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プラテンベアリング Platen Bearing 250MM I.D. X 330MM O.D.

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CMP装置用プラテンベアリングの販売。AMAT(Applied Materials) Mirra TITAN-1ヘッド用。200mm(8インチ用）。P/N:0190-77381の互換品。 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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ジンバルフレクサー, タイタン1ヘッド, オキサイド Gimbal Flexture, Titan 1, Oxide

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CMP装置用ジンバルフレクサー, タイタン1ヘッド, オキサイドの販売。AMAT(Applied Materials) Mirra TITAN-1ヘッド用。200mm(8インチ用）。P/N:0020-79093の互換品。 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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マニフォールドアッシー, アッパー200MMタイタンヘッド Manifold Assy, Upper 200MM Titan Head

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CMP装置用マニフォールドアッシー, アッパー200MMタイタンヘッドの販売。AMAT(Applied Materials) Mirra TITAN-1ヘッド用。200mm(8インチ用）。P/N:0010-10828の互換品。 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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¥450,000

FURON(ヒューロン)UPM2-646NC Furon Valve 3個セット。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)プラテンシャワー(純水)用。

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150mm(6インチ) CMPリテーナーリング 150mm(6 inch) Retainer Ring

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CMP装置用リテーナーリング。材質はX3G、PEEK、PET 等。6インチ(150mm)用。東京精密(ACCRETECH/TSK) CHAMP211用。表面仕上げの有り、無しで選択可能。 ※リテーナーリング(樹脂部)のみ。メンブレン部は含みません。※写真は代表的なリテーナーリングのため、実物と異なる場合があります。

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200mm(8インチ) CMPリテーナーリング 200mm(8 inch) Retainer Ring

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CMP装置用リテーナーリング。材質はX3G、PEEK、PET 等。8インチ(200mm)用。東京精密(ACCRETECH/TSK) CHAMP211用。表面仕上げの有り、無しで選択可能。 ※リテーナーリング(樹脂部)のみ。メンブレン部は含みません。※写真は代表的なリテーナーリングのため、実物と異なる場合があります。

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¥8,500,000

CMP装置用FABSロボットの再生済中古品。ローツェ(Rorze)製。修理後のロボットは専用のテスト機での動作確認を実施。メーカー型式はRR700L150-Z30-010。フルオーバーホールの対応も可能。 ※納期：受注後5～7週間※中古品につきタイミングによっては売り切れの場合があります。

パッドコンディショナーローテーションギアボックス Pad Conditioner Rotation Gear Box

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CMP装置用パッドコンディショナーローテーションギアボックスの販売。非純正(2ndソース)モデル。内部シール、ギアデザインの改善モデル。NEMA 17マウント(Mount), 22:1(Rotation)。8インチ/200mm用。P/N：BW304PS11納期：受注後2週間。

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CMP装置用パッドコンディショナーローテーションギアボックスの販売。純正(OEM)モデル。NEMA 17マウント(Mount), 22:1(Rotation)。8インチ/200mm用。P/N：BW304PS03納期：受注後22週間。

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CMP装置用のガスケットロボットブレード。TITAN-I/1ヘッド用。AMAT Mirra用のラインアップ。P/N:0020-78177の互換品。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。

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8.0 ロードカップ用ペデスタルパッド 8.0 PEDESTAL PAD for LOAD CUP

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CMP装置用の8.0 ロードカップ用ペデスタルパッド。TITAN-I/1ヘッド用。AMAT Mirra用のラインアップ。P/N:0021-24557の互換品。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。

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CFユニット(ACD-73100)用CFカード CF Card for CF Unit (ACD-73100)

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Conpact Flash(CF) ACD-73100用のCFカード(メディア)。SCSI通信規格専用。主にAMATの装置(Centura/Endura/Producer等への互換性)。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。 ※メディアの記憶容量も都度変わりますのでご注意ください。

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パッドコンディショナースイッチングバルブ Pad Conditioner Switching Valve

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CMP装置用のパッドコンディショナースイッチングバルブ。Parker製バルブアッシーに置き換わる改良タイプ。リーク問題の改善、「プラグ＆プレイ」で装置へのインストールが簡単（15分以内）、寿命5年以上の性能改善モデル。TITAN-I/1ヘッド用。AMAT Mirra用のラインアップ。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。

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CMP装置用の改良型ウェハセンサー。TITAN-I/1ヘッド用。センサー中央部に圧力がかかった時にのみ反応。誤検知によるローディングエラーの問題を改善。AMAT Mirra用のラインアップ。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。

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キャリアプレート黒色ハードアノダイズ Carrier Plate, TITAN-I, Hard Black Ano

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CMP装置用キャリアプレート/メンブレンサポート。TITAN-I/1ヘッド用。純正P/N:0020-79088の互換品。AMAT Mirra用のラインアップ。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。

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PPSセンタリングジョー/アーム PPS Centering Jaws/Arms

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CMP装置用PPSセンタリングジョー/アーム。純正P/N:0020-78932等の互換品。材質はPPS(※純正はPEEK)。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。AMAT Mirra用のラインアップ。

300mm(12インチ) CMPリテーナーリング, PPS, 300mm(12 inch) Retainer Ring, PPS

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CMP装置用リテーナーリング。材質はPPS。12インチ(300mm)用。AMAT Reflexion/LK用。P/N:0241-04012/0041-75394/0247-01552/0040-97734等の互換品。

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PC/FC-98➡Windows 10変換エミュレーター PC/FC-98 to Windows 10 Conversion Emulator

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NEC製PC-9800/FC-9800シリーズのOS/アプリケーションで動いている設備を、既存設備の改良なしでそのまま最新Windows PC上で動作(エミュレート)させることができる老朽化延命対策ソリューション。老朽化したPC-98の、いつ起こるかわからない障害に対する不安を解消生産設備全体のリプレースの必要はなく、生産設備の要である制御用PCのみをリプレース評価不要のため低コス...

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CMP装置用ハウジングアッセンブリーの販売。Profiler IE HEAD用部品。P/N:0040-49305の互換品。AMAT Reflexion用。12インチ/300mm用。

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HYDE PARK超音波センサー置き換え用コントローラー付超音波センサー Ultrasonic Sensor with Controller for Direct Replacement of HYDE PARK Ultrasonic Sensor

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CMP装置用ウェハ検知超音波センサー（コントローラー付）の販売。P/N:SM3-50A-448-00FAの互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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パッドコンディショナーカップ DIウォータースプレーレトロフィット PAD CONDITIONER CUP DIW SPRAY RETROFIT

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CMP装置用パッドコンディショナーのクリーンカップポジションに連続でDIウォータースプレーを噴射させるアップグレードパーツ。DDの洗浄を改善し、ディフェクト発生率の低減が可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。この商品は装置1台につき1個使い、サービスマンによる現地インストレーション作業が必要になります。

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UPAアップグレード圧力トランスデューサー UPA Up-Grade Pressure Transducer

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CMP装置用UPA圧力(プレッシャー)トランスデューサーのアップグレードモデル。全てのヘッドゾーン圧力(RR, IT. PP, EC, UC)に使用可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。【特徴】1. 圧力トランスデューサーと圧力インジケーターを組み合わせて、レギュレーターからの出力圧力を簡単に確認し、Mirraサービス画面の値と比較します。トラブルシューティングが簡単。2....

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CMP装置用PMリダクションキット(アップグレードモデル)の販売。インタープラテンクリーン、スプラッシュガード(Long, Short)、スラリーアームベースホルダーによる構成。スラリー残留物が残りにくい設計。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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洗浄装置用SRD ウィールAssy SRD Wheelの販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。