UPAアップグレード圧力トランスデューサー UPA Up-Grade Pressure Transducer

CMP装置用UPA圧力(プレッシャー)トランスデューサーのアップグレードモデル。全てのヘッドゾーン圧力(RR, IT. PP, EC, UC)に使用可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

【特徴】
1. 圧力トランスデューサーと圧力インジケーターを組み合わせて、レギュレーターからの出力圧力を簡単に確認し、Mirraサービス画面の値と比較します。トラブルシューティングが簡単。

2. すべてのヘッドゾーン圧力 (RR、IT、PP、UC、EC) に使用できます。異なるゾーンに2つのレンジタイプのトランスデューサを保持する必要がありません。

3.) 改造無しですぐに取付可能。プロセス接続も同じ。1/8インチNPTオス接続。

【スペック】
・すべてのヘッドゾーン圧力 (RR、IT、PP、EC、UC) に使用可能
・圧力範囲: -15 ～ +15 psi
・範囲タイプ: ゲージ付き双方向
・出力信号: 0-10V (3 線式)
・精度: 0.35%FS
・電気接続: DIN プラグ (0-10V 3 線のみ)
・プロセス接続: 1/8 NPT オス