徴収:
洗浄
ASK
セーフガードウェハトランスファー Safeguard wafer transfer
ASK
SafeGuard wafer transfer (WHS-T1)
l 76 mm ~ 200 mm のウェーハ用の精密ロボット制御
l 薄い、反りのある、高価なウェーハを丁寧に処理
l コンパクトでメンテナンスの手間が少ない ISO 3 (クラス 1) 設計
l 設定を調整できるプログラム可能なタッチスクリーン
l オプションの反転カセット転送機能
【仕様】
76mm(φ3...
ASK
オートマチックウェハトランスファー Automatic wafer transfer
ASK
Automatic wafer transfer
l SEMI準拠カセット間の自動ウェーハ転送
l 76mm、100mm、150mm、200mmウェーハに対応
l 安全センサーを内蔵したタッチスクリーン制御
l クリーンルームでの使用に適した帯電防止、耐薬品性素材
l 半導体向けISO 4およびCE認証
【仕様】
76mm(φ3インチ用)
パーツNo.:WHS-T2-301
...
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マニュアルウェハトランスファー Manual wafer transfer
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Manual wafer transfer (WHS-T3)
l 76 mm ~ 200 mm のウェハーを手動で搬送
l UHMW ベアリングを備えたメンテナンスフリーのスライド レール
l SEMI 準拠の高/低プロファイル カセットで動作
l 帯電防止、耐薬品性、ISO 4 クリーンルーム対応
l ウェハーの反転/反転用のオプション モデル
【仕様】
76mm(φ3イン...
ASK
POLOS 450 NPPアドバンスドPPスピンプロセッサー POLOS450 NPP Advanced PP Spin Processor【予約品】
ASK
POLOS 450 アドバンスド シングル サブストレート スピン プロセッサ、デスクトップ バージョン、NPP ハウジング、スピンカップ、手動ケミカル ディスペンス、ヘビー デューティ モーター付き。空気力学的に効率的なチャンバーが均一性を高め、天然ポリプロピレンまたはステンレス スチールのプロセス チャンバーが汚染のない、簡単に清掃できるプロセス領域を保証します。すべてのユニットに、プロ...
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POLOS Spin300x アドバンスドスピンコーターテーブルトップ POLOS Spin300x Advanced Spin Coater Tabletop 【予約品】
ASK
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの300mm(12インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。
【使用可能基板サイズ】
最大...
POLOS Spin200x デスクトップ POLOS Spin200x【予約品】
定価
¥1,540,000 から
販売価格
¥1,540,000 から
定価
単価
/対して
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの200mm(8インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。
【使用可能基板サイズ】
最大 φ...
テフロン製ポーラスインレーチャックアダプター Porous PTFE inlay chuck adaptor
定価
¥150,000
販売価格
¥150,000
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos Spin 150x用の基板保持用のポーラスインレーチャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。10mm×10mm×100μmt用の真空チャック。6,000rpmも使用可能。
詳しくはこちらから
POLOS Spin150x デスクトップ POLOS Spin150x
定価
¥1,020,000 から
販売価格
¥1,020,000 から
定価
単価
/対して
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの150mm(6インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。
【使用可能基板サイズ】
最大 φ...
Polosスピンプロセッサー用センタリングツール Centering Aid for Polos Spin Processor
定価
¥110,000
販売価格
¥110,000
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos Spin150x/200x用のセンタリングツール(治具)。150x用はΦ2~φ6インチ、4インチ□角基板まで、200x用φ2~φ8インチ、6インチ□角基板まで利用が可能。
※画像は「旧モデルPolos Spin200i用」:参考資料
詳しくはこちらから
Polos スピンプロセッサー用ポンプ Vacuum Pump for Spin Processor
定価
¥130,000
販売価格
¥130,000
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の真空(バキューム)ポンプ。Spin150x、Spin200xに対応。
※写真はDP-40V
詳しくはこちらから
<推奨付属部品>
・ポンプの振動を抑えたい場合はこちら(直接当該サイトからご購入ください。)
・ポンプを完全に固定したい場合はこちら(直接当該サイトからご購入ください。)
Jタイプフォイルアダプター J-type Foil Adapter
定価
¥80,000 から
販売価格
¥80,000 から
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。小片/チップ用。
詳しくはこちらから
Part No.
Model
Description
38071
J-V17-S50-PP
Foil Adapter, Perforation d=0,5mm, material NPP, vacuum a...
Dタイプ小片アダプター D-type Fragment Adapter
定価
¥40,000 から
販売価格
¥40,000 から
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。小片/チップ用。
詳しくはこちらから
Standard Chucks
Part No.
Model
Description
26533
D-V10-S50-PP
Fragment adapter, material NPP, vac...
Cタイプ非真空メカニカルチャック(4センタリングピン)C-type Non-Vacuum, mechanical Chuck with 4 centering pins
定価
¥190,000
販売価格
¥190,000
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の非真空メカニカルチャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。
詳しくはこちらから
Aタイプ真空チャック(センタリングピン無し)A-type Vacuum chuck without centering pins
定価
¥60,000 から
販売価格
¥60,000 から
定価
単価
/対して
多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。
詳しくはこちらから
Standard Chucks
Part No.
Model
Description
31857
A-V36-S45-PP-HD
Vacuum chuck without cent...
ASK
ドライアイスブラスト剥離洗浄機「スーパーブラスト」DSC-V「Reborn」Dry ice(CO2) cleaning system "SUPERBLAST" DSC-V「Reborn」
定価
¥3,000,000
販売価格
¥3,000,000
定価
単価
/対して
ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。半導体製造装置用部品(パーツ)のデポ(付着物)除去に有効。エッチング工程向け。精密洗浄。CO2洗浄。
詳しくはこちらから
仕様
本体寸法(mm)
450(W)×450(D)×780(H)
本体重量
40kg~80kg (軽量化はオプション)
ガン寸法 重量
24(W)...
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ドライアイスブラスト剥離洗浄機「スーパーブラスト」DSC-I Dry ice(CO2) cleaning system "SUPERBLAST" DSC-I
定価
¥5,500,000
販売価格
¥5,500,000
定価
単価
/対して
ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。半導体製造装置用部品(パーツ)のデポ(付着物)除去に有効。エッチング工程向け。精密洗浄。CO2洗浄。
詳しくはこちらから
仕様
本体寸法(mm)
500(W)×650(D)×885(H)
本体重量
130kg
ガン寸法 重量
36(W)×450(D)×160(H) 96...
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