クリーンルーム環境における作業効率の向上とウェハ損傷リスクの低減を目的とした、多用途のウェハプレゼンターを提供しています。WHS-Pシリーズには4つの基本モデルがあり、それぞれ最先端の材料を用いて設計されているため、ウェハハンドリング性が向上し、手作業によるウェハ操作による傷のリスクを最小限に抑えることができます。

ウェハの検査、特定のウェハの選択、ウェハIDの確認など、WHSはお客様のニーズに最適なツールです。

手動プレゼンターのWHS-P4は、カセット内の他のウェハに影響を与えることなく、任意の1枚のウェハを安全に取り出すことができるシリーズです。3インチ用、4インチ用、6インチ用、8インチ用の4種類のラインアップがあります。

l  エッジのみがウェハと接触

l  傷防止用便利ツール

l  WHS-V1-AP4BST 挿入防止バキュームチップとの併用により最適な活用方法を実現

l  ギア付きウェハセレクター

l  インターロック式リフトレバー

l  ESD対策構造

l  持ち運び用ハンドル付きで持ち運び可能

Manual single wafer presenter (WHS-P4) 76 mm (3”)

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-P4-301

Material：Polyoxymethylene (POM)

Size：76 mm (3”)

System：Manual system

Slots：25

Cleanroom designation：ISO 4

Manual single wafer presenter (WHS-P4) 100 mm (4”)

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-P4-401

Material：Polyoxymethylene (POM)

Size：100 mm (4”)

System：Manual system

Slots：25

Cleanroom designation：ISO 4

Manual single wafer presenter (WHS-P4) 150 mm (6”)

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-P4-601

Material：Polyoxymethylene (POM)

Size：150 mm (6”)

System：Manual system

Slots：25

Cleanroom designation：ISO 4

Manual single wafer presenter (WHS-P4) 200 mm (8”)

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-P4-801

Material：Polyoxymethylene (POM)

Size：200 mm (8”)

System：Manual system

Slots：25

Cleanroom designation：ISO 4