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スピンドルAssy Spindle
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CMP装置用スピンドルAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-77216の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
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ウェットロボットAssy Wet Robot ウェットロボットAssy Wet Robot
¥5,250,000
¥5,250,000
CMP装置用ウェットロボットAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-77676、  0010-77400等。
クロスペデスタル(ハーモニックドライブ)Assy Cross Pedestal (Harmonic Drive)
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CMP装置用クロスペデスタル(ハーモニックドライブ)Assyの販売。標準修理または新品ハーモニックギア交換込みの修理サービスも対応可能。P/N:0010-26153(旧:0010-77141)。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
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パワーサプライ(ボード・カード) Power Supply (Board, Card) パワーサプライ(ボード・カード) Power Supply (Board, Card)
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イオン注入(インプラ/IMP)装置のパワーサプライ(電源)/カード/ボード/PCBの販売。P/N: E21000124の互換品。VIIsta 8インチ(200mm)、12インチ(300mm)用。VARIAN/AMAT装置向け。
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A6 24チャネルIn-Out A6 24 Channel In-Out AD A6 24チャネルIn-Out A6 24 Channel In-Out AD
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イオン注入(インプラ/IMP)装置のA6 24チャネルIn-Out(イン-アウト)カード/ボード/PCBの販売。VIIsta 8インチ(200mm)、12インチ(300mm)用。VARIAN/AMAT装置向け。
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A5 12ビット16チャネルAD A5 12 Bit, 16 Channel AD A5 12ビット16チャネルAD A5 12 Bit, 16 Channel AD
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イオン注入(インプラ/IMP)装置のA5 12ビット16チャネル(チャンネル)カード/ボード/PCBの販売。VIIsta 8インチ(200mm)、12インチ(300mm)用。VARIAN/AMAT装置向け。
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A4 16ビット4チャネルAD A4 16 bit, 4 Channel AD A4 16ビット4チャネルAD A4 16 bit, 4 Channel AD
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イオン注入(インプラ/IMP)装置のA4 16ビット4チャネル(チャンネル)カード/ボード/PCBの販売。VIIsta 8インチ(200mm)、12インチ(300mm)用。VARIAN/AMAT装置向け。
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A2/A3 4軸インターフェース A2/A3 4-axis interface
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イオン注入(インプラ/IMP)装置のA2/A3 4軸インターフェース/カード/ボード/PCBの販売。P/N: E20000346の互換品。VIIsta 8インチ(200mm)、12インチ(300mm)用。VARIAN/AMAT装置向け。
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A1コミュニケーションカード A1 Communication Card A1コミュニケーションカード A1 Communication Card
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イオン注入(インプラ/IMP)装置のA1コミュニケーションカード/ボード/PCBの販売。VIIsta 8インチ(200mm)、12インチ(300mm)用。VARIAN/AMAT装置向け。
DXZカバープレート8インチ DXZ Cover Plate 8 INCH DXZカバープレート8インチ DXZ Cover Plate 8 INCH
¥840,000 から
¥840,000 から
CVD装置用のカバープレート8インチ(200mm)用。P/N:0200-36630、0020-36631の互換品。AMAT Centura DXZチャンバー用。
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ウェハサポート, クリーナー300MM HMVセット WAFER SUPPORT, CLEANER 300MM HVM Set ウェハサポート, クリーナー300MM HMVセット WAFER SUPPORT, CLEANER 300MM HVM Set
¥210,000
¥210,000
CMP装置スピンドルシャフト用のウェハ/ウェハーサポートクリーナーHVMのライトサイド(0021-14649)、レフトサイド(0021-14650)、センターサスロット(0021-14651)の1セット。個別販売も可能(MOQ 各2個)。AMAT Reflexion 300mm用。スピンドルシャフトAssyの修理対応も可能。
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長寿命リテーナーリングX3G, Long Life Retainer Ring X3G 長寿命リテーナーリングX3G, Long Life Retainer Ring X3G
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CMP装置用リテーナーリングの寿命、均一性/ユニフォミティ改善モデル。材質はX3G。8インチ(200mm)用のみに対応。AMAT Mirra、EBARA FREX/F-REX200用などに対応。P/N:0040-77243/0040-80952/0040-79583/0040-78263等。 詳しくはこちらから
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MASTERFLEXロータリーポンプ用ヘッド Rotary Pump Head
¥87,000
¥87,000
CMP装置用MASTERFLEXロータリーポンプ用ヘッド。スラリーモーター(チューブポンプ)のヘッド部に取り付くパーツ。ケース材質:PC(ポリカーボネート)、ローターケース材質:SUS(ステンレス)。P/N:7017-21(65S)。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
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パッドコンディショナーローテーションモーターギアボックス Pad Cond Rotation Motor Gearbox CGI 017PLX0220-XX3959X
¥400,000
¥400,000
パッドコンディショナーローテーションモーターギアボックス/Pad Cond Rotation Motor Gearbox/Gear Box。 CGI 017PLX0220-XX3959Xの互換品。AMAT Mirra CMP装置用。修理/オーバーホールも対応可能。
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ウェハ/ブラシローラーアッシー Wafer/Brush Roller Assy ウェハ/ブラシローラーアッシー Wafer/Brush Roller Assy
¥1,200,000
¥1,200,000
CMP洗浄装置用ブラシタンク用パーツ。ウェハ/ウェーハ/ウェハー・ブラシローラーアッシー。純正P/N:0021-13858/0010-23807などの互換部品。CMP洗浄装置MESA用。修理/オーバーホールも対応可能。
FURON バルブ 2個1セット FURON VALVE 2PC/1SET FURON バルブ 2個1セット FURON VALVE 2PC/1SET
¥232,000
¥232,000
FURON(ヒューロン) HPVM2-F44-NC 2個1セット。FURON NVX2-144NC (旧型)の互換品。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)プラテンシャワー(純水)用。改造無しですぐに利用可能。
4インチ⽤Siフォーカスリングセット RING FOCUS 4S Set 4インチ⽤Siフォーカスリングセット RING FOCUS 4S Set
¥420,000 から
¥420,000 から
  エッチング(ETCHING)装置用4インチ(100mm)⽤シリコン(Si)フォーカスリング。抵抗値1〜30Ω.cm。1D10-350748-21の互換品。10個が最小販売ロット(MOQ)。
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ジンバルベース, Snap-Onタイプ Gimbal Base, Snap-On Type, Pad Conditioner
¥110,000
¥110,000
パッドコンディショナーダイアモンド/ダイヤモンドディスクホルダー。ジンバルベース, スナップオンタイプ(Gimbal Base, Snap-On Type, Pad Conditioner)。P/N:0040-77317の互換品。AMAT CMP装置Mirra用。
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AI/Oボード AI/O Board
¥850,000
¥850,000
AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。アナログI/Oボード(AI/O Board)。VMEラックに取り付けるCPUボードを新品で販売します。P/N:0100-03497REV2/0100-03920/0100-20100の互換品。
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MEIボード MEI Board
¥3,300,000
¥3,300,000
AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。MEIボード(MEI Board)。VMEラックに取り付けるCPUボードを新品で販売。P/N:0660-01705/0190-14502の互換品(型番は要問い合わせ）。
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PRF補助用 樹脂製ローラー Polymer Roller for PRF assistance PRF補助用 樹脂製ローラー Polymer Roller for PRF assistance
¥7,000
¥7,000
チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する樹脂製ローラー。真空台上で吸着したCCWに、Particle Removal Film(PRF)を気泡を追い出しながら押し当てるためのパーツ。 詳しくはこちらから
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Oxide Titan 1 3 Zone Head Assy (Excluding Retainer Ring and Membrane)
¥1,500,000
¥1,500,000
AMAT MirraオキサイドTITAN-1（タイタン1）用のキャリアヘッドAssyです。3ゾーン(ポート)用。リテーナーリング、メンブレンは除く。P/N:0010-77196互換品。0010-77197(Assy,Upper,8"TITAN )、0010-77198(Assy, Lower,Oxide)。   ・表示価格は１個時の単価です。
研磨ヘッドテストプラットフォーム 8インチ専用 Polishing Head Test Platform for 8 inch 研磨ヘッドテストプラットフォーム 8インチ専用 Polishing Head Test Platform for 8 inch
¥11,800,000 から
¥11,800,000 から
装置に取り付ける前にポリッシングのリークチェックをするためのテストプラットフォーム。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。8インチ、3、4ゾーン専用。
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改造ウェハロスセンサー Improved Wafer Loss Sensor 改造ウェハロスセンサー Improved Wafer Loss Sensor
¥160,000
¥160,000
オムロン(OMRON)ウェハロス/ウェハスリップアウトセンサ(ホルダ付き)E3S-BD11(0090-77041)に互換性のあるアップグレードタイプ(代替品)。スリップアウトの誤検知を防止。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。