装置部品

チャッククリーニングウェハ(CCW) 5インチ Chuck Cleaning Wafer 5 inch

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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 RNC-15B-0021F(CCW-7021-01-150-FL), RNC-15B-002...

チャッククリーニングウェハ(CCW) 4インチ Chuck Cleaning Wafer 4 inch

¥0 から

★在庫品販売キャンペーン（15%Off）実施中（2026/2/6～在庫完売まで） ※φ4インチチャッククリーニングウェハ（CCW）旧型番の「CCW-7020-001-257-FL」ご購入いただいた場合に以下のクーポコードをご利用いただけます。クーポンコードを入力すると表示価格から15%のディスカウントが適用されます。　クーポンコード：1TZC9S85CSF2 真空/バキューム/静電/メ...

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¥1,080,000

CVD装置用TXZヒーター(TXZ Heater)。P/N:0010-37784の互換品。AMAT CVD装置Centura TXZチャンバー用。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。

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QCギアボックスアップグレードモデル 0010-25969/0021-18493 QC Gear Box Upgrade model

¥910,000

洗浄装置用ブラシタンク用QCギアボックスのアップグレードモデル。P/N:0010-25969/0021-18493の互換品。ギア外れ防止、部品の部分交換、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。詳しくはこちらから

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QCウェットサイドAssyアップグレードモデル 0010-25969 QC Wetside Assy Upgrade model

¥1,320,000

洗浄装置用ブラシタンク用QCウェットサイド(Wet Side)のアップグレードモデル。P/N:0010-25969の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。詳しくはこちらから

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QCドライサイドAssyアップグレードモデル 0010-25970 QC Dryside Assy Upgrade model

¥1,320,000

洗浄装置用ブラシタンク用QCドライサイド(Dry Side)のアップグレードモデル。P/N:0010-25970の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。詳しくはこちらから

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¥40,000

フレクサー Flexure。P/N:0040-77343の互換品。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。研磨ヘッド(Polishing Head)用パーツ。3個1ロットで販売。SUS製。当社P/N:SA18-0085-00。 ※最小販売ロット数3個詳しくはこちらから

改良型クロスカバー（防スラリーモデル）0020-79378 Modified Cross Cover (Anti-slurry model)

¥300,000 から

CMP装置改良型クロスカバー(スラリー付着防止モデル)。P/N:0020-79378の互換品。スラリーが付着しにくくコンタミ/パーティクル問題を改善するアップグレード品。AMAT Reflexion用。詳しくはこちらから

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¥1,010,000

CMP装置用スラリーアーム(Slurry Arm)。純正P/N:0010-77651等の互換品。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。AMAT Mirra/Reflexion用のラインアップ。

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¥1,960,000

AMAT CMP装置Reflexion LK用パーツ。形状や型番は写真と異なる場合がありますので都度問い合わせください。

¥220,000

洗浄装置用メガローラー(Mega Roller)。純正P/N:0040-43238/0040-87416/0040-87418等の互換品。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。AMAT MESA用のラインアップ。

¥100,000

洗浄装置用メガアイドラー(Mega Idler)。純正P/N:0010-77582/0010-17014等の互換品。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。AMAT MESA用のラインアップ。

¥132,000 から

製造/生産中止のフロッピーディスク(FD/Floppy Disk)をUSBに置き換えるための変換機器/アダプター。ATAPI通信規格対応。34ピンコネクター、2HD、1.44MB FD対応。USBメモリー1個付き、主にUNITY等への互換性あり。・プロセスレシピ／搬送レシピ等のデータバックアップに使用可能・生産中止で入手困難なFDドライブ・メディアの問題を解決・安価で手軽に購入可能なUSB...

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CRTモニターとの置換え可能な液晶タッチパネル(LCD Monitor/Touch Panel)。17インチサイズの液晶モニター。AMAT CVD/PVD/イオン注入(IMP)/Centura/Endura/Producer/P5000/PI9500や、Therma-Wave社膜厚測定器(OPシリーズ）などで実績あり。詳しくはこちらから

コンパクトフラッシュ(CF)ユニット Compact Flash (CF) Unit

¥220,000

製造/生産中止のフロッピーディスク(FD/Floppy Disk)をConpact Flash(CF)に置き換えるための変換機器/アダプター。SCSI通信規格専用。主にAMATの装置(Centura/Endura/Producer等への互換性)。詳しくはこちらから

¥50,000 から

3.5インチのHDD/SSDサイズで設計されたRAID１(ミラーリング)コントロールユニット。SCSI/IDE/SATA通信規格のハードディスク内データをSATA規格のデータに変換して2.5インチSATA SSDへの保存が可能。2枚のSSDを収納し自動でミラーリングを開始。ホットスワップ機能付で瞬停時のデータロスの心配も無し。 ※販売するメディアは2.5インチSSD（別売り）になります。 ※...

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タッチスクリーン式、USB内蔵のハンディタイプのUV照度計(パワーメーター/Power Meter)。OAI社製で旧型モデル358の後継機種。校正サービスも提供可。専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)も販売。詳しくはこちらから model 対応波長帯域強度レンジ Model659 365nm – 436nm ～7,500mW/cm2 ...