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UPAアップグレード圧力トランスデューサー UPA Up-Grade Pressure Transducer

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CMP装置用UPA圧力(プレッシャー)トランスデューサーのアップグレードモデル。全てのヘッドゾーン圧力(RR, IT. PP, EC, UC)に使用可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。【特徴】1. 圧力トランスデューサーと圧力インジケーターを組み合わせて、レギュレーターからの出力圧力を簡単に確認し、Mirraサービス画面の値と比較します。トラブルシューティングが簡単。2....

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CMP装置用PMリダクションキット(アップグレードモデル)の販売。インタープラテンクリーン、スプラッシュガード(Long, Short)、スラリーアームベースホルダーによる構成。スラリー残留物が残りにくい設計。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。 P/N: 0040-77741 Cleaner Inter-Platen w/ Shields Consists of 4ea Int...

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洗浄装置用SRD ウィールAssy SRD Wheelの販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。

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洗浄装置用メガソニックタンクベースの販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。

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洗浄装置用メガソニックHalarタンクの販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。

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SRDランプAssy (バルブ付き) SRD Lamp Assy with Bulb

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洗浄装置用SRDランプAssy(バルブ付き)の販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。

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CMP装置用スラリーアームの販売。AMAT Mirra、Reflexion用に複数種類のラインアップ。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。

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CMP装置用Smifインデクサーの販売。ロボットはローツェ(Rorze)。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N: RE201-822-005の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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モーメンタム776 MPシリンダーAssy Momentum 776 MP Cylinder

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CMP装置用MPシリンダーAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0750-111515の互換品。IPEC776用。8インチ/200mm用。

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CMP装置用タイタンヘッドクランプの販売。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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パッドコンディショナー(モーター付き) Pad Cond Assy with Motors

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CMP装置用パッドコンディショナーAssy(モーター付き)の販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N: 0010-12344の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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プラテンモータープーリー & ブッシングAssy Platen Motor Pulley and Bushing

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CMP装置用プラテンモータープーリー・ブッシングAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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ロワープラテンAssy & アッパープラテンAssy Lower Platen Assy And Upper Platen

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CMP装置用プラテン(ロワー・アッパー)Assyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N: 0010-77293の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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6インチ HCLUパッドプレート & ペデスタルフィルム 6inch HCLU PAD Plate and Pedestal Film

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CMP装置用HCLUロードカップ用の部品販売。パッドプレート、ペデスタルフィルム。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

¥4,600,000 から

CMP装置用HCLUロードカップの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0240-12272/0010-77157/0240-31390等の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。 BW412LC00 - HCLU, 200MM ASSY FOR SALE REFURBISHED ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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¥1,050,000

CMP装置用ヘッドスウィープモーターAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-03697の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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CMP装置研磨ヘッド用3ポート(ゾーン)ロータリーユニオンの販売。主にDublin製品の互換品。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-77127の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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CMP装置用スピンドルAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-77216の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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¥5,250,000

CMP装置用ウェットロボットAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-77676、 0010-77400等。

クロスペデスタル(ハーモニックドライブ)Assy Cross Pedestal (Harmonic Drive)

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CMP装置用クロスペデスタル(ハーモニックドライブ)Assyの販売。標準修理または新品ハーモニックギア交換込みの修理サービスも対応可能。P/N:0010-26153(旧:0010-77141)。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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ウェハサポート, クリーナー300MM HMVセット WAFER SUPPORT, CLEANER 300MM HVM Set

¥210,000

CMP装置スピンドルシャフト用のウェハ/ウェハーサポートクリーナーHVMのライトサイド(0021-14649)、レフトサイド(0021-14650)、センターサスロット(0021-14651)の1セット。個別販売も可能(MOQ 各2個)。AMAT Reflexion 300mm用。スピンドルシャフトAssyの修理対応も可能。

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長寿命リテーナーリングX3G, Long Life Retainer Ring X3G

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CMP装置用リテーナーリングの寿命、均一性/ユニフォミティ改善モデル。材質はX3G。8インチ(200mm)用のみに対応。AMAT Mirra、EBARA FREX/F-REX200用などに対応。P/N:0040-77243/0040-80952/0040-79583/0040-78263等。詳しくはこちらから

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¥87,000

CMP装置用MASTERFLEXロータリーポンプ用ヘッド。スラリーモーター(チューブポンプ)のヘッド部に取り付くパーツ。ケース材質:PC(ポリカーボネート)、ローターケース材質:SUS(ステンレス)。P/N:7017-21(65S)。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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パッドコンディショナーローテーションモーターギアボックス Pad Cond Rotation Motor Gearbox CGI 017PLX0220-XX3959X

¥400,000

パッドコンディショナーローテーションモーターギアボックス/Pad Cond Rotation Motor Gearbox/Gear Box。 CGI 017PLX0220-XX3959Xの互換品。AMAT Mirra CMP装置用。修理/オーバーホールも対応可能。