クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。

WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。

これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニエンバイロメントを安全にロック解除し、オペレーターが内部のウェーハやマスクにアクセスできるように設計されています。各製品は耐久性とクリーンルーム適合性を考慮して設計されており、メンテナンスの必要性を最小限に抑えながら長寿命を実現しています。耐摩耗性と低パーティクル性を実現する特殊素材を採用し、クリーンで信頼性の高い操作を実現しています。

クリーン性と人間工学を設計の優先事項とし、使いやすく高機能なポッドオープナーを開発しています。 300mmウェーハキャリアやレチクルマスクへのアクセスが必要な場合でも、WHSポッドオープナーはクリーンルーム環境の要求にも耐えられるよう設計された 安全で効率的なソリューションを提供します。

l  プッシュボタン式半自動ポッドオープナー

l  200mmウェハ用SEMI E19.3およびE19.4 SMIFポッドに対応

l  ウェハ保護のための帯電防止および耐摩耗性素材

l  蓋の汚染を防ぐステンレス製ラックを内蔵

Semi-Automatic SMIF Pod Opener (WHS-O8)

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-O8-RSP200

Remarks：Note: We need pod model number when placing your order

Material：Anodized alumium

Pod type：SMIF (E19.3 or E19.4)

System：Semi automatic

Material, base：Anodized aluminum

Material, lid rack：316 stainless steel

Material, guides/handle：Antistatic Polyoxymethylene 

Cleanliness：ISO 3 (Class 1 FS209E)