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修理/再生/OH

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WXZヒーター150mm再生　Heater ASSY 6”Uni-Body CPR WXZ Heater Refurbishment
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CVD装置用ヒーターの再生。AMAT(Applied Materials) Centura 6インチ(150mm)用。P/N:0010-10741等の修理。 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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レゾネーターDIボード修理 Resonator DI Board Repair レゾネーターDIボード修理 Resonator DI Board Repair
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イオン注入(IMP)装置のレゾネーターDIボード修理。NV-GSD-HE用。P/N:15S2270-Sの修理。 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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VAT製APCバルブ 61140-PH52-ABU1修理
¥55,000 から
¥55,000 から
【VAT製APCバルブの修理費用】 ・品名：VAT製APCバルブ ・型式：61140-PH52-ABU1 ・症状：シャフト部リークにより真空度NG ・リードタイム：受注後約4～5週間 ＜特記事項＞ 特殊部品の交換が必要となる場合、別途御見積の対象となります。
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Sulzer製コーティング装置磁気シール修理 Sulzer Magnetic Fluid Seal Repair Sulzer製コーティング装置磁気シール修理 Sulzer Magnetic Fluid Seal Repair
¥359,000
¥359,000
Sulzer製コーティング装置磁気シール フェローテック製磁気シール P/N：52-132501A S/N：C13760   ・作業費 ・故障解析・パーツ交換・組⽴調整　1式  ￥225,000 （ベアリング・Ｏリング・磁性流体交換含む） ・内部研磨・洗浄作業費　1式　￥65,000 ・検査費（Heリーク試験） 1式　￥65,000 ・梱包・送料　1式　￥4,000 ・保証期間：納⼊後3か⽉...
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MKS UPAコントローラー(4ポート用)修理 MKS UPA Controller 4-port
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CMP装置用MKS製UPAコントローラー(4ポートタイプ）の修理。MKS製。修理後のロボットは専用のテスト機での動作確認を実施。P/N：0190-15840/0190-24854/0190-24857/0190-25647/0190-25733/0190-38324/0190-11803等に対応。 【修理内容】 1. 分解前のコントローラーのテスト 2. 圧力・真空流量の校正 3. コ...
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オゾンジェネレーター修理 Repair of Ozone Generator オゾンジェネレーター修理 Repair of Ozone Generator
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CVD装置用オゾンジェネレーターの修理。AMAT(Applied Materials) Centura用。P/N:0190-35872等の修理。 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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M1020 2PH Motor Repair kit (N) CM010HK30
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・品名：M1020 2PH Motor Repair kit (N) ・Description：Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。 ・純正P/N：CM010HK30
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M1020 2PH Motor Repair kit (O) CM010HK20
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・品名：M1020 2PH Motor Repair kit (O) ・Description：Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。 ・純正P/N：CM010HK20
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M350 2PH Motor Repair Kit CM008HK20
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・品名：M350 2PH Motor Repair Kit ・Description：Cryo Torr-8、8F、250FクライオポンプまたはOn Board-8、8F、250Fクライオポンプ用。 ・純正P/N：CM008HK20
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CT/OB-10 15K Array CT010V030
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・品名：CT/OB-10 15K Array ・Description：Cryo Torr-10クライオポンプまたはOn Board-10クライオポンプに適しています。 ・純正P/N：CT010V030
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CT/OB-8 15K Array CT008V030
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・品名：CT/OB-8 15K Array ・Description：Cryo Torr-8クライオポンプまたはOn Board-8クライオポンプに適しています。 ・純正P/N：CT008V030
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スピンドル修理 Spindle Repair スピンドル修理 Spindle Repair
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CMP装置用スピンドルの修理。標準修理。スピードファム(SPEEDFAM)向け。
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スピンドル修理 Spindle Repair スピンドル修理 Spindle Repair
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CMP装置用スピンドルの修理。標準修理。スクリーン(SCREEN) MP3000向け。
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ターンテーブルモーター修理 Turn Table Repair
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CMP装置用ターンテーブルモーターの修理/オーバーホール。主にベアリングの交換。P/N:C-5172-041-0001/C-5172-042-0001/K89EB7341B。EBARA(荏原) EPO用。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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ホイールスピンアンプ修理 Wheel Spin Amp Repair ホイールスピンアンプ修理 Wheel Spin Amp Repair
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イオン注入(インプラ/IMP)装置用ホイールスピンアンプの修理。AMAT(Applied Materials) 9500/XR/XR80用。P/N:0090-91124の互換品。アンプ(電源)メーカー:MOTECH。MR71※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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QCドライサイドAssyアップグレード付き修理/オーバーホール 0010-25970 QC Dryside Assy Repaur/Overhaul with Upgrade
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洗浄装置用ブラシタンク用QCドライサイド(Dry Side)のアップグレード付き修理/オーバーホール。P/N:0010-25970の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。新品販売も可能。
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QCウェットサイドAssyアップグレード付き修理/オーバーホール 0010-25969 QC Wetside Assy Repair/Ovehaul with Upgrade
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洗浄装置用ブラシタンク用QCウェットサイド(Wet Side)のアップグレード付き修理/オーバーホール。P/N:0010-25969の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。新品販売も可能。
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QCギアボックスアップグレード付き修理/オーバーホール 0010-25969/0021-18493 QC Gear Box Repair/Overhaul with Upgrade
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洗浄装置用ブラシタンク用QCギアボックスのアップグレード付き修理/オーバーホール。P/N:0010-25969/0021-18493の互換品。ギア外れ防止、部品の部分交換、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。新品販売も可能。
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ポンプI/O修理 PUMP I/O Repair ポンプI/O修理 PUMP I/O Repair
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ポンプI/O修理 PUMP I/Oの修理。P/N:2980-091285-11 (型番 HTE-PP1-Aｰ11（TAB1500)に対応。TEL ACT8用。
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アルミアルマイト・アルミナ/イットリウム溶射パーツ洗浄 Anodized Aluminum・Al2O3/Y2O3 parts refurbishment アルミアルマイト・アルミナ/イットリウム溶射パーツ洗浄 Anodized Aluminum・Al2O3/Y2O3 parts refurbishment
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エッチング装置用のアルミ(Al)アルマイトアノダイズ・アルミナ(Al2O3)/イットリウム/イットア(Y2O3)パーツの洗浄再生サービス。ドライアイス洗浄によりパーツにダメージを与えず洗浄が可能。上部/下部電極、エレクトロ―ド、トップ/ボトムプレート、静電チャック(ESC/Eチャック)、バッフル板、デポシールド等。 詳しくはこちらから
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アルミアルマイトパーツ再生 Anodized Aluminum parts refurbishment
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エッチング装置用のアルミ(Al)アルマイト/アノダイズパーツの再生サービス。上部/下部電極、エレクトロ―ド、トップ/ボトムプレート、静電チャック(ESC/Eチャック)、バッフル板、デポシールド等。 詳しくはこちらから
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イオンソースアップグレード Ion Source Upgrade
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イオン注入(インプラ/IMP)装置のイオンソース(イオン源)を標準バーナス型からIHC(カソード)型へ改造するアップグレード。イオンソースのロングライフ化が実現可能。追加のカソード電源も準備可能。VIISion、VIISta、GSD、PI9500(PI-9500)XR/XR80等に対応。
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真空ゲートバルブ修理/オーバーホール Vacuum Valve Repair/Overhaul
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半導体製造装置用真空ゲートバルブの修理、オーバーホール。主にVAT、HVA等に対応。スパッタ(PVD)、CVD、エッチング(Etching)、イオン注入(インプラ/IMP)装置用。VATシリーズ010/02/03/04/075/10/12/14/15/16.2/61/65、SMC XGT200/300等に対応。V-TEX 型式：V1810295、IRF-17089/IRI-17122/IRF...
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ヒーター・静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Heater, Echuck/E-Chuck Refurbishment ヒーター・静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Heater, Echuck/E-Chuck Refurbishment
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スパッタ(PVD)、CVD装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)およびヒーターの再生。Centura HDP、TXZ/WXZ/CXZ/DXZ、Producer(プロデューサー)、P5000(P-5000)、ENDURA5500等に対応。ダメージの状況に応じて再生内容を選択可能。主にAMAT 6、8、12インチ(150、200、300mm）向け。P/N:0040-18219、0040-48...