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CMP装置用MASTERFLEXロータリーポンプ用ヘッド。スラリーモーター(チューブポンプ)のヘッド部に取り付くパーツ。ケース材質:PC(ポリカーボネート)、ローターケース材質:SUS(ステンレス)。P/N:7017-21(65S)。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
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