プリベーク・ポストベークに適したデスクトップサイズのホットプレート。用途に合わせたカスタマイズが可能。精密温度制御、アラートサウンド機能付き。研究開発(R&D)向け。
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【電圧：230 VAC】
温度範囲：50～230°C
- 20プログラム（温度/時間）の保存機能付き
- 音響アラーム付きカウントダウンタイマー（1～999秒）
- 温度均一性 ±1.0°C
- ヒーター表面積：350 x 350 mm
- 300 mmウェーハ1枚対応
- 設定可能（電動）リフティングピン装備（半径定義式）
- ベイク時ウェーハをヒートプレート上方に保持するプロキシミティピン装備
- ハードコンタクトベイク実現用穿孔真空プレート装備
- ヒーターブロック材質：アルミニウム（陽極酸化処理）
- ハウジング材質：ステンレス鋼
- 窒素接続付きヒンジ式蓋付属
- 重量：20kg
【電圧：110 VAC】
温度範囲：50～230°C
- 20プログラム（温度/時間）のプログラム可能保存機能
- カウントダウンタイマー（1～999秒）と音響アラーム付き
- 温度均一性 ±1.0°C
- ヒーター表面積：350 x 350 mm
- 300 mmウェーハ1枚対応
- 設定可能（電動）リフティングピンセットを半径方向に装備
- ベイク中にウェーハを加熱プレート上方に保持する近接ピン装備
- ハードコンタクトベイクを実現する穿孔真空プレート装備
- ヒーターブロック材質：アルミニウム（陽極酸化処理）
- ハウジング材質：ステンレス鋼
- N2接続付きヒンジ式蓋付属
- 重量：20kg
