アクセサリー（周辺機器）

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WHS-P2マニュアルエスカレーターは、独自の階段状機構によりカセット内の各ウェハを段階的に上昇させ、ウェハIDとロット番号の確認を容易にします。このツールは、カセット内のすべてのウェハを、過度なハンドリングなしに明瞭に確認する必要があるオペレーターに最適です。 l 独自のダブルアングルリフトコーム設計により、エッジの欠けを防止 l 読み取りを容易にしたウェハスロット構造（前のスロッ...

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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。 WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。 WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1...

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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。 WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。・主力製品であるWHS-M1（350℃）には、25スロット（標準）...

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12インチ専用アルミメタルプロセスカセット Aluminum metal process cassette 300 mm

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レガシーカセットアルミコートトップスリーブタイプ Legacy cassette, aluminum (coated) top opened

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レガシーカセットアルミコート天板タイプ Legacy cassette, aluminum (coated) top closed

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カスタムプロセスアルミ製カセット 8インチ25スロット　Custom process Aluminum Cassettes 8inch-25 slots

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カスタムプロセスアルミ製カセット 6インチ25スロット　Custom process Aluminum Cassettes 6inch-25 slots

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カスタムプロセスアルミ製カセット 4インチ25スロット　Custom process Aluminum Cassettes 4inch-25 slots

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カスタムプロセスアルミ製カセット 3インチ25スロット　Custom process Aluminum Cassettes 3inch-25 slots

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アルミ製カセット 25スロット　Aluminum Process Cassettes 25 slots

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アルミ製カセット 13スロット　Aluminum Process Cassettes 13 slots

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真空ピンセット(Vacuum wands)用コード。このコードは、PU素材、導電性ポリウレタン素材から作られており、手触りの良い軽量な「バネ」フィーリングを確保しながら、摩耗や圧着に対する弾力性を確保しています。特にISO 3クリーンルーム環境で高いパフォーマンスを発揮します。 Coil cord conductive polyurethane (WHS-V3) l頑丈な圧着防止設計 ...

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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール（ウェハグリッパー）。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。・G1およびG2モデル：エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。・G3モデル：独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...

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シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット用のハンドル・グリップ・取っ手。 l 通常オープンのユニバーサルワンドハンドル l 静電気防止構造 l 大型グリップ Vacuum wand handle normally open pressfit antistatic large grip (W...

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シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット用の交換用アタッチメント・チップ（先端）。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様、ナイフエッジ仕様など複数のラインアップ。 Vacuum Tip, Aluminum, 380/450 mm, 30 Down l 帯電防止アルミ...

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シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様など複数のラインアップ。 Vacuum wand set small device (WHS-V2) l 簡単にセットできるアッセンブリー品 l 静電気防止構造 l 小型デバイス ...