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定価 ¥110,000 から
販売価格 ¥110,000 から
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製造/生産中止のフロッピーディスク(FD/Floppy Disk)をUSBに置き換えるための変換機器/アダプター。ATAPI通信規格対応。34ピンコネクター、2HD、1.44MB FD対応。USBメモリー1個付き、主にUNITY等への互換性あり。 詳しくはこちらから
定価 ¥85,000 から
販売価格 ¥85,000 から
定価
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製造/生産中止のフロッピーディスク(FD/Floppy Disk)をSDカードに置き換えるための変換機器/アダプター。PC/FC9801、AT互換機に対応。SCSI通信規格用も別途ラインアップ。 詳しくはこちらから
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製造/生産中止のフロッピーディスク(FD/Floppy Disk)をConpact Flash(CF)に置き換えるための変換機器/アダプター。SCSI通信規格専用。主にAMATの装置(Centura/Endura/Producer等への互換性)。 詳しくはこちらから
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3.5インチのHDDサイズで設計されたRAID1(ミラーリング)コントロールユニット。SCSI/IDE通信規格のハードディスク内データをSATA規格のデータに変換して2.5インチSATA HDへの保存が可能。2枚のHDを収納し自動でミラーリングを開始。ホットスワップ機能付で瞬停時のデータロスの心配も無し。 詳しくはこちらから
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CRTモニターとの置換え可能な液晶タッチパネル(LCD Monitor/Touch Panel)。17インチサイズの液晶モニター。AMAT CVD/PVD/イオン注入(IMP)/Centura/Endura/Producer/P5000/PI9500や、Therma-Wave社膜厚測定器(OPシリーズ)などで実績あり。 詳しくはこちらから
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CRTモニターに使用されているライトペン。AMAT CVD/スパッタ(PVD)/イオン注入(IMP)/Centura/Endura/Producer/P5000/PI9500や、Therma-Wave社膜厚測定器(OPシリーズ)などで実績があり。 詳しくはこちらから
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定価 ¥90,000
販売価格 ¥90,000
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  日東工器社製真空ポンプ。P/N:VP0940。チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する真空台用の専用ポンプ。真空到達圧:-53.3kPa、吐出空気量:60L/min。付属品:φ6エアーチューブ(2m)、エアーON/OFFハンドバルブ、サイレンサー付き。 詳しくはこちらから
定価 ¥170,000 から
販売価格 ¥170,000 から
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樹脂製真空台 2層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の専用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。 詳しくはこちらから
定価 ¥280,000 から
販売価格 ¥280,000 から
定価
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樹脂製真空台 3層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の兼用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。各インチ用プレートが必要。 詳しくはこちらから
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チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。フォトリソ/露光用CCW専用。 詳しくはこちらから
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チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。ETCH(エッチング)/スパッタ(PVD)用CCW専用。 詳しくはこちらから
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定価 ¥7,000
販売価格 ¥7,000
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チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する樹脂製ローラー。真空台上で吸着したCCWに、Particle Removal Film(PRF)を気泡を追い出しながら押し当てるためのパーツ。 詳しくはこちらから
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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 詳しくはこちらから
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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 詳しくはこちらから
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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 詳しくはこちらから
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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 詳しくはこちらから ※5インチ用CCWは、予備も含めてSiウェハをご支給いただくことを前提と...
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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 詳しくはこちらから
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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 詳しくはこちらから
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定価 ¥395,000
販売価格 ¥395,000
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  エッチング(ETCHING)装置用4インチ(100mm)⽤シリコン(Si)フォーカスリング。抵抗値1〜30Ω.cm。1D10-350748-21の互換品。10個が最小販売ロット(MOQ)。
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定価 ¥4,200,000
販売価格 ¥4,200,000
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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)。8インチ(200mm)用。P/N:0010-07946の互換品。AMAT Centura E-MAX(EMAX)用。 ※写真はESCのイメージのため現物とは異なります。
定価 ¥3,600,000
販売価格 ¥3,600,000
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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)。12インチ(300mm)用。P/N:839-800327-390の互換品。LAM/Flex 45用。 ※写真はESCのイメージのため現物とは異なります。