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原材料/物質を3次元(三次元/3D)の動きでマイクロ・ナノレベルの粒子に粉砕・混合・分散させるデスクトップ型ボールミル装置。新材料(素材)の開発に最適。半導体、化学、医療等。研究開発(R&D)、少量産向け。 詳しくはこちらから 型式 3DB-210 特徴 分離型 中型 主軸 主軸/3次元軸の2軸任意回転設定機能一括運転機構 寸法 680(W)×420(D)×38...
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原材料/物質を3次元(三次元/3D)の動きでマイクロ・ナノレベルの粒子に粉砕・混合・分散させるデスクトップ型ボールミル装置。新材料(素材)の開発に最適。半導体、化学、医療等。研究開発(R&D)、少量産向け。 詳しくはこちらから 型式 3DB-80 特徴 分離型 小型 主軸 主軸/3次元軸 独自制御式卓上型グローブボックス投入型 寸法 585(W)×310(D)×...
定価 ¥50,000 から
販売価格 ¥50,000 から
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多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。 詳しくはこちらから Standard Chucks     Part No. Model Description 31857 A-V36-S45-PP-HD Vacuum chuck without cent...
定価 ¥130,000 から
販売価格 ¥130,000 から
定価
単価
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多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の非真空メカニカルチャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。 詳しくはこちらから Standard Chucks     Part No. Model Description 27819 C-CP4-S100-PP-HD Non-Vacuum, mechanical Ch...
定価 ¥30,000 から
販売価格 ¥30,000 から
定価
単価
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多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。小片/チップ用。 詳しくはこちらから Standard Chucks     Part No. Model Description 26533 D-V10-S50-PP Fragment adapter, material NPP, vac...
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定価 ¥60,000
販売価格 ¥60,000
定価
単価
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多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。小片/チップ用。 詳しくはこちらから Part No. Model Description 38071 J-V17-S50-PP Foil Adapter, Perforation d=0,5mm, material NPP, vacuum a...
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片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。デスク/テーブルトップ式のためコンパクトで設置が簡単。マニュアル式。研究開発(R&D)向け。リーズナブル。OAI製。 詳しくはこちらから モデル 200 基板 対応サイズ 8インチ角 まで マスク 対応サイズ 9インチ角 まで アライメント ステージコントロール XY 動作 : ±10mmZ 動作 : 1500...
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片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学式。全自動/フルオート式。中量産向け。フラッド露光/エッジビード露光が可能。シャドウマスク技術が必要なエッジビード除去工程向け。OAI製。 詳しくはこちらから モデル 2000 基板 対応サイズ 12インチ径まで マスク 対応サイズ - アライメント ステージコントロール - アライメント 精度 - 露光 ...
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片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。ベンチトップ式のためコンパクトで設置が簡単。マニュアル式。研究開発(R&D)向け。リーズナブル。最大12インチまでの中型基板用。OAI製。 詳しくはこちらから モデル 212 基板 対応サイズ 12インチ角まで マスク 対応サイズ 14インチ角まで アライメント ステージコントロール XY 動作 : ±10mm...
定価 ¥320,000 から
販売価格 ¥320,000 から
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ハンディタイプのUV照度計(パワーメーター/Power Meter)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)も販売。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。 【Model 308】 Relative Accuracy:275-2000 mw/cm2 range: ±(.042% of reading +.4...
定価 ¥160,000 から
販売価格 ¥160,000 から
定価
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UV照度計(パワーメーター/Power Meter)モデル308用専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。 ※w/Handle、および、高温仕様(High Temp)用のプローブは別価格となります。
定価 ¥200,000 から
販売価格 ¥200,000 から
定価
単価
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UV照度計(パワーメーター/Power Meter)モデル308用専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。 ※w/Handle、および、高温仕様(High Temp)用のプローブは別価格となります。
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UV LED光源(ライトソース/Light source)。フォトリソグラフィー/露光/Photolithography用途向けにコリメートされた光源。OAI製。半導体、MEMS、研究開発(R&D)、少量産、中量産向け。 ビーム サイズ 4 ~ 12 インチ sg 波長 365um、405um またはデュアル波長 デュアル波長チューニングが可能 +/- 4% より優れたビーム均一性...
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片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学裏面露光式。全自動/フルオート式。半導体、MEMS、研究開発(R&D)向け。中量産向け。オールコンピューター制御、スループットは1時間に180ウェハが可能。OAI製。 詳しくはこちらから モデル 6000 基板 対応サイズ 50mm~200mmウェハ/角 もしくは200mm~300mmウェハ/角 100um~7mm...
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片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学式。全自動/フルオート式。液晶/FPD/LCD/フラットパネルディスプレイ、中量産向け。大型基板(最大20″×20″まで)。オールコンピューター制御。OAI製。 詳しくはこちらから モデル 6020 基板 対応サイズ 12インチ角 – 20インチ角まで マスク 対応サイズ 14インチ角 – 24インチ角まで アライ...
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定価 ¥2,300,000
販売価格 ¥2,300,000
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タッチスクリーン式、USB内蔵のハンディタイプのUV照度計(パワーメーター/Power Meter)。OAI社製で旧型モデル358の後継機種。校正サービスも提供可。専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)も販売。 詳しくはこちらから model 対応波長帯域 強度レンジ Model659 365nm – 436nm ~7,500mW/cm2   ...
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両面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学式。トップ面またはボトム面のアライメントが可能。半自動/セミオート式。研究開発(R&D)向け。少量産向け。OAI製。 詳しくはこちらから モデル 800E 基板 対応サイズ 8インチ角 まで マスク 対応サイズ 9インチ角 まで アライメント ステージコントロール XY 動作 : ±5mm回転 : ±4° ...
定価 ¥3,730,000 から
販売価格 ¥3,730,000 から
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1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの300mm(12インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 詳しくはこちらから
定価 ¥860,000 から
販売価格 ¥860,000 から
定価
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1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの150mm(6インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 詳しくはこちらから
定価 ¥860,000
販売価格 ¥860,000
定価
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1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの150mm(6インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 【使用可能基板サイズ】 最大 φ6インチ(150 mm)ウェハ形状 最大 □4インチ(10...
定価 ¥1,370,000 から
販売価格 ¥1,370,000 から
定価
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1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの200mm(8インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※Advanceタイプの価格は都度お問い合わせください。 詳しくはこちらから
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定価 ¥8,830,000
販売価格 ¥8,830,000
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マスクレス露光(フォトリソグラフィー)を可能にするPOLOSマイクロプリンター。マイクロ構造、複製、スティッチングが可能なソフトフェアを搭載。研究開発(R&D)向け。 POLOS µPrinter Maskless photolithography equipmentSFTprintMachine control software allowing for- microstructu...
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定価 ¥8,220,000
販売価格 ¥8,220,000
定価
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光学露光(フォトリソグラフィー)を可能にするPOLOSマイクロライター。コンフォーカル顕微鏡付き。マイクロレーザー制御ソフトウェアを搭載。主に405nmレーザー用。研究開発(R&D)向け。405nm laser, optical system including 3 lenses, confocal microscope with yellow illumination for fo...
定価 ¥170,000
販売価格 ¥170,000
定価
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多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の真空(バキューム)ポンプ。Spin150i、Spin200i、Spin300i。 ※写真はVP-230V 詳しくはこちらから