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パッドコンディショナー(モーター付き) Pad Cond Assy with Motors

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CMP装置用パッドコンディショナーAssy(モーター付き)の販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N: 0010-12344の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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プラテンモータープーリー & ブッシングAssy Platen Motor Pulley and Bushing

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CMP装置用プラテンモータープーリー・ブッシングAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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ロワープラテンAssy & アッパープラテンAssy Lower Platen Assy And Upper Platen

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CMP装置用プラテン(ロワー・アッパー)Assyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N: 0010-77293の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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6インチ HCLUパッドプレート & ペデスタルフィルム 6inch HCLU PAD Plate and Pedestal Film

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CMP装置用HCLUロードカップ用の部品販売。パッドプレート、ペデスタルフィルム。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

¥6,000,000 から

CMP装置用HCLUロードカップの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0240-12272等の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。 BW412LC00 - HCLU, 200MM ASSY FOR SALE REFURBISHED ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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CMP装置用ヘッドスウィープモーターAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-03697の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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CMP装置研磨ヘッド用3ポート(ゾーン)ロータリーユニオンの販売。主にDublin製品の互換品。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-77127の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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CMP装置用スピンドルAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-77216の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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¥5,250,000

CMP装置用ウェットロボットAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-77676、 0010-77400等。

クロスペデスタル(ハーモニックドライブ)Assy Cross Pedestal (Harmonic Drive)

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CMP装置用クロスペデスタル(ハーモニックドライブ)Assyの販売。標準修理または新品ハーモニックギア交換込みの修理サービスも対応可能。P/N:0010-26153(旧:0010-77141)。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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ウェハサポート, クリーナー300MM HMVセット WAFER SUPPORT, CLEANER 300MM HVM Set

¥210,000

CMP装置スピンドルシャフト用のウェハ/ウェハーサポートクリーナーHVMのライトサイド(0021-14649)、レフトサイド(0021-14650)、センターサスロット(0021-14651)の1セット。個別販売も可能(MOQ 各2個)。AMAT Reflexion 300mm用。スピンドルシャフトAssyの修理対応も可能。

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長寿命リテーナーリングX3G, Long Life Retainer Ring X3G

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CMP装置用リテーナーリングの寿命、均一性/ユニフォミティ改善モデル。材質はX3G。8インチ(200mm)用のみに対応。AMAT Mirra、EBARA FREX/F-REX200用などに対応。P/N:0040-77243/0040-80952/0040-79583/0040-78263等。詳しくはこちらから

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MASTERFLEXロータリーポンプ用ヘッド 3個セット Rotary Pump Head 3pc/set

¥180,000

CMP装置用MASTERFLEXロータリーポンプ用ヘッド。スラリーモーター(チューブポンプ)のヘッド部に取り付くパーツ。ケース材質:PC(ポリカーボネート)、ローターケース材質:SUS(ステンレス)。P/N:7017-21(65S)。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。 ※3個セットでの販売。単品の場合の価格は別途。

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パッドコンディショナーローテーションモーターギアボックス Pad Cond Rotation Motor Gearbox CGI 017PLX0220-XX3959X

¥400,000

パッドコンディショナーローテーションモーターギアボックス/Pad Cond Rotation Motor Gearbox/Gear Box。 CGI 017PLX0220-XX3959Xの互換品。AMAT Mirra CMP装置用。修理/オーバーホールも対応可能。

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¥1,200,000

CMP洗浄装置用ブラシタンク用パーツ。ウェハ/ウェーハ/ウェハー・ブラシローラーアッシー。純正P/N:0021-13858/0010-23807などの互換部品。CMP洗浄装置MESA用。修理/オーバーホールも対応可能。

¥232,000

FURON(ヒューロン) HPVM2-F44-NC 2個1セット。FURON NVX2-144NC (旧型)の互換品。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)プラテンシャワー(純水)用。改造無しですぐに利用可能。

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ジンバルベース, Snap-Onタイプ Gimbal Base, Snap-On Type, Pad Conditioner

¥110,000

パッドコンディショナーダイアモンド/ダイヤモンドディスクホルダー。ジンバルベース, スナップオンタイプ(Gimbal Base, Snap-On Type, Pad Conditioner)。P/N:0040-77317の互換品。AMAT CMP装置Mirra用。

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¥850,000

AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。アナログI/Oボード(AI/O Board)。VMEラックに取り付けるCPUボードを新品で販売します。P/N:0100-03497REV2/0100-03920/0100-20100の互換品。

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¥3,300,000

AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。MEIボード(MEI Board)。VMEラックに取り付けるCPUボードを新品で販売。P/N:0660-01705/0190-14502の互換品(型番は要問い合わせ）。

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Oxide Titan 1 3 Zone Head Assy (Excluding Retainer Ring and Membrane)

¥1,500,000

AMAT MirraオキサイドTITAN-1（タイタン1）用のキャリアヘッドAssyです。3ゾーン(ポート)用。リテーナーリング、メンブレンは除く。P/N:0010-77196互換品。0010-77197(Assy,Upper,8"TITAN )、0010-77198(Assy, Lower,Oxide)。・表示価格は１個時の単価です。

研磨ヘッドテストプラットフォーム 8インチ専用 Polishing Head Test Platform for 8 inch

¥11,800,000 から

装置に取り付ける前にポリッシングのリークチェックをするためのテストプラットフォーム。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。8インチ、3、4ゾーン専用。

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¥160,000

オムロン(OMRON)ウェハロス/ウェハスリップアウトセンサ(ホルダ付き)E3S-BD11(0090-77041)に互換性のあるアップグレードタイプ(代替品)。スリップアウトの誤検知を防止。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。

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¥4,000,000

製造/生産中止のNSKメガトルクモーター(RZ0810FN507/0190-14344)＋ドライバー(EP0810AF3/AF5/AF8-05)に置き換え可能な(互換性のある)モーター＋ドライバーのセット。AMAT CMP装置 Mirra用。＜DolDolモーター＋ドライバーの従来品に対する優位点＞ DolDolモーターとドライバーは電力効率を高めた新技術を採用モーターの強化設計と改良...

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パッドコンディショナーDDF3ヘッド改造キット Pad Conditioner DDF3 Head Conversion Kit

¥220,000

パッドコンディショナーDDF3(DDF-3)ヘッド用の改造キット。ダイアフラム/ダイヤフラムレスの設計でリークの問題を低減。シリンダー式。組立て手順書含む。AMAT CMP装置Mirra用。P/N:BW412CA43。