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SafeGuard wafer transfer (WHS-T1) l  76 mm ~ 200 mm のウェーハ用の精密ロボット制御 l  薄い、反りのある、高価なウェーハを丁寧に処理 l  コンパクトでメンテナンスの手間が少ない ISO 3 (クラス 1) 設計 l  設定を調整できるプログラム可能なタッチスクリーン l  オプションの反転カセット転送機能 【仕様】 76mm(φ3...
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Automatic wafer transfer l  SEMI準拠カセット間の自動ウェーハ転送 l  76mm、100mm、150mm、200mmウェーハに対応 l  安全センサーを内蔵したタッチスクリーン制御 l  クリーンルームでの使用に適した帯電防止、耐薬品性素材 l  半導体向けISO 4およびCE認証 【仕様】 76mm(φ3インチ用) パーツNo.:WHS-T2-301 ...
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Manual wafer transfer (WHS-T3) l  76 mm ~ 200 mm のウェハーを手動で搬送 l  UHMW ベアリングを備えたメンテナンスフリーのスライド レール l  SEMI 準拠の高/低プロファイル カセットで動作 l  帯電防止、耐薬品性、ISO 4 クリーンルーム対応 l  ウェハーの反転/反転用のオプション モデル 【仕様】 76mm(φ3イン...
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POLOS 450 アドバンスド シングル サブストレート スピン プロセッサ、デスクトップ バージョン、NPP ハウジング、スピンカップ、手動ケミカル ディスペンス、ヘビー デューティ モーター付き。空気力学的に効率的なチャンバーが均一性を高め、天然ポリプロピレンまたはステンレス スチールのプロセス チャンバーが汚染のない、簡単に清掃できるプロセス領域を保証します。すべてのユニットに、プロ...
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1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの300mm(12インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。 【使用可能基板サイズ】 最大...
定価 ¥1,540,000 から
販売価格 ¥1,540,000 から
定価
単価
対して 
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの200mm(8インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。 【使用可能基板サイズ】 最大 φ...
定価 ¥150,000
販売価格 ¥150,000
定価
単価
対して 
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos Spin 150x用の基板保持用のポーラスインレーチャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。10mm×10mm×100μmt用の真空チャック。6,000rpmも使用可能。 詳しくはこちらから
定価 ¥1,020,000 から
販売価格 ¥1,020,000 から
定価
単価
対して 
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの150mm(6インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。 【使用可能基板サイズ】 最大 φ...
定価 ¥110,000
販売価格 ¥110,000
定価
単価
対して 
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos Spin150x/200x用のセンタリングツール(治具)。150x用はΦ2~φ6インチ、4インチ□角基板まで、200x用φ2~φ8インチ、6インチ□角基板まで利用が可能。 ※画像は「旧モデルPolos Spin200i用」:参考資料 詳しくはこちらから
定価 ¥130,000
販売価格 ¥130,000
定価
単価
対して 
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の真空(バキューム)ポンプ。Spin150x、Spin200xに対応。 ※写真はDP-40V 詳しくはこちらから <推奨付属部品> ・ポンプの振動を抑えたい場合はこちら(直接当該サイトからご購入ください。) ・ポンプを完全に固定したい場合はこちら(直接当該サイトからご購入ください。)
定価 ¥80,000 から
販売価格 ¥80,000 から
定価
単価
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多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。小片/チップ用。 詳しくはこちらから Part No. Model Description 38071 J-V17-S50-PP Foil Adapter, Perforation d=0,5mm, material NPP, vacuum a...
定価 ¥40,000 から
販売価格 ¥40,000 から
定価
単価
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多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。小片/チップ用。 詳しくはこちらから Standard Chucks     Part No. Model Description 26533 D-V10-S50-PP Fragment adapter, material NPP, vac...
定価 ¥190,000
販売価格 ¥190,000
定価
単価
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多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の非真空メカニカルチャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。 詳しくはこちらから
定価 ¥60,000 から
販売価格 ¥60,000 から
定価
単価
対して 
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。 詳しくはこちらから Standard Chucks     Part No. Model Description 31857 A-V36-S45-PP-HD Vacuum chuck without cent...
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定価 ¥3,000,000
販売価格 ¥3,000,000
定価
単価
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ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。半導体製造装置用部品(パーツ)のデポ(付着物)除去に有効。エッチング工程向け。精密洗浄。CO2洗浄。 詳しくはこちらから 仕様 本体寸法(mm) 450(W)×450(D)×780(H)  本体重量 40kg~80kg (軽量化はオプション) ガン寸法 重量 24(W)...
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定価 ¥5,500,000
販売価格 ¥5,500,000
定価
単価
対して 
ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。半導体製造装置用部品(パーツ)のデポ(付着物)除去に有効。エッチング工程向け。精密洗浄。CO2洗浄。 詳しくはこちらから 仕様 本体寸法(mm) 500(W)×650(D)×885(H) 本体重量 130kg ガン寸法 重量 36(W)×450(D)×160(H) 96...