アクセサリー（周辺機器）

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シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット用の交換用アタッチメント・チップ（先端）。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様など複数のラインアップ。 Vacuum Tip, Aluminum, 380/450 mm, 30 Down l 帯電防止アルミ製真空チップ l ...

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シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様など複数のラインアップ。 Vacuum wand set small device (WHS-V2) l 簡単にセットできるアッセンブリー品 l 静電気防止構造 l 小型デバイス ...

¥80,000

SPIN150xのリッド（蓋）とボウル/チャンバー部に装着する汚れ防止カバー。1パック20セット入り。ライナーを使用することでリッド（蓋）とボウル/チャンバー部の洗浄工程を省くことができます。・両面に均一な優れた帯電防止特性を持つ非晶質ポリエステル製のコスト効率の高い透明ハードホイル・スピンプロセス終了後、SPIN150xのリッド（蓋）とボウルセットを交換、または簡易洗浄で再利用でき...

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¥1

シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット。バッテリー(電池)駆動でポータブル。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様など複数のラインアップ。 Cordless portable vacuum wand (WHS-V6) l ウェハ処理用のコードレスバッテリー駆...

テフロン製ポーラスインレーチャックアダプター Porous PTFE inlay chuck adaptor

¥150,000

多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos Spin 150x用の基板保持用のポーラスインレーチャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。10mm×10mm×100μmt用の真空チャック。6,000rpmも使用可能。詳しくはこちらから

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¥1,100,000

パワーサプライ(電源)。デスクトップ型めっき(メッキ)システム(装置)用オプション部品(パーツ)。基板裏面への周り込み無く成膜できるのが特徴。省スペースでリーズナブルコスト。詳しくはこちらから品名型番用途 Power Supply PS with thyristor pre-regulation, LAN Comp.-interface and Coarse/Fine-Po...

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¥210,000

カバー付き電解液タンク。デスクトップ型めっき(メッキ)システム(装置)用オプション部品(パーツ)。基板裏面への周り込み無く成膜できるのが特徴。省スペースでリーズナブルコスト。詳しくはこちらから品名型番用途 Electrolyte tank with cover Tank 3 Glass + Lid PP for quick release couplings and Pt1...

Polosスピンプロセッサー用センタリングツール Centering Aid for Polos Spin Processor

¥110,000

多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos Spin150x/200x用のセンタリングツール(治具)。150x用はΦ2～φ6インチ、4インチ□角基板まで、200x用φ2～φ8インチ、6インチ□角基板まで利用が可能。 ※画像は「旧モデルPolos Spin200i用」：参考資料詳しくはこちらから

Polos スピンプロセッサー用ポンプ Vacuum Pump for Spin Processor

¥130,000

多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の真空(バキューム)ポンプ。Spin150x、Spin200xに対応。 ※写真はDP-40V 詳しくはこちらから＜推奨付属部品＞・ポンプの振動を抑えたい場合はこちら（直接当該サイトからご購入ください。）・ポンプを完全に固定したい場合はこちら（直接当該サイトからご購入ください。）

¥80,000 から

多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。小片/チップ用。詳しくはこちらから Part No. Model Description 38071 J-V17-S50-PP Foil Adapter, Perforation d=0,5mm, material NPP, vacuum a...

¥40,000 から

多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。小片/チップ用。詳しくはこちらから Standard Chucks 　　 Part No. Model Description 26533 D-V10-S50-PP Fragment adapter, material NPP, vac...

Cタイプ非真空メカニカルチャック（4センタリングピン）C-type Non-Vacuum, mechanical Chuck with 4 centering pins

¥190,000

多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の非真空メカニカルチャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。詳しくはこちらから

Aタイプ真空チャック（センタリングピン無し）A-type Vacuum chuck without centering pins

¥60,000 から

多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos用の基板保持用の真空(バキューム)チャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。詳しくはこちらから Standard Chucks 　　 Part No. Model Description 31857 A-V36-S45-PP-HD Vacuum chuck without cent...

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¥2,500,000

タッチスクリーン式、USB内蔵のハンディタイプのUV照度計(パワーメーター/Power Meter)。OAI社製で旧型モデル358の後継機種。校正サービスも提供可。専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)も販売。詳しくはこちらから model 対応波長帯域強度レンジ Model659 365nm – 436nm ～7,500mW/cm2 ...

Model 308/308T UV照度計 Model 308/308T Light Meter

¥320,000 から

ハンディタイプのUV照度計(パワーメーター/Power Meter)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)も販売。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。【Model 308】 Relative Accuracy:275-2000 mw/cm2 range: ±(.042% of reading +.4...

Model 308照度計用専用プローブ 220-540nm Probes for Model 308 UV Light Meter

¥220,000 から

UV照度計(パワーメーター/Power Meter)モデル308用専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。 ※w/Handle、および、高温仕様(High Temp)用のプローブは別価格となります。

¥200,000 から