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CMP装置用リテーナーリング。材質はX3G、PEEK、PET 等。6インチ(150mm)用。東京精密(ACCRETECH/TSK) CHAMP211用。表面仕上げの有り、無しで選択可能。 ※リテーナーリング(樹脂部)のみ。メンブレン部は含みません。※写真は代表的なリテーナーリングのため、実物と異なる場合があります。
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CMP装置用リテーナーリング。材質はX3G、PEEK、PET 等。8インチ(200mm)用。東京精密(ACCRETECH/TSK) CHAMP211用。表面仕上げの有り、無しで選択可能。 ※リテーナーリング(樹脂部)のみ。メンブレン部は含みません。※写真は代表的なリテーナーリングのため、実物と異なる場合があります。
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定価 ¥8,500,000
販売価格 ¥8,500,000
定価
単価
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CMP装置用FABSロボットの再生済中古品。ローツェ(Rorze)製。修理後のロボットは専用のテスト機での動作確認を実施。メーカー型式はRR700L150-Z30-010。フルオーバーホールの対応も可能。 ※納期:受注後5~7週間※中古品につきタイミングによっては売り切れの場合があります。
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CMP装置用パッドコンディショナーローテーションギアボックスの販売。非純正(2ndソース)モデル。内部シール、ギアデザインの改善モデル。NEMA 17マウント(Mount), 22:1(Rotation)。8インチ/200mm用。P/N:BW304PS11納期:受注後2週間。
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CMP装置用パッドコンディショナーローテーションギアボックスの販売。純正(OEM)モデル。NEMA 17マウント(Mount), 22:1(Rotation)。8インチ/200mm用。P/N:BW304PS03納期:受注後22週間。
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CMP装置用のガスケットロボットブレード。TITAN-I/1ヘッド用。AMAT Mirra用のラインアップ。P/N:0020-78177の互換品。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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CMP装置用の8.0 ロードカップ用ペデスタルパッド。TITAN-I/1ヘッド用。AMAT Mirra用のラインアップ。P/N:0021-24557の互換品。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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Conpact Flash(CF) ACD-73100用のCFカード(メディア)。SCSI通信規格専用。主にAMATの装置(Centura/Endura/Producer等への互換性)。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。 ※メディアの記憶容量も都度変わりますのでご注意ください。
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CMP装置用のパッドコンディショナースイッチングバルブ。Parker製バルブアッシーに置き換わる改良タイプ。リーク問題の改善、「プラグ&プレイ」で装置へのインストールが簡単(15分以内)、寿命5年以上の性能改善モデル。TITAN-I/1ヘッド用。AMAT Mirra用のラインアップ。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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CMP装置用の改良型ウェハセンサー。TITAN-I/1ヘッド用。センサー中央部に圧力がかかった時にのみ反応。誤検知によるローディングエラーの問題を改善。AMAT Mirra用のラインアップ。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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CMP装置用キャリアプレート/メンブレンサポート。TITAN-I/1ヘッド用。純正P/N:0020-79088の互換品。AMAT Mirra用のラインアップ。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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CMP装置用PPSセンタリングジョー/アーム。純正P/N:0020-78932等の互換品。材質はPPS(※純正はPEEK)。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。AMAT Mirra用のラインアップ。
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CMP装置用リテーナーリング。材質はPPS。12インチ(300mm)用。AMAT Reflexion/LK用。P/N:0241-04012/0041-75394/0247-01552/0040-97734等の互換品。
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 NEC製PC-9800/FC-9800シリーズのOS/アプリケーションで動いている設備を、既存設備の改良なしでそのまま最新Windows PC上で動作(エミュレート)させることができる老朽化延命対策ソリューション。 老朽化したPC-98の、いつ起こるかわからない障害に対する不安を解消 生産設備全体のリプレースの必要はなく、生産設備の要である制御用PCのみをリプレース 評価不要のため低コス...
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CMP装置用ハウジングアッセンブリーの販売。Profiler IE HEAD用部品。P/N:0040-49305の互換品。AMAT Reflexion用。12インチ/300mm用。
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CMP装置用ウェハ検知超音波センサー(コントローラー付)の販売。P/N:SM3-50A-448-00FAの互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
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CMP装置用パッドコンディショナーのクリーンカップポジションに連続でDIウォータースプレーを噴射させるアップグレードパーツ。DDの洗浄を改善し、ディフェクト発生率の低減が可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。 この商品は装置1台につき1個使い、サービスマンによる現地インストレーション作業が必要になります。
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CMP装置用UPA圧力(プレッシャー)トランスデューサーのアップグレードモデル。全てのヘッドゾーン圧力(RR, IT. PP, EC, UC)に使用可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。 【特徴】1. 圧力トランスデューサーと圧力インジケーターを組み合わせて、レギュレーターからの出力圧力を簡単に確認し、Mirraサービス画面の値と比較します。トラブルシューティングが簡単。2....
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CMP装置用PMリダクションキット(アップグレードモデル)の販売。インタープラテンクリーン、スプラッシュガード(Long, Short)、スラリーアームベースホルダーによる構成。スラリー残留物が残りにくい設計。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
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洗浄装置用SRD ウィールAssy SRD Wheelの販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。
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洗浄装置用メガソニックタンクベースの販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。
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洗浄装置用メガソニックHalarタンクの販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。
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洗浄装置用SRDランプAssy(バルブ付き)の販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。
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CMP装置用スラリーアームの販売。AMAT Mirra、Reflexion用に複数種類のラインアップ。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。