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受託加工

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スパッタ成膜 スパッタ成膜
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自社保有のスパッタ装置を利用した成膜加工のファンドリーサービス 自社保有設備＝8台 特殊な基板(小口径、角型、立体、フイルム等) への成膜が可能 保有材料＝約120種類（金属、合金、酸化物、窒化物 etc.） 3層まで同一真空チャンバー内で成膜可能 小片～φ300mmサイズの少量～中量産（数100枚）の製造キャパ 詳しくはこちらから 下の見積依頼フォー...
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ドライエッチング ドライエッチング
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自社保有のドライエッチング装置を利用したドライエッチング加工のファンドリーサービス 自社保有設備＝2台（RIE=1台、ICP＝1台） 特殊な基板(小口径、角型、立体、フイルム等) へのエッチング/アッシングが可能 パターン付き基板への加工も可能 詳しくはこちらから 下の見積依頼フォームからご入力いただければ、迅速且つ速やかな御見積回答が可能になります。
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ナノインプリント ナノインプリント
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自社保有のナノインプリント装置を利用したナノインプリント加工のファンドリーサービス 自社保有設備＝4台（熱ナノインプリント=1台、UVナノインプリント装置＝3台） 特殊な基板(小口径、角型、立体、フイルム等) へのナノインプリントが可能 転写に必要な金型（モールド）の販売・作製も対応可 金型（モールド）の離型処理・洗浄サービス 技術コンサルティング  詳しくはこちらから ...
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ターゲット・ESCボンディング ターゲット・ESCボンディング
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自社設備を用いたスパッタリングターゲット（平板・円筒）、静電チャック（Eチャック/ESC）のボンディング・接合の受託加工 l  ISOに基づく品質保証体制 l  少量試作から量産向け供給まで幅広く対応 l  プラナー型のみでなく、コストメリットや歩留まりに優れた円筒形ターゲットにも対応 l  独自開発の高品質なボンディング材料や工法を保有 l  大型UT検査装置（超音波探傷）を自社保有 l ...