クリーンルーム環境における作業効率の向上とウェハ損傷リスクの低減を目的とした、多用途のウェハプレゼンターを提供しています。WHS-Pシリーズには4つの基本モデルがあり、それぞれ最先端の材料を用いて設計されているため、ウェハハンドリング性が向上し、手作業によるウェハ操作による傷のリスクを最小限に抑えることができます。

ウェハの検査、特定のウェハの選択、ウェハIDの確認など、WHSはお客様のニーズに最適なツールです。

手動プレゼンターのWHS-P3は、カセット内のウェハ（5枚）を持ち上げることができるシリーズです。不要なウェハとの接触を最小限に抑え、ウェーハハンドリングを効率化するように設計されています。6インチ用、8インチ用の2種類のラインアップがあります。

l  ウェハの傷を防止できる便利ツールです

l  接地経路を備えた帯電防止構造

l  安全なエッジハンドリング用リフティングアーム装備

l  WHS-V1-AP4BSTバキュームチップとの併用により最適な活用方法を実現

5-Wafer lifter (WHS-P3) 150 mm (6”)

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-P3-601

Material：Natural PP and anstistatic POM

Size：150 mm (6”)

System：Manual system

Slots：25

Cleanroom designation：ISO 4

5-Wafer lifter (WHS-P3) 200 mm (8”)

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-P3-801

Material：Natural PP and anstistatic POM

Size：200 mm (8”)

System：Manual system

Slots：25

Cleanroom designation：ISO 4