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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。 ・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。 ・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...
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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。 ・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。 ・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...
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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。 ・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。 ・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...
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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。 ・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。 ・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...
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真空ピンセット(Vacuum wands)用コード。このコードは、PU素材、導電性ポリウレタン素材から作られており、手触りの良い軽量な 「バネ 」フィーリングを確保しながら、摩耗や圧着に対する弾力性を確保しています。特にISO 3クリーンルーム環境で高いパフォーマンスを発揮します。 Coil cord conductive polyurethane (WHS-V3) l頑丈な圧着防止設計 ...
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シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット用のハンドル・グリップ・取っ手。   l  通常オープンのユニバーサルワンドハンドル l  静電気防止構造 l  大型グリップ   Vacuum wand handle normally open pressfit antistatic large grip (W...
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シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット用の交換用アタッチメント・チップ(先端)。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様、ナイフエッジ仕様など複数のラインアップ。   Vacuum Tip, Aluminum, 380/450 mm, 30 Down l  帯電防止アルミ...
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シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様など複数のラインアップ。   Vacuum wand set small device (WHS-V2) l  簡単にセットできるアッセンブリー品 l  静電気防止構造 l  小型デバイス ...
定価 ¥80,000
販売価格 ¥80,000
定価
単価
対して 
SPIN150xのリッド(蓋)とボウル/チャンバー部に装着する汚れ防止カバー。1パック20セット入り。ライナーを使用することでリッド(蓋)とボウル/チャンバー部の洗浄工程を省くことができます。   ・両面に均一な優れた帯電防止特性を持つ非晶質ポリエステル製のコスト効率の高い透明ハードホイル ・スピンプロセス終了後、SPIN150xのリッド(蓋)とボウルセットを交換、または簡易洗浄で再利用でき...
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定価 ¥1
販売価格 ¥1
定価
単価
対して 
シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット。バッテリー(電池)駆動でポータブル。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様など複数のラインアップ。   Cordless portable vacuum wand (WHS-V6)   l  ウェハ処理用のコードレスバッテリー駆...
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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。   Automatic notch aligner (WHS-A3) l  接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造 l  複数のアライメントプログラム: 標準、薄型/複合ウェハ、エッジ検査 l  ±1°ノッチアライメント...
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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。   Manual notch aligner (WHS-A4) l  接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造 l  200mmウェハ用の上部と下部のノッチアライメント l  ウェハを優しく取り扱うためのバネ式ノッチキャッ...
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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。   Automatic wafer flat aligner (WHS-A1) l  接地されたウェハとカセットのパスを備えた帯電防止構造 l  クリーニングとメンテナンスを簡素化するクイックディスコネクトローラー l  ±1以内の...
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カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。   多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。   WHS-A2 シリーズは、76 mm (3インチ) から 150 mm (6インチ) までのウェハの上部と下部のバルクアライメント用に設計された手動ウェハフラットアライナーです。InP、GaAs、GaN、SiC などの複合ウェハ...
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カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。   多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
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カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。   多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
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カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。   多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
定価 ¥2,060,000
販売価格 ¥2,060,000
定価
単価
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プリベーク・ポストベークに適したデスクトップサイズのホットプレート。用途に合わせたカスタマイズが可能。精密温度制御、アラートサウンド機能付き。研究開発(R&D)向け。 詳しくはこちらから 【電圧:230 VAC】 温度範囲:50~230°C - 20プログラム(温度/時間)の保存機能付き - 音響アラーム付きカウントダウンタイマー(1~999秒) - 温度均一性 ±1.0°C - ...
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POLOS 450 アドバンスド シングル サブストレート スピン プロセッサ、デスクトップ バージョン、NPP ハウジング、スピンカップ、手動ケミカル ディスペンス、ヘビー デューティ モーター付き。空気力学的に効率的なチャンバーが均一性を高め、天然ポリプロピレンまたはステンレス スチールのプロセス チャンバーが汚染のない、簡単に清掃できるプロセス領域を保証します。すべてのユニットに、プロ...
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1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの300mm(12インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。 【使用可能基板サイズ】 l  ...
定価 ¥1,540,000 から
販売価格 ¥1,540,000 から
定価
単価
対して 
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの200mm(8インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。 【使用可能基板サイズ】 l  最大...