手動（マニュアル操作）でウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。オリフラウェハに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。76mm（3インチ）、100mm（4インチ）、150mm（6インチ）用ウェハに対応した商品ラインアップ。
WHS-A6シリーズは76mmから150mm対応の経済的な手動ウェハフラットアライナーとしてこれらの用途に最適化され、上下面のバルクアライメントを高精度で保証してデバイス性能の最適化に寄与します。SEMI準拠のウェハカセット対応で耐摩耗性と静電気拡散性に優れたステージとローラーを備え、静電気防止設計によりウェハとカセットを接地してクリーンルーム環境でのESD保護と信頼性を提供します。加えてISO4相当のクリーンルーム仕様、クイックディスコネクトローラーによる簡易メンテナンス、人間工学的設計による効率的なスクライブおよびエッジ検査、ISO9001での製造とCE認証により高品質と国際基準適合を両立した費用対効果の高いアライメントソリューションとなっています。
l 76 mm ～ 150 mm のウェハに対応する経済的なトップ/ボトムフラットアライナー
l メンテナンスが簡単で長寿命のクイックディスコネクトローラー
l 接地されたウェハおよびカセットパスを備えた帯電防止構造
l 保護を強化する接地ストラップを備えたESD安全
Economy manual flat aligner with dual knob (WHS-A6) 76 mm (3”)
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-A6-301
Material：Anti-static POM/anodized aluminum
Wafer size：76 mm (3”)
System：Manual system
Slots：Up to 25
Material roller：Antistatic EPDM
Aligning accuracy：Better than +/- 1°
Cleanroom designation：ISO 4 (Class 10 FS209E)
Economy manual flat aligner with dual knob (WHS-A6) 100 mm (4”)
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-A6-401
Material：Anti-static POM/anodized aluminum
Wafer size：100 mm (4”)
System：Manual system
Slots：Up to 25
Material roller：Antistatic EPDM
Aligning accuracy：Better than +/- 1°
Cleanroom designation：ISO 4 (Class 10 FS209E)
Economy manual flat aligner with dual knob (WHS-A6) 150 mm (6”)
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-A6-601
Material：Anti-static POM/anodized aluminum
Wafer size：150 mm (6”)
System：Manual system
Slots：Up to 25
Material roller：Antistatic EPDM
Aligning accuracy：Better than +/- 1°
Cleanroom designation：ISO 4 (Class 10 FS209E)
