改造ウェハロスセンサー Improved Wafer Loss Sensor

オムロン(OMRON)ウェハロス/ウェハスリップアウトセンサ(ホルダ付き)E3S-BD11(0090-77041)に互換性のあるアップグレードタイプ(代替品)。スリップアウトの誤検知を防止。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。