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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の再生。アルミ(Al)アルマイト(アノダイズ)再生+ESC貼り換え、ESC貼り換えのみの二通りの再生。8インチ(200mm)用。AMAT(Applied Materials)。P/N:0041-34688/0010-10327/0040-99949の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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エッチング装置用のアルミ(Al)アルマイトアノダイズ・アルミナ(Al2O3)/イットリウム/イットア(Y2O3)パーツの洗浄再生サービス。ドライアイス洗浄によりパーツにダメージを与えず洗浄が可能。上部/下部電極、エレクトロ―ド、トップ/ボトムプレート、静電チャック(ESC/Eチャック)、バッフル板、デポシールド等。 詳しくはこちらから
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エッチング装置用のアルミ(Al)アルマイト/アノダイズパーツの再生サービス。上部/下部電極、エレクトロ―ド、トップ/ボトムプレート、静電チャック(ESC/Eチャック)、バッフル板、デポシールド等。 詳しくはこちらから
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半導体製造装置用真空ゲートバルブの修理、オーバーホール。主にVAT、HVA等に対応。スパッタ(PVD)、CVD、エッチング(Etching)、イオン注入(インプラ/IMP)装置用。VATシリーズ010/02/03/04/075/10/12/14/15/16.2/61/65、SMC XGT200/300等に対応。 詳しくはこちらから
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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の再生。Centura DPS、Super-e、MXP+、TCP/Alliance 9400/9600、Exelan-Hpt、Flex、Kiyo、UNITY、8500、DRM、SCCM等に対応。ダメージの状況に応じて再生内容を選択可能。主にLAM、TEL、AMAT 8、12インチ(200、300mm)向け。
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半導体製造装置用真空ポンプ(クライオ、ターボ、ドライ、ロータリー等)の修理およびオーバーホール(O/H、OH)。スパッタ(PVD)、CVD、エッチング(Etching)、イオン注入(IMP)向け。Helix:CT-8/10、100/250F、OB-8/10、ULVAC:Uシリーズ、キヤノンアネルバ(Canon Anellva)CUPシリーズ、EBARA、BOC EDWARDS(エドワーズ)等...