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ピンセットホルダー Wand holders ピンセットホルダー Wand holders
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Vacuum wand holder, tabletop (WHS-V4) Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-V4-TT Material：Black antistatic polycarbonate (PC) Type：Normally open Material feet：Heavy black powder coated stee...
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テーブルトップホルダー tabletop holder テーブルトップホルダー tabletop holder
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l  人間工学に基づいた角度付きテーブルトップデザイン l  ユニバーサル台座マスクまたはウエハピックホルダー     Pick wand holder, tabletop (WHS-V4) Specifications Brand：WHS Product Number：WHS-V4-TTMP Material：Black antistatic polycarbonate (PC) Gri...
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マニュアルスライドトランスファーウェハフリッピング/インバーティング Manual slide transfer wafer flipping/inverting マニュアルスライドトランスファーウェハフリッピング/インバーティング Manual slide transfer wafer flipping/inverting
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カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。   多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
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テーブルトップ真空ピンセット Tabletop portable wand テーブルトップ真空ピンセット Tabletop portable wand
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シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット。バッテリー(電池)駆動でポータブル。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様など複数のラインアップ。   l  800 mBar (23.6” Hg) の真空度 l  ポータブルで自己完結型なので、あらゆる移動に対応 l  200 m...
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メカニカルウェハピック エッジグリップ へら付き Mechanical wafer pick edge grip with spatula メカニカルウェハピック エッジグリップ へら付き Mechanical wafer pick edge grip with spatula
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Mechanical wafer pick edge grip with spatula (WHS-G2) l  ナイフエッジスパチュラで高温面からウェハを正確に持ち上げます l  ホットプレートやプラテン上で最高160℃までのウェハを処理できます l  静電気防止PEEK構造で静電気を防止 l  3mm厚のパーフルオロカーボン製タッチパッドで傷のつきにくい操作性 l  人間工学に...
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M3スタイル メタルカセットハンドル M3 style Metal cassette handles M3スタイル メタルカセットハンドル M3 style Metal cassette handles
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・主力製品であるWHS-M1（350℃）には、25スロット（標準）と13スロット（薄型ウェハ用）の2種類（アルミ/Al製）があります。形状は業界標準のプラスチック製カセットと一致していて、自動化システムや搬送システムへのシームレスな統合を可能にします。 ・WHS-M2（250℃）は、PTFEテフロン製ウェハストッパーを備えた従来型のアルミ/Al製カセットで、旧式のCVDプロセスツールの置き換...
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M1スタイル メタルカセットハンドル M1 style Metal cassette handles M1スタイル メタルカセットハンドル M1 style Metal cassette handles
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・主力製品であるWHS-M1（350℃）には、25スロット（標準）と13スロット（薄型ウェハ用）の2種類（アルミ/Al製）があります。形状は業界標準のプラスチック製カセットと一致していて、自動化システムや搬送システムへのシームレスな統合を可能にします。 ・WHS-M2（250℃）は、PTFEテフロン製ウェハストッパーを備えた従来型のアルミ/Al製カセットで、旧式のCVDプロセスツールの置き換...
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オートプレゼンター Auto wafer presenter オートプレゼンター Auto wafer presenter
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クリーンルーム環境における作業効率の向上とウェハ損傷リスクの低減を目的とした、多用途のウェハプレゼンターを提供しています。WHS-Pシリーズには4つの基本モデルがあり、それぞれ最先端の材料を用いて設計されているため、ウェハハンドリング性が向上し、手作業によるウェハ操作による傷のリスクを最小限に抑えることができます。 ウェハの検査、特定のウェハの選択、ウェハIDの確認など、WHSはお客様のニー...
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シングルウェハプレゼンター Single wafer presenter シングルウェハプレゼンター Single wafer presenter
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クリーンルーム環境における作業効率の向上とウェハ損傷リスクの低減を目的とした、多用途のウェハプレゼンターを提供しています。WHS-Pシリーズには4つの基本モデルがあり、それぞれ最先端の材料を用いて設計されているため、ウェハハンドリング性が向上し、手作業によるウェハ操作による傷のリスクを最小限に抑えることができます。 ウェハの検査、特定のウェハの選択、ウェハIDの確認など、WHSはお客様のニー...
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ウェハ5枚用プレゼンター 5-wafer presenter ウェハ5枚用プレゼンター 5-wafer presenter
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クリーンルーム環境における作業効率の向上とウェハ損傷リスクの低減を目的とした、多用途のウェハプレゼンターを提供しています。WHS-Pシリーズには4つの基本モデルがあり、それぞれ最先端の材料を用いて設計されているため、ウェハハンドリング性が向上し、手作業によるウェハ操作による傷のリスクを最小限に抑えることができます。 ウェハの検査、特定のウェハの選択、ウェハIDの確認など、WHSはお客様のニー...
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ウェハエスカレーター Wafer Escalators ウェハエスカレーター Wafer Escalators
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WHS-P2マニュアルエスカレーターは、独自の階段状機構によりカセット内の各ウェハを段階的に上昇させ、ウェハIDとロット番号の確認を容易にします。このツールは、カセット内のすべてのウェハを、過度なハンドリングなしに明瞭に確認する必要があるオペレーターに最適です。   l  独自のダブルアングルリフトコーム設計により、エッジの欠けを防止 l  読み取りを容易にしたウェハスロット構造（前のスロッ...
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水平マスクピック Horizontal mask pick 水平マスクピック Horizontal mask pick
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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。   WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。 WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1...
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サイドマスクピック Side mask pick サイドマスクピック Side mask pick
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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。   WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。 WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1...
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EUVマスクピック EUV mask pick EUVマスクピック EUV mask pick
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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。   WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。 WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1...
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セミオートマチックSMIFポッドオープナー Semi-Automatic SMIF Pod Opener セミオートマチックSMIFポッドオープナー Semi-Automatic SMIF Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。   WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。   これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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マニュアルSMIFポッドオープナー Manual SMIF Pod Opener マニュアルSMIFポッドオープナー Manual SMIF Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。   WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。   これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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セミオートマチックRSP200ポッドオープナー Semi-Automatic RSP200 Pod Opener セミオートマチックRSP200ポッドオープナー Semi-Automatic RSP200 Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。   WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。   これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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マニュアルRSP200ポッドオープナー Manual RSP200 Pod Opener マニュアルRSP200ポッドオープナー Manual RSP200 Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。   WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。   これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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セミオートマチックRSP150オープナー Semi-Automatic RSP150 Pod Opener セミオートマチックRSP150オープナー Semi-Automatic RSP150 Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。   WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。   これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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マニュアルRSP150オープナー Manual RSP150 Opener マニュアルRSP150オープナー Manual RSP150 Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。   WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。   これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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フープ/FOSBオープナー FOUP/FOSB openers フープ/FOSBオープナー FOUP/FOSB openers
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。   WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。   これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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交換カセット Replacement cassettes 交換カセット Replacement cassettes
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1（350℃）には、25スロット（標準）...
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M2スタイル メタルカセットハンドル M2 style Metal cassette handles M2スタイル メタルカセットハンドル M2 style Metal cassette handles
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1（350℃）には、25スロット（標準）...
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12インチ専用アルミメタルプロセスカセット Aluminum metal process cassette 300 mm 12インチ専用アルミメタルプロセスカセット Aluminum metal process cassette 300 mm
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1（350℃）には、25スロット（標準）...