装置部品

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¥4,000,000

製造/生産中止のNSKメガトルクモーター(RZ0810FN507/0190-14344)＋ドライバー(EP0810AF3/AF5/AF8-05)に置き換え可能な(互換性のある)モーター＋ドライバーのセット。AMAT CMP装置 Mirra用。＜DolDolモーター＋ドライバーの従来品に対する優位点＞ DolDolモーターとドライバーは電力効率を高めた新技術を採用モーターの強化設計と改良...

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パッドコンディショナーDDF3ヘッド改造キット Pad Conditioner DDF3 Head Conversion Kit

¥300,000

パッドコンディショナーDDF3(DDF-3)ヘッド用の改造キット。ダイアフラム/ダイヤフラムレスの設計でリークの問題を低減。シリンダー式。組立て手順書含む。AMAT CMP装置Mirra用。P/N:BW412CA43。

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ロボットモーターShoulder軸 Robot Motor Shoulder-Axis

¥190,000

製造/生産中止のウェットロボットショルダー軸モーター(Shoulder Axis Motor P/N:0190-77125)の互換品。当社P/N:BW402L3R3。エンコーダー付。8" High Flex Cable仕様。AMAT CMP装置 Mirra用。詳しくはこちらから

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¥190,000

製造/生産中止のウェットロボットリスト軸モーター(Wrist Axis Motor P/N:0190-16236)の互換品。当社P/N:BW402L2R3。エンコーダー付。4.5" High Flex Cable仕様。AMAT CMP装置 Mirra用。詳しくはこちらから

¥190,000

製造/生産中止のウェットロボットZ軸モーター(Z Axis Motor)。P/N:0190-17944(当社P/N:BW402L1L4) 13" High Flex Cable仕様、P/N:0190-16234(当社BW402L1R5)15ピン仕様の互換品。エンコーダー付。AMAT CMP装置 Mirra用。詳しくはこちらから

Model 308照度計用専用プローブ 220-540nm Probes for Model 308 UV Light Meter

¥220,000 から

UV照度計(パワーメーター/Power Meter)モデル308用専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。 ※w/Handle、および、高温仕様(High Temp)用のプローブは別価格となります。

Model 308/308T UV照度計 Model 308/308T Light Meter

¥320,000 から

ハンディタイプのUV照度計(パワーメーター/Power Meter)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)も販売。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。【Model 308】 Relative Accuracy:275-2000 mw/cm2 range: ±(.042% of reading +.4...

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アナログニューマティックボードアップグレードアッシー Analog Pneumatics Board Up-grade ASSY

¥1,200,000

製造/生産中止の純正デュアルチャネル(Dual Channel)アナログニューマティックス/ニュートロ二クスI/Oボード(P/N:0050-01091)に互換性のある改造キット。デジタル式。AMAT CMP装置 Mirra用。

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AMAT CVGアッセンブリーアップグレード AMAT CVG Assembly Upgrade External Resistor Upgrade for Legacy tools

¥620,000

CVGアッセンブリーのアップグレードモデル。セラミックレジスターとクォーツチューブを取り除いたデザイン。0021-23550/0021-10296/0020-09602/0020-10134/0040-05294/0040-02938の互換品。AMAT ENDURA、P5000、Centura用。Input Block、Output Block/DLH SACVD CVG/DLH SiN/P...

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CCW再生用_樹脂製真空台用_真空ポンプ Vacuum Pump for polymer vacuum plate for CCW recycle

¥90,000

日東工器社製真空ポンプ。P/N:VP0940。チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する真空台用の専用ポンプ。真空到達圧:-53.3kPa、吐出空気量:60L/min。付属品：φ6エアーチューブ(2m)、エアーON/OFFハンドバルブ、サイレンサー付き。詳しくはこちらから

¥200,000 から

樹脂製真空台 2層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の専用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。詳しくはこちらから

¥310,000 から

樹脂製真空台 3層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の兼用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。各インチ用プレートが必要。詳しくはこちらから

チャッククリーニングウェハ(CCW) 6025ガラスマスク用 Chuck Cleaning Wafer for Glass Mask 6025

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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 RNC-MCP-8601-CS(MCP-8601-CS), RNCM-0601S2G8(MC...

ディフェクトリムーバルフィルム(DRF) Defect Removal Film (DRF)

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チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。フォトリソ/露光用CCW専用。 RNC-DRF-1255(DRF-1255), RNC-DRF-1038(DRF-1038), RNC-DRF-1593(DRF-1593) 詳しくはこちらから

パーティクルリムーバルフィルム(PRF) Particle Removal Film (PRF)

¥29,000 から

¥0

チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。ETCH(エッチング)/スパッタ(PVD)用CCW専用。 RNP-PRF-1255(PRF-1255-BL), RNP-PRF-1038(PRF-1038-BL), RNP-PRF-1593(PRF-1593-BL), RNP-PRF-1138(...

チャッククリーニングウェハ(CCW) 12インチ Chuck Cleaning Wafer 12 inch

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チャッククリーニングウェハ(CCW) 8インチ Chuck Cleaning Wafer 8 inch

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チャッククリーニングウェハ(CCW) 6インチ Chuck Cleaning Wafer 6 inch

¥0 から

★在庫品販売キャンペーン（15%Off）実施中（2026/2/6～在庫完売まで） ※φ6インチチャッククリーニングウェハ（CCW）フォトリソ用弱粘タイプ「RNC-25A-0022J」をご購入いただいた場合に以下のクーポコードをご利用いただけます。クーポンコードを入力すると表示価格から15%のディスカウントが適用されます。　クーポンコード：XSQW7NY36MR6 真空/バキューム/静電...

チャッククリーニングウェハ(CCW) 5インチ Chuck Cleaning Wafer 5 inch

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チャッククリーニングウェハ(CCW) 4インチ Chuck Cleaning Wafer 4 inch

¥0 から

★在庫品販売キャンペーン（15%Off）実施中（2026/2/6～在庫完売まで） ※φ4インチチャッククリーニングウェハ（CCW）旧型番の「CCW-7020-001-257-FL」ご購入いただいた場合に以下のクーポコードをご利用いただけます。クーポンコードを入力すると表示価格から15%のディスカウントが適用されます。　クーポンコード：1TZC9S85CSF2 真空/バキューム/静電/メ...

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