徴収:
洗浄
ASK
ドライアイスブラスト剥離洗浄機「スーパーブラスト」DSC-I Dry ice(CO2) cleaning system "SUPERBLAST" DSC-I
定価
¥5,500,000
販売価格
¥5,500,000
定価
単価
/対して
ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。半導体製造装置用部品(パーツ)のデポ(付着物)除去に有効。エッチング工程向け。精密洗浄。CO2洗浄。
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仕様
本体寸法(mm)
500(W)×650(D)×885(H)
本体重量
130kg
ガン寸法 重量
36(W)×450(D)×160(H) 96...
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ドライアイスブラスト剥離洗浄機「スーパーブラスト」DSC-V「Reborn」Dry ice(CO2) cleaning system "SUPERBLAST" DSC-V「Reborn」
定価
¥3,000,000
販売価格
¥3,000,000
定価
単価
/対して
ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。半導体製造装置用部品(パーツ)のデポ(付着物)除去に有効。エッチング工程向け。精密洗浄。CO2洗浄。
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仕様
本体寸法(mm)
450(W)×450(D)×780(H)
本体重量
40kg~80kg (軽量化はオプション)
ガン寸法 重量
24(W)...
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ドライアイスブラスト剥離洗浄機「スーパーブラスト」PT-MINI Dry ice(CO2) cleaning system "SUPERBLAST" PT-MINI
定価
¥2,500,000
販売価格
¥2,500,000
定価
単価
/対して
ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。油汚れの除去や塗装剥がしにも有効。工場内設備の定期洗浄(メンテナンス)などに最適。直圧式洗浄機。CO2洗浄。
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仕様
本体寸法(mm)・重量
410(W)×470(D)×480(H) ・ 26kg
ガン寸法
65(W)×315(D)×185(H) 1kg
...
POLOS Spin150i デスクトップ POLOS Spin150i
定価
¥860,000 から
販売価格
¥860,000 から
定価
単価
/対して
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの150mm(6インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
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POLOS Spin200i デスクトップ POLOS Spin200i
定価
¥1,370,000 から
販売価格
¥1,370,000 から
定価
単価
/対して
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの200mm(8インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※Advanceタイプの価格は都度お問い合わせください。
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POLOS 300 アドバンスドテーブルトップ POLOS 300 Advanced Table Top
定価
¥3,730,000 から
販売価格
¥3,730,000 から
定価
単価
/対して
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの300mm(12インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
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Aタイプ真空チャック(センタリングピン無し)A-type Vacuum chuck without centering pins
定価
¥50,000 から
販売価格
¥50,000 から
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。
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Standard Chucks
Part No.
Model
Description
31857
A-V36-S45-PP-HD
Vacuum chuck without cent...
Cタイプ非真空メカニカルチャック(4センタリングピン)C-type Non-Vacuum, mechanical Chuck with 4 centering pins
定価
¥130,000 から
販売価格
¥130,000 から
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の非真空メカニカルチャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。
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Standard Chucks
Part No.
Model
Description
27819
C-CP4-S100-PP-HD
Non-Vacuum, mechanical Ch...
Dタイプ小片アダプター D-type Fragment Adapter
定価
¥30,000 から
販売価格
¥30,000 から
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。小片/チップ用。
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Standard Chucks
Part No.
Model
Description
26533
D-V10-S50-PP
Fragment adapter, material NPP, vac...
ASK
Jタイプフォイルアダプター J-type Foil Adapter
定価
¥60,000
販売価格
¥60,000
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。小片/チップ用。
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Part No.
Model
Description
38071
J-V17-S50-PP
Foil Adapter, Perforation d=0,5mm, material NPP, vacuum a...
Polos スピンプロセッサー用ポンプ Vacuum Pump for Spin Processor
定価
¥170,000
販売価格
¥170,000
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の真空(バキューム)ポンプ。Spin150i、Spin200i、Spin300i。
※写真はVP-230V
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Polosスピンプロセッサー用センタリングツール Centering Aid for Polos Spin Processor
定価
¥80,000 から
販売価格
¥80,000 から
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos Spin150i/200i/300用のセンタリングツール(治具)。150i用はΦ2~φ6インチ、4インチ□角基板まで、200i用φ2~φ8インチ、6インチ□角基板まで、300用はφ6~φ12インチ、8インチ□角まで利用が可能。
※画像はPolos Spin200i用
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P/N: 3781...
ASK
POLOS ミニウェットステーション POLOS Mini Wet Station
ASK
Polosスピンコーターと高精度の薬液供給システムを一体化し1つのプログラムで複数のプロセスを設定可能にしたシステム。薬液共有・廃液・排気システムが組み込まれ、センサによるアラーム監視機能も搭載した安全重視モデル。
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