装置部品

Model 308/308T UV照度計 Model 308/308T Light Meter

¥320,000 から

ハンディタイプのUV照度計(パワーメーター/Power Meter)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)も販売。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。【Model 308】 Relative Accuracy:275-2000 mw/cm2 range: ±(.042% of reading +.4...

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アナログニューマティックボードアップグレードアッシー Analog Pneumatics Board Up-grade ASSY

¥1,200,000

製造/生産中止の純正デュアルチャネル(Dual Channel)アナログニューマティックス/ニュートロ二クスI/Oボード(P/N:0050-01091)に互換性のある改造キット。デジタル式。AMAT CMP装置 Mirra用。

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AMAT CVGアッセンブリーアップグレード AMAT CVG Assembly Upgrade External Resistor Upgrade for Legacy tools

¥620,000

CVGアッセンブリーのアップグレードモデル。セラミックレジスターとクォーツチューブを取り除いたデザイン。0021-23550/0021-10296/0020-09602/0020-10134/0040-05294/0040-02938の互換品。AMAT ENDURA、P5000、Centura用。Input Block、Output Block/DLH SACVD CVG/DLH SiN/P...

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CCW再生用_樹脂製真空台用_真空ポンプ Vacuum Pump for polymer vacuum plate for CCW recycle

¥90,000

日東工器社製真空ポンプ。P/N:VP0940。チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する真空台用の専用ポンプ。真空到達圧:-53.3kPa、吐出空気量:60L/min。付属品：φ6エアーチューブ(2m)、エアーON/OFFハンドバルブ、サイレンサー付き。詳しくはこちらから

¥200,000 から

樹脂製真空台 2層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の専用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。詳しくはこちらから

¥310,000 から

樹脂製真空台 3層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の兼用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。各インチ用プレートが必要。詳しくはこちらから

チャッククリーニングウェハ(CCW) 6025ガラスマスク用 Chuck Cleaning Wafer for Glass Mask 6025

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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 RNC-MCP-8601-CS(MCP-8601-CS), RNCM-0601S2G8(MC...

ディフェクトリムーバルフィルム(DRF) Defect Removal Film (DRF)

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チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。フォトリソ/露光用CCW専用。 RNC-DRF-1255(DRF-1255), RNC-DRF-1038(DRF-1038), RNC-DRF-1593(DRF-1593) 詳しくはこちらから

パーティクルリムーバルフィルム(PRF) Particle Removal Film (PRF)

¥29,000 から

¥0

チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。ETCH(エッチング)/スパッタ(PVD)用CCW専用。 RNP-PRF-1255(PRF-1255-BL), RNP-PRF-1038(PRF-1038-BL), RNP-PRF-1593(PRF-1593-BL), RNP-PRF-1138(...

チャッククリーニングウェハ(CCW) 12インチ Chuck Cleaning Wafer 12 inch

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チャッククリーニングウェハ(CCW) 8インチ Chuck Cleaning Wafer 8 inch

¥172,000

チャッククリーニングウェハ(CCW) 6インチ Chuck Cleaning Wafer 6 inch

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チャッククリーニングウェハ(CCW) 5インチ Chuck Cleaning Wafer 5 inch

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チャッククリーニングウェハ(CCW) 4インチ Chuck Cleaning Wafer 4 inch

¥79,000

E220/E550/EHP220/EHP500/VIISion/VIISta用ESCアップグレードモデル

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イオン注入(IMP)装置E220/E500/EHP220/EHP500/VIISion/VIISta用の静電チャック(Eチャック/ESC)のアップグレードモデル。耐プラズマ/アーク等の機能面でオリジナル品の問題点を改善。TEL(VARIAN)

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¥1,080,000

CVD装置用TXZヒーター(TXZ Heater)。P/N:0010-37784の互換品。AMAT CVD装置Centura TXZチャンバー用。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。

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QCギアボックスアップグレードモデル 0010-25969/0021-18493 QC Gear Box Upgrade model

¥910,000

洗浄装置用ブラシタンク用QCギアボックスのアップグレードモデル。P/N:0010-25969/0021-18493の互換品。ギア外れ防止、部品の部分交換、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。詳しくはこちらから

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QCウェットサイドAssyアップグレードモデル 0010-25969 QC Wetside Assy Upgrade model

¥1,320,000

洗浄装置用ブラシタンク用QCウェットサイド(Wet Side)のアップグレードモデル。P/N:0010-25969の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。詳しくはこちらから

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QCドライサイドAssyアップグレードモデル 0010-25970 QC Dryside Assy Upgrade model

¥1,320,000

洗浄装置用ブラシタンク用QCドライサイド(Dry Side)のアップグレードモデル。P/N:0010-25970の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。詳しくはこちらから

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¥40,000

フレクサー Flexure。P/N:0040-77343の互換品。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。研磨ヘッド(Polishing Head)用パーツ。3個1ロットで販売。SUS製。当社P/N:SA18-0085-00。 ※最小販売ロット数3個詳しくはこちらから