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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。   WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。 WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1...
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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。   WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。 WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1...
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。   WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。   これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。 ・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。 ・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...
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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。 ・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。 ・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...
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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。 ・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。 ・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...