装置部品

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イオン注入(インプラ/IMP)装置のA1コミュニケーションカード/ボード/PCBの販売。VIIsta 8インチ(200mm)、12インチ(300mm)用。VARIAN/AMAT装置向け。

Flex 45 12インチESC再生 Flex 45 12 INCH ESC Refurbishment

¥3,600,000

エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)。12インチ(300mm)用。P/N:839-800327-390の互換品。LAM/Flex 45用。 ※写真はESCのイメージのため現物とは異なります。

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ASSY ESC RF 200mm フラットハイフロー Assy ESC, RF, Flat DZ Hi flow, outer/AP

¥4,200,000

エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)。8インチ(200mm)用。P/N:0010-07946の互換品。AMAT Centura E-MAX(EMAX)用。 ※写真はESCのイメージのため現物とは異なります。

¥840,000 から

CVD装置用のカバープレート8インチ(200mm)用。P/N:0200-36630、0020-36631の互換品。AMAT Centura DXZチャンバー用。

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ウェハサポート, クリーナー300MM HMVセット WAFER SUPPORT, CLEANER 300MM HVM Set

¥210,000

CMP装置スピンドルシャフト用のウェハ/ウェハーサポートクリーナーHVMのライトサイド(0021-14649)、レフトサイド(0021-14650)、センターサスロット(0021-14651)の1セット。個別販売も可能(MOQ 各2個)。AMAT Reflexion 300mm用。スピンドルシャフトAssyの修理対応も可能。

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長寿命リテーナーリングX3G, Long Life Retainer Ring X3G

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CMP装置用リテーナーリングの寿命、均一性/ユニフォミティ改善モデル。材質はX3G。8インチ(200mm)用のみに対応。AMAT Mirra、EBARA FREX/F-REX200用などに対応。P/N:0040-77243/0040-80952/0040-79583/0040-78263等。詳しくはこちらから

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¥87,000

CMP装置用MASTERFLEXロータリーポンプ用ヘッド。スラリーモーター(チューブポンプ)のヘッド部に取り付くパーツ。ケース材質:PC(ポリカーボネート)、ローターケース材質:SUS(ステンレス)。P/N:7017-21(65S)。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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パッドコンディショナーローテーションモーターギアボックス Pad Cond Rotation Motor Gearbox CGI 017PLX0220-XX3959X

¥400,000

パッドコンディショナーローテーションモーターギアボックス/Pad Cond Rotation Motor Gearbox/Gear Box。 CGI 017PLX0220-XX3959Xの互換品。AMAT Mirra CMP装置用。修理/オーバーホールも対応可能。

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¥1,200,000

CMP洗浄装置用ブラシタンク用パーツ。ウェハ/ウェーハ/ウェハー・ブラシローラーアッシー。純正P/N:0021-13858/0010-23807などの互換部品。CMP洗浄装置MESA用。修理/オーバーホールも対応可能。

¥232,000

FURON(ヒューロン) HPVM2-F44-NC 2個1セット。FURON NVX2-144NC (旧型)の互換品。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)プラテンシャワー(純水)用。改造無しですぐに利用可能。

¥420,000 から

エッチング(ETCHING)装置用4インチ(100mm)⽤シリコン(Si)フォーカスリング。抵抗値1〜30Ω.cm。1D10-350748-21の互換品。10個が最小販売ロット(MOQ)。

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ジンバルベース, Snap-Onタイプ Gimbal Base, Snap-On Type, Pad Conditioner

¥110,000

パッドコンディショナーダイアモンド/ダイヤモンドディスクホルダー。ジンバルベース, スナップオンタイプ(Gimbal Base, Snap-On Type, Pad Conditioner)。P/N:0040-77317の互換品。AMAT CMP装置Mirra用。

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¥850,000

AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。アナログI/Oボード(AI/O Board)。VMEラックに取り付けるCPUボードを新品で販売します。P/N:0100-03497REV2/0100-03920/0100-20100の互換品。

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¥3,300,000

AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。MEIボード(MEI Board)。VMEラックに取り付けるCPUボードを新品で販売。P/N:0660-01705/0190-14502の互換品(型番は要問い合わせ）。

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PRF補助用樹脂製ローラー Polymer Roller for PRF assistance

¥7,000

チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する樹脂製ローラー。真空台上で吸着したCCWに、Particle Removal Film(PRF)を気泡を追い出しながら押し当てるためのパーツ。詳しくはこちらから

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Oxide Titan 1 3 Zone Head Assy (Excluding Retainer Ring and Membrane)

¥1,500,000

AMAT MirraオキサイドTITAN-1（タイタン1）用のキャリアヘッドAssyです。3ゾーン(ポート)用。リテーナーリング、メンブレンは除く。P/N:0010-77196互換品。0010-77197(Assy,Upper,8"TITAN )、0010-77198(Assy, Lower,Oxide)。・表示価格は１個時の単価です。

研磨ヘッドテストプラットフォーム 8インチ専用 Polishing Head Test Platform for 8 inch

¥11,800,000 から

装置に取り付ける前にポリッシングのリークチェックをするためのテストプラットフォーム。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。8インチ、3、4ゾーン専用。

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¥160,000

オムロン(OMRON)ウェハロス/ウェハスリップアウトセンサ(ホルダ付き)E3S-BD11(0090-77041)に互換性のあるアップグレードタイプ(代替品)。スリップアウトの誤検知を防止。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。

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¥4,000,000

製造/生産中止のNSKメガトルクモーター(RZ0810FN507/0190-14344)＋ドライバー(EP0810AF3/AF5/AF8-05)に置き換え可能な(互換性のある)モーター＋ドライバーのセット。AMAT CMP装置 Mirra用。＜DolDolモーター＋ドライバーの従来品に対する優位点＞ DolDolモーターとドライバーは電力効率を高めた新技術を採用モーターの強化設計と改良...

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パッドコンディショナーDDF3ヘッド改造キット Pad Conditioner DDF3 Head Conversion Kit

¥220,000

パッドコンディショナーDDF3(DDF-3)ヘッド用の改造キット。ダイアフラム/ダイヤフラムレスの設計でリークの問題を低減。シリンダー式。組立て手順書含む。AMAT CMP装置Mirra用。P/N:BW412CA43。

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ロボットモーターShoulder軸 Robot Motor Shoulder-Axis

¥170,000

製造/生産中止のウェットロボットショルダー軸モーター(Shoulder Axis Motor P/N:0190-77125)の互換品。当社P/N:BW402L3R3。エンコーダー付。8" High Flex Cable仕様。AMAT CMP装置 Mirra用。詳しくはこちらから

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¥170,000

製造/生産中止のウェットロボットリスト軸モーター(Wrist Axis Motor P/N:0190-16236)の互換品。当社P/N:BW402L2R3。エンコーダー付。4.5" High Flex Cable仕様。AMAT CMP装置 Mirra用。詳しくはこちらから

¥170,000

製造/生産中止のウェットロボットZ軸モーター(Z Axis Motor)。P/N:0190-17944(当社P/N:BW402L1L4) 13" High Flex Cable仕様、P/N:0190-16234(当社BW402L1R5)15ピン仕様の互換品。エンコーダー付。AMAT CMP装置 Mirra用。詳しくはこちらから

Model 308照度計用専用プローブ 220-540nm Probes for Model 308 UV Light Meter

¥220,000 から

UV照度計(パワーメーター/Power Meter)モデル308用専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。 ※w/Handle、および、高温仕様(High Temp)用のプローブは別価格となります。