CMP

ASK

ASK

CMP装置用ハウジングアッセンブリーの販売。Profiler IE HEAD用部品。P/N:0040-49305の互換品。AMAT Reflexion用。12インチ/300mm用。

ASK

HYDE PARK超音波センサー置き換え用コントローラー付超音波センサー Ultrasonic Sensor with Controller for Direct Replacement of HYDE PARK Ultrasonic Sensor

ASK

CMP装置用ウェハ検知超音波センサー（コントローラー付）の販売。P/N:SM3-50A-448-00FAの互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

ASK

パッドコンディショナーカップ DIウォータースプレーレトロフィット PAD CONDITIONER CUP DIW SPRAY RETROFIT

ASK

CMP装置用パッドコンディショナーのクリーンカップポジションに連続でDIウォータースプレーを噴射させるアップグレードパーツ。DDの洗浄を改善し、ディフェクト発生率の低減が可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。この商品は装置1台につき1個使い、サービスマンによる現地インストレーション作業が必要になります。

ASK

UPAアップグレード圧力トランスデューサー UPA Up-Grade Pressure Transducer

ASK

CMP装置用UPA圧力(プレッシャー)トランスデューサーのアップグレードモデル。全てのヘッドゾーン圧力(RR, IT. PP, EC, UC)に使用可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。【特徴】1. 圧力トランスデューサーと圧力インジケーターを組み合わせて、レギュレーターからの出力圧力を簡単に確認し、Mirraサービス画面の値と比較します。トラブルシューティングが簡単。2....

ASK

ASK

CMP装置用PMリダクションキット(アップグレードモデル)の販売。インタープラテンクリーン、スプラッシュガード(Long, Short)、スラリーアームベースホルダーによる構成。スラリー残留物が残りにくい設計。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

ASK

洗浄装置用SRD ウィールAssy SRD Wheelの販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。

ASK

ASK

洗浄装置用メガソニックタンクベースの販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。

ASK

ASK

洗浄装置用メガソニックHalarタンクの販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。

ASK

SRDランプAssy (バルブ付き) SRD Lamp Assy with Bulb

ASK

洗浄装置用SRDランプAssy(バルブ付き)の販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。

ASK

ASK

CMP装置用スラリーアームの販売。AMAT Mirra、Reflexion用に複数種類のラインアップ。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。

ASK

ASK

CMP装置用Smifインデクサーの販売。ロボットはローツェ(Rorze)。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N: RE201-822-005の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

ASK

モーメンタム776 MPシリンダーAssy Momentum 776 MP Cylinder

ASK

CMP装置用MPシリンダーAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0750-111515の互換品。IPEC776用。8インチ/200mm用。

ASK

ASK

CMP装置用タイタンヘッドクランプの販売。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

ASK

パッドコンディショナー(モーター付き) Pad Cond Assy with Motors

ASK

CMP装置用パッドコンディショナーAssy(モーター付き)の販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N: 0010-12344の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

ASK

プラテンモータープーリー & ブッシングAssy Platen Motor Pulley and Bushing

ASK

CMP装置用プラテンモータープーリー・ブッシングAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

ASK

ロワープラテンAssy & アッパープラテンAssy Lower Platen Assy And Upper Platen

ASK

CMP装置用プラテン(ロワー・アッパー)Assyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N: 0010-77293の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

ASK

6インチ HCLUパッドプレート & ペデスタルフィルム 6inch HCLU PAD Plate and Pedestal Film

ASK

CMP装置用HCLUロードカップ用の部品販売。パッドプレート、ペデスタルフィルム。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

¥6,000,000 から

CMP装置用HCLUロードカップの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0240-12272等の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。 BW412LC00 - HCLU, 200MM ASSY FOR SALE REFURBISHED ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

ASK

ASK

CMP装置用ヘッドスウィープモーターAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-03697の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

ASK

ASK

CMP装置研磨ヘッド用3ポート(ゾーン)ロータリーユニオンの販売。主にDublin製品の互換品。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-77127の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

ASK

ASK

CMP装置用スピンドルAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-77216の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

ASK

CMP装置用ウェットロボットAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-77676、 0010-77400等。

クロスペデスタル(ハーモニックドライブ)Assy Cross Pedestal (Harmonic Drive)

ASK

CMP装置用クロスペデスタル(ハーモニックドライブ)Assyの販売。標準修理または新品ハーモニックギア交換込みの修理サービスも対応可能。P/N:0010-26153(旧:0010-77141)。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

ASK

ウェハサポート, クリーナー300MM HMVセット WAFER SUPPORT, CLEANER 300MM HVM Set

¥210,000

CMP装置スピンドルシャフト用のウェハ/ウェハーサポートクリーナーHVMのライトサイド(0021-14649)、レフトサイド(0021-14650)、センターサスロット(0021-14651)の1セット。個別販売も可能(MOQ 各2個)。AMAT Reflexion 300mm用。スピンドルシャフトAssyの修理対応も可能。