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装置部品

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DPSスロットルバルブリードスクリューAssy DPS Throttle Valve Leadscrew Assy
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エッチング(Etching)装置用のDPSスロットルバルブリードスクリューAssy の販売。8インチ(200mm)、AMATメタルDPS用。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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DPSメタルスロットルバルブ 5フェーズAssy (ベルトタイプ)DPS, Metal, Throttle Valve 5-Phase Assy ( Belt Type ) DPSメタルスロットルバルブ 5フェーズAssy (ベルトタイプ)DPS, Metal, Throttle Valve 5-Phase Assy ( Belt Type )
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エッチング(Etching)装置用のスロットルバルブAssyの販売。5フェーズ、ベルトタイプ、8インチ(200mm)、AMATメタルDPS用。P/N:0010-30135の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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改良型ウェハセンサー Improved Wafer Sensor 改良型ウェハセンサー Improved Wafer Sensor
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CMP装置用の改良型ウェハセンサー。TITAN-I/1ヘッド用。センサー中央部に圧力がかかった時にのみ反応。誤検知によるローディングエラーの問題を改善。AMAT Mirra用のラインアップ。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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キャリアプレート 黒色ハードアノダイズ Carrier Plate, TITAN-I, Hard Black Ano
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CMP装置用キャリアプレート/メンブレンサポート。TITAN-I/1ヘッド用。純正P/N:0020-79088の互換品。AMAT Mirra用のラインアップ。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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PPSセンタリングジョー/アーム PPS Centering Jaws/Arms
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CMP装置用PPSセンタリングジョー/アーム。純正P/N:0020-78932等の互換品。材質はPPS(※純正はPEEK)。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。AMAT Mirra用のラインアップ。
300mm(12インチ) CMPリテーナーリング, PPS, 300mm(12 inch) Retainer Ring, PPS 300mm(12インチ) CMPリテーナーリング, PPS, 300mm(12 inch) Retainer Ring, PPS
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CMP装置用リテーナーリング。材質はPPS。12インチ(300mm)用。AMAT Reflexion/LK用。P/N:0241-04012/0041-75394/0247-01552/0040-97734等の互換品。
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べーポライザー(べーパーライザー)用オーブン/るつぼ Vaporizer for Oven/Melting Pot べーポライザー(べーパーライザー)用オーブン/るつぼ Vaporizer for Oven/Melting Pot
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イオン注入(インプラ/IMP)装置用べーポライザー(べーパーライザー)用オーブン(るつぼ)の販売。AMAT(Applied Materials) Quantum 3(Ⅲ)用。P/N:9240-03843の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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PC/FC-98・旧型Windows→Windows 10/11変換エミュレーター PC/FC-98・Old type Windows to Windows 10/11 Conversion Emulator PC/FC-98・旧型Windows→Windows 10/11変換エミュレーター PC/FC-98・Old type Windows to Windows 10/11 Conversion Emulator
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NEC製PC-9800/FC-9800または旧型WindowsシリーズのOS/アプリケーションで動いている設備を、既存設備の改良なしでそのまま最新Windows PC上で動作(エミュレート)させることができる老朽化延命対策ソリューション。 老朽化したPCの、いつ起こるかわからない障害に対する不安を解消 生産設備全体のリプレースの必要はなく、生産設備の要である制御用PCのみをリプレース 評価...
Model 308照度計用専用プローブ 220-540nm Probes for Model 308 UV Light Meter
¥200,000 から
¥200,000 から
UV照度計(パワーメーター/Power Meter)モデル308用専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。 ※w/Handle、および、高温仕様(High Temp)用のプローブは別価格となります。
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ホイールスピンアンプ Wheel Spin Amp ホイールスピンアンプ Wheel Spin Amp
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イオン注入(インプラ/IMP)装置用ホイールスピンアンプの販売。AMAT(Applied Materials) 9500/XR/XR80用。P/N:0090-91124の互換品。アンプ(電源)メーカー:MOTECH。MR71※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
マグネットAssy MAGNET ASSY
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PVD(スパッタリング)装置用マグネットAssyの販売。AMAT(Applied Materials) ENDURA用。P/N:0010-20224の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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アイソレーターテフロンクランプ ISOLATOR, CLAMP teflon
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CVD装置用アイソレーターテフロンクランプの販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。P/N:0020-33330の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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カップクランプスクリュー(ブラック) CUP,CLAMP SCREW (BLACK)
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CVD装置用カップクランプスクリュー(ブラック)の販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。P/N:0020-33343の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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プレートレベリングヒーターリフト Plate, Leveling, Heater Lift
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CVD装置用プレートレベリングヒーターリフトの販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。P/N:0020-33346の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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ヒーターリフトブラケット Heater Lift Bracket
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CVD装置用ヒーターリフトブラケットの販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。P/N:0021-09721の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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キャリアロワーヒーターリフトDXZ Carrier, Lower, Heater Lift DXZ
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CVD装置用キャリアロワーヒーターリフトDXZの販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。P/N:0021-70240の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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キャリアアッパーヒーターリフトDXZ Carrier, Upper, Heater Lift DXZ
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CVD装置用キャリアアッパーヒーターリフトDXZの販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。P/N:0021-09723の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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カラードライブヒーターリフトDXZ Collar, Drive, Heater Lift DXZ
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CVD装置用カラードライブヒーターリフトDXZの販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。P/N:0040-45505の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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DXZリフトチューブ DXZ Lift Tube
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CVD装置用DXZリフトチューブの販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。P/N:0021-36715の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
DXZクーリングベース(SSコネクター込み) DXZ Cooling Base with SS Connectors
¥470,000
¥470,000
CVD装置用DXZクーリングベース(SSコネクター込み)の販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。P/N:0040-36783の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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チャンバーリッドカバーDXZ Chamber Lid Cover DXZ
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CVD装置用チャンバーリッドカバーの販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。P/N:0018-38107の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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ガスパネルドア(メッシュグラス込み) Gas Panel Door With Mesh Glass
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CVD装置用ガスパネルドア(メッシュグラス込み)の販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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DXZチャンバーボディー DXZ Chamber Body
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CVD装置用DXZチャンバーボディーの販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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リッドプレートDXZビューリッド LID Plate DXZ View LID
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CVD装置用リッドプレートDXZビューリッドの販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。P/N:0020-34587の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。