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メカニカルウェハピック エッジグリップ へら付き Mechanical wafer pick edge grip with spatula
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メカニカルウェハピック エッジグリップ へら付き Mechanical wafer pick edge grip with spatula

WHS-SPS
ASK

Mechanical wafer pick edge grip with spatula (WHS-G2)

l  ナイフエッジスパチュラで高温面からウェハを正確に持ち上げます

l  ホットプレートやプラテン上で最高160℃までのウェハを処理できます

l  静電気防止PEEK構造で静電気を防止

l  3mm厚のパーフルオロカーボン製タッチパッドで傷のつきにくい操作性

l  人間工学に基づいたデザイン

 

50-76mm（φ2～φ3インチ用）

パーツNo.：WHS-G2-23

Brand：WHS

Product Number：WHS-G2-23

Material：Backside/gripper: Antistatic PEEK

Wafer size：50-76 mm

Grip hold：Normally closed

Front size：3 mm front side touchpad

Front material：Perfluorocarbon elastomer

Cleanroom designation：ISO 4 (Class 10 FS209E)

 

 

100-125mm（φ4～φ5インチ用）

パーツNo.：WHS-G2-45

 

Brand：WHS

Product Number：WHS-G2-45

Material：Backside/gripper: Antistatic PEEK

Wafer size：100-125 mm

Grip hold：Normally closed

Front size：3 mm front side touchpad

Front material：Perfluorocarbon elastomer

Cleanroom designation：ISO 4 (Class 10 FS209E)



150mm（φ6インチ用）

パーツNo.：WHS-G2-6

Brand：WHS

Product Number：WHS-G2-6

Material：Backside/gripper: Antistatic PEEK

Wafer size：150 mm

Grip hold：Normally closed

Front size：3 mm front side touchpad

Front material：Perfluorocarbon elastomer

Cleanroom designation：ISO 4 (Class 10 FS209E)



200mm（φ8インチ用）

パーツNo.：WHS-G2-8

Brand：WHS

Product Number：WHS-G2-8

Material：Backside/gripper: Antistatic PEEK

Wafer size：200 mm

Grip hold：Normally closed

Front size：3 mm front side touchpad

Front material：Perfluorocarbon elastomer

Cleanroom designation：ISO 4 (Class 10 FS209E)



Mechanical flat edge grip with spatula (WHS-G2-custom)

l  ストレートグリップ：ウェハを平らな面から持ち上げます

l  角型基板に適しています

l  ナイフエッジスパチュラで高温面からウェハを正確に持ち上げます

l  最大160℃のホットプレートおよびプラテン上でウェハを扱います

l  静電気防止用のESD対応PEEK構造

 

39mmワイド

パーツNo.：WHS-G2-901

Brand：WHS

Product Number：WHS-G2-901

Material：Perfluorocarbon elastomer

Wafer size：150 mm

Grip hold：Normally closed

Front size：3 mm front side touchpad

Front material：Perfluorocarbon elastomer

Cleanroom designation：ISO 4 (Class 10 FS209E)

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