パッドコンディショナースイッチングバルブ Pad Conditioner Switching Valve

CMP装置用のパッドコンディショナースイッチングバルブ。Parker製バルブアッシーに置き換わる改良タイプ。リーク問題の改善、「プラグ＆プレイ」で装置へのインストールが簡単（15分以内）、寿命5年以上の性能改善モデル。TITAN-I/1ヘッド用。AMAT Mirra用のラインアップ。

形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。