCW) 5インチ Chuck Cleaning Wafer 5 inch
ASK
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。
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※5インチ用CCWは、予備も含めてSiウェハをご支給いただくことを前提と...
チャッククリーニングウェハ(CCW) 4インチ Chuck Cleaning Wafer 4 inch
ASK
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。
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チャッククリーニングウェハ(CCW) 6025ガラスマスク用 Chuck Cleaning Wafer for Glass Mask 6025
ASK
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。
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ASK
4インチ⽤Siフォーカスリング 10個/ロット RING FOCUS 4S 10pcs/lot
定価
¥395,000
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¥395,000
定価
単価
/対して
エッチング(ETCHING)装置用4インチ(100mm)⽤シリコン(Si)フォーカスリング。抵抗値1〜30Ω.cm。1D10-350748-21の互換品。10個が最小販売ロット(MOQ)。
ASK
ASSY ESC RF 200mm フラットハイフロー Assy ESC, RF, Flat DZ Hi flow, outer/AP
定価
¥4,200,000
販売価格
¥4,200,000
定価
単価
/対して
エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)。8インチ(200mm)用。P/N:0010-07946の互換品。AMAT Centura E-MAX(EMAX)用。
※写真はESCのイメージのため現物とは異なります。
Flex 45 12インチESC再生 Flex 45 12 INCH ESC Refurbishment
定価
¥3,600,000
販売価格
¥3,600,000
定価
単価
/対して
エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)。12インチ(300mm)用。P/N:839-800327-390の互換品。LAM/Flex 45用。
※写真はESCのイメージのため現物とは異なります。
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