ETCH

¥110,000 から

製造/生産中止のフロッピーディスク(FD/Floppy Disk)をUSBに置き換えるための変換機器/アダプター。ATAPI通信規格対応。34ピンコネクター、2HD、1.44MB FD対応。USBメモリー1個付き、主にUNITY等への互換性あり。詳しくはこちらから

¥85,000 から

製造/生産中止のフロッピーディスク(FD/Floppy Disk)をSDカードに置き換えるための変換機器/アダプター。PC/FC9801、AT互換機に対応。SCSI通信規格用も別途ラインアップ。詳しくはこちらから

ASK

コンパクトフラッシュ(CF)ユニット Compact Flash (CF) Unit

ASK

製造/生産中止のフロッピーディスク(FD/Floppy Disk)をConpact Flash(CF)に置き換えるための変換機器/アダプター。SCSI通信規格専用。主にAMATの装置(Centura/Endura/Producer等への互換性)。詳しくはこちらから

RAID1デュアルハードディスクシステム RAID1 Dual HDD System

ASK

3.5インチのHDDサイズで設計されたRAID１(ミラーリング)コントロールユニット。SCSI/IDE通信規格のハードディスク内データをSATA規格のデータに変換して2.5インチSATA HDへの保存が可能。2枚のHDを収納し自動でミラーリングを開始。ホットスワップ機能付で瞬停時のデータロスの心配も無し。詳しくはこちらから

ASK

CRTモニターとの置換え可能な液晶タッチパネル(LCD Monitor/Touch Panel)。17インチサイズの液晶モニター。AMAT CVD/PVD/イオン注入(IMP)/Centura/Endura/Producer/P5000/PI9500や、Therma-Wave社膜厚測定器(OPシリーズ）などで実績あり。詳しくはこちらから

ASK

ASK

CRTモニターに使用されているライトペン。AMAT CVD/スパッタ(PVD)/イオン注入(IMP)/Centura/Endura/Producer/P5000/PI9500や、Therma-Wave社膜厚測定器(OPシリーズ）などで実績があり。詳しくはこちらから

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CCW再生用_樹脂製真空台用_真空ポンプ Vacuum Pump for polymer vacuum plate for CCW recycle

¥90,000

日東工器社製真空ポンプ。P/N:VP0940。チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する真空台用の専用ポンプ。真空到達圧:-53.3kPa、吐出空気量:60L/min。付属品：φ6エアーチューブ(2m)、エアーON/OFFハンドバルブ、サイレンサー付き。詳しくはこちらから

¥170,000 から

樹脂製真空台 2層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の専用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。詳しくはこちらから

¥280,000 から

樹脂製真空台 3層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の兼用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。各インチ用プレートが必要。詳しくはこちらから

ディフェクトリムーバルフィルム(DRF) Defect Removal Film (DRF)

ASK

チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。フォトリソ/露光用CCW専用。詳しくはこちらから

パーティクルリムーバルフィルム(PRF) Particle Removal Film (PRF)

ASK

チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。ETCH(エッチング)/スパッタ(PVD)用CCW専用。詳しくはこちらから

ASK

PRF補助用樹脂製ローラー Polymer Roller for PRF assistance

¥7,000

チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する樹脂製ローラー。真空台上で吸着したCCWに、Particle Removal Film(PRF)を気泡を追い出しながら押し当てるためのパーツ。詳しくはこちらから

チャッククリーニングウェハ(CCW) 12インチ Chuck Cleaning Wafer 12 inch

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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。詳しくはこちらから