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イオン注入(インプラ/IMP)装置のイオンソース(イオン源)を標準バーナス型からIHC(カソード)型へ改造するアップグレード。イオンソースのロングライフ化が実現可能。追加のカソード電源も準備可能。VIISion、VIISta、GSD、PI9500(PI-9500)XR/XR80等に対応。
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半導体製造装置用真空ゲートバルブの修理、オーバーホール。主にVAT、HVA等に対応。スパッタ(PVD)、CVD、エッチング(Etching)、イオン注入(インプラ/IMP)装置用。VATシリーズ010/02/03/04/075/10/12/14/15/16.2/61/65、SMC XGT200/300等に対応。 詳しくはこちらから
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イオン注入(インプラ/IMP)装置のPCBボードの修理。General I/O DIボード、IHCソースコントーラーPCB等に対応。ボード部品の欠品が無いこと、焼跡が無いことが前提での修理。P/N:1520510 (ASSY)・1420510 REV.4 (PCB)、1522620 (ASSY)・1422620 (PCB)。Axcelis GSD用。
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イオン注入(インプラ/IMP)装置用のHV電源(ハイボルト電源)の修理。電源:OL8000/104/02(A1010070)、Stack:OL8000/104/01 (A1010080)。Glassman、Spellman、Motechホイールスピンアンプ電源 MP80(0090-91596)、MR71/PL21(0090-91124)、MH21/MH22(0090-91597)も対応。Ax...
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イオン注入(インプラ/IMP)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の再生。純正品よりも耐久性・寿命を延命したアップグレード付の再生。Varian VIISta、VIISion、E220/E500/EHP220/EHP500、AMAT Quantum用のESCに対応。ダメージの状況に応じて再生内容を選択可能。E11098654/E11098653/E11144761。 詳しくはこちらから
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半導体製造装置用真空ポンプ(クライオ、ターボ、ドライ、ロータリー等)の修理およびオーバーホール(O/H、OH)。スパッタ(PVD)、CVD、エッチング(Etching)、イオン注入(IMP)向け。Helix:CT-8/10、100/250F、OB-8/10、ULVAC:Uシリーズ、キヤノンアネルバ(Canon Anellva)CUPシリーズ、EBARA、BOC EDWARDS(エドワーズ)等...
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イオン注入(インプラ/IMP)装置用のHYTプローブ/パーティクルモニター/センサー(センサ)の修理および洗浄。レーザーダイオード、ビームストップ、フォトダイオード(ウィンドーフォトセル)交換なども対応可。Axcelis GSD用20SX/20SXG HYTに対応。 詳しくはこちらから