チャッククリーニングウェハ

¥280,000 から

樹脂製真空台 3層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の兼用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。各インチ用プレートが必要。詳しくはこちらから

¥170,000 から

樹脂製真空台 2層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の専用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。詳しくはこちらから

パーティクルリムーバルフィルム(PRF) Particle Removal Film (PRF)

¥29,000 から

¥0

チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。ETCH(エッチング)/スパッタ(PVD)用CCW専用。 RNP-PRF-1255(PRF-1255-BL), RNP-PRF-1038(PRF-1038-BL), RNP-PRF-1593(PRF-1593-BL), RNP-PRF-1138(...

ディフェクトリムーバルフィルム(DRF) Defect Removal Film (DRF)

ASK

チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。フォトリソ/露光用CCW専用。 RNC-DRF-1255(DRF-1255), RNC-DRF-1038(DRF-1038), RNC-DRF-1593(DRF-1593) 詳しくはこちらから

チャッククリーニングウェハ(CCW) 8インチ Chuck Cleaning Wafer 8 inch

¥172,000

真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 RNC-SCB-0043NG7(CCW-7043-01-SC4-HT), RNC-SCB-0...