WHS-A3シリーズは、150 mm (6 インチ)または200 mm(8インチ)ノッチウェハの正確な±1°バルクアライメント用に設計された最先端の自動ウェハノッチアライナーです。この高度なシステムは、精密ノッチ キャッチ コームアセンブリとESD対応ポリウレタンローラーを組み合わせ、SiC、GaN、GaAsなどの敏感な半導体材料を確実かつ安全に処理します。リソグラフィー、成膜、エッチングなどの重要なプロセスに最適です。

パスワードで保護されたタッチスクリーンインターフェイスにより、オペレーターは標準モード、薄型/複合ウェハアライメント、エッジ検査モードなど、複数のアライメント プログラムにアクセスできます。WHS-A3は、最高の精度を維持しながら、さまざまなウェハ処理要件に適応できる優れた柔軟性を提供します。

静電気拡散材料で構築されたWHS-A3 は、ウェハとカセットの両方を接地することで強力なESD保護を提供し、処理中の静電放電を防ぎます。このシステムは、ISO3 (クラス1FS209E)クリーンルーム環境で動作するように設計されており、汚染制御の最高基準を満たしています。

WHS-A3は、ロットの完全性チェックやエッジ検査などの重要なタスクもサポートしているため、オペレーターはプロセスの早い段階でウェハの欠陥を特定して対処できます。メンテナンスのしやすさを考慮して設計されており、素早く簡単にクリーニングできるクイックディスコネクトローラーアセンブリを備えています。 

ISO9001およびCE認定施設で製造された WHS-A3は、厳格な国際基準を満たしており、要求の厳しい半導体製造環境での高精度ウェハアライメントに最適なソリューションです。