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装置部品

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Flex 45 12インチESC Flex 45 12 INCH ESC
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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)。12インチ(300mm)用。P/N:839-800327-390の互換品。LAM/Flex 45用。
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パッドコンディショナーカップ DIウォータースプレーレトロフィット PAD CONDITIONER CUP DIW SPRAY RETROFIT パッドコンディショナーカップ DIウォータースプレーレトロフィット PAD CONDITIONER CUP DIW SPRAY RETROFIT
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CMP装置用パッドコンディショナーのクリーンカップポジションに連続でDIウォータースプレーを噴射させるアップグレードパーツ。DDの洗浄を改善し、ディフェクト発生率の低減が可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。 この商品は装置1台につき1個使い、サービスマンによる現地インストレーション作業が必要になります。
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UPAアップグレード圧力トランスデューサー UPA Up-Grade Pressure Transducer
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CMP装置用UPA圧力(プレッシャー)トランスデューサーのアップグレードモデル。全てのヘッドゾーン圧力(RR, IT. PP, EC, UC)に使用可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。 【特徴】1. 圧力トランスデューサーと圧力インジケーターを組み合わせて、レギュレーターからの出力圧力を簡単に確認し、Mirraサービス画面の値と比較します。トラブルシューティングが簡単。2....
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PMリダクションキット PM Reduction Kit
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CMP装置用PMリダクションキット(アップグレードモデル)の販売。インタープラテンクリーン、スプラッシュガード(Long, Short)、スラリーアームベースホルダーによる構成。スラリー残留物が残りにくい設計。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。 P/N: 0040-77741 Cleaner Inter-Platen w/ Shields Consists of 4ea Int...
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SRD ウィールAssy SRD Wheel
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洗浄装置用SRD ウィールAssy SRD Wheelの販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。
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メガソニックタンクベース Assy Megasonic Tank Base
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洗浄装置用メガソニックタンクベースの販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。
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メガソニックHalarタンク Megasonic Halar Tank
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洗浄装置用メガソニックHalarタンクの販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。
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SRDランプAssy (バルブ付き) SRD Lamp Assy with Bulb SRDランプAssy (バルブ付き) SRD Lamp Assy with Bulb
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洗浄装置用SRDランプAssy(バルブ付き)の販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。
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スラリーアームAssy Slurry Arm
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CMP装置用スラリーアームの販売。AMAT Mirra、Reflexion用に複数種類のラインアップ。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。純正P/N：0010-77651等。
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ローツェSmifインデクサー Rorze Smif Indexer
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CMP装置用Smifインデクサーの販売。ロボットはローツェ(Rorze)。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N: RE201-822-005の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
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モーメンタム776 MPシリンダーAssy Momentum 776 MP Cylinder
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CMP装置用MPシリンダーAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0750-111515の互換品。IPEC776用。8インチ/200mm用。
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タイタンヘッドクランプ Titan Head Clamp
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CMP装置用タイタンヘッドクランプの販売。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
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パッドコンディショナー(モーター付き) Pad Cond Assy with Motors パッドコンディショナー(モーター付き) Pad Cond Assy with Motors
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CMP装置用パッドコンディショナーAssy(モーター付き)の販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N: 0010-12344の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
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プラテンモータープーリー & ブッシングAssy Platen Motor Pulley and Bushing プラテンモータープーリー & ブッシングAssy Platen Motor Pulley and Bushing
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CMP装置用プラテンモータープーリー・ブッシングAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
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ロワープラテンAssy & アッパープラテンAssy Lower Platen Assy And Upper Platen ロワープラテンAssy & アッパープラテンAssy Lower Platen Assy And Upper Platen
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CMP装置用プラテン(ロワー・アッパー)Assyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N: 0010-77293の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
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6インチ HCLUパッドプレート & ペデスタルフィルム 6inch HCLU PAD Plate and Pedestal Film
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CMP装置用HCLUロードカップ用の部品販売。パッドプレート、ペデスタルフィルム。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
HCLUロードカップAssy HCLU Load Cup HCLUロードカップAssy HCLU Load Cup
¥4,600,000 から
¥4,600,000 から
CMP装置用HCLUロードカップの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0240-12272/0010-77157/0240-31390等の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。 BW412LC00 - HCLU, 200MM ASSY FOR SALE REFURBISHED ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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ヘッドスウィープモーターAssy Head Sweep Motor
¥1,050,000
¥1,050,000
CMP装置用ヘッドスウィープモーターAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-03697の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
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3ポート ロータリーユニオン 3-Port Rotary Union
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CMP装置研磨ヘッド用3ポート(ゾーン)ロータリーユニオンの販売。主にDublin製品の互換品。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-77127の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
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スピンドルAssy Spindle
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CMP装置用スピンドルAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-77216の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
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ウェットロボットAssy Wet Robot ウェットロボットAssy Wet Robot
¥5,250,000
¥5,250,000
CMP装置用ウェットロボットAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-77676、  0010-77400等。
クロスペデスタル(ハーモニックドライブ)Assy Cross Pedestal (Harmonic Drive)
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CMP装置用クロスペデスタル(ハーモニックドライブ)Assyの販売。標準修理または新品ハーモニックギア交換込みの修理サービスも対応可能。P/N:0010-26153(旧:0010-77141)。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
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パワーサプライ(ボード・カード) Power Supply (Board, Card) パワーサプライ(ボード・カード) Power Supply (Board, Card)
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イオン注入(インプラ/IMP)装置のパワーサプライ(電源)/カード/ボード/PCBの販売。P/N: E21000124の互換品。VIIsta 8インチ(200mm)、12インチ(300mm)用。VARIAN/AMAT装置向け。
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A6 24チャネルIn-Out A6 24 Channel In-Out AD A6 24チャネルIn-Out A6 24 Channel In-Out AD
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イオン注入(インプラ/IMP)装置のA6 24チャネルIn-Out(イン-アウト)カード/ボード/PCBの販売。VIIsta 8インチ(200mm)、12インチ(300mm)用。VARIAN/AMAT装置向け。