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チャッククリーニングウェハ

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樹脂製真空台 3層 12,8,6,5,4インチプレート交換可能タイプ 樹脂製真空台 3層 12,8,6,5,4インチプレート交換可能タイプ
¥310,000 から
¥310,000 から
樹脂製真空台 3層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の兼用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。各インチ用プレートが必要。 詳しくはこちらから
樹脂製真空台 2層 12,8,6,5,4インチ 各インチ専用タイプ 樹脂製真空台 2層 12,8,6,5,4インチ 各インチ専用タイプ
¥200,000 から
¥200,000 から
樹脂製真空台 2層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の専用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。 詳しくはこちらから
パーティクルリムーバルフィルム(PRF) Particle Removal Film (PRF) パーティクルリムーバルフィルム(PRF) Particle Removal Film (PRF)
¥29,000 から
¥29,000 から
¥0
チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。ETCH(エッチング)/スパッタ(PVD)用CCW専用。 RNP-PRF-1255(PRF-1255-BL), RNP-PRF-1038(PRF-1038-BL), RNP-PRF-1593(PRF-1593-BL), RNP-PRF-1138(...
ディフェクトリムーバルフィルム(DRF) Defect Removal Film (DRF) ディフェクトリムーバルフィルム(DRF) Defect Removal Film (DRF)
ASK
チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。フォトリソ/露光用CCW専用。 RNC-DRF-1255(DRF-1255), RNC-DRF-1038(DRF-1038), RNC-DRF-1593(DRF-1593) 詳しくはこちらから
ASK
チャッククリーニングウェハ(CCW) 8インチ Chuck Cleaning Wafer 8 inch チャッククリーニングウェハ(CCW) 8インチ Chuck Cleaning Wafer 8 inch
ASK
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 RNC-SCB-0043NG7(CCW-7043-01-SC4-HT), RNC-SCB-0...
チャッククリーニングウェハ(CCW) 6インチ Chuck Cleaning Wafer 6 inch チャッククリーニングウェハ(CCW) 6インチ Chuck Cleaning Wafer 6 inch
ASK
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 RNC-15B-0022J(CCW-7022J-01-150-FL), RNC-15B-00...
チャッククリーニングウェハ(CCW) 6025ガラスマスク用 Chuck Cleaning Wafer for Glass Mask 6025 チャッククリーニングウェハ(CCW) 6025ガラスマスク用 Chuck Cleaning Wafer for Glass Mask 6025
ASK
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 RNC-MCP-8601-CS(MCP-8601-CS), RNCM-0601S2G8(MC...
チャッククリーニングウェハ(CCW) 5インチ Chuck Cleaning Wafer 5 inch チャッククリーニングウェハ(CCW) 5インチ Chuck Cleaning Wafer 5 inch
ASK
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 RNC-15B-0021F(CCW-7021-01-150-FL), RNC-15B-002...
チャッククリーニングウェハ(CCW) 4インチ Chuck Cleaning Wafer 4 inch チャッククリーニングウェハ(CCW) 4インチ Chuck Cleaning Wafer 4 inch
¥0 から
¥0 から
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 RNC-25A-0020F(CCW-7020-001-257-FL), RNC-15B-00...
チャッククリーニングウェハ(CCW) 12インチ Chuck Cleaning Wafer 12 inch チャッククリーニングウェハ(CCW) 12インチ Chuck Cleaning Wafer 12 inch
ASK
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 RNC-SCB-0015NG7(CCW-7015-01-SC4-HT), RNC-SCB-0...
ASK
φ8 φ8
¥187,200
¥187,200
 【内訳】 8インチ⽤チャッククリーニングウェハ（CCW） ・RNC-SCB-0043NG7 強粘タイプ　1枚・・・主にETCH/PVD⽤   8インチ⽤CCW⽤9インチ□パーティクルリムーバルフィルム（PRF）1セット＝10枚⼊ ・RNP-PRF-1038（シリコーン系CCW⽤）
ASK
PRF補助用 樹脂製ローラー Polymer Roller for PRF assistance PRF補助用 樹脂製ローラー Polymer Roller for PRF assistance
¥7,000
¥7,000
チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する樹脂製ローラー。真空台上で吸着したCCWに、Particle Removal Film(PRF)を気泡を追い出しながら押し当てるためのパーツ。 詳しくはこちらから
ASK
CCW再生用_樹脂製真空台用_真空ポンプ Vacuum Pump for polymer vacuum plate for CCW recycle
¥90,000
¥90,000
  日東工器社製真空ポンプ。P/N:VP0940。チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する真空台用の専用ポンプ。真空到達圧:-53.3kPa、吐出空気量:60L/min。付属品：φ6エアーチューブ(2m)、エアーON/OFFハンドバルブ、サイレンサー付き。 詳しくはこちらから