改良型ウェハセンサー Improved Wafer Sensor

CMP装置用の改良型ウェハセンサー。TITAN-I/1ヘッド用。センサー中央部に圧力がかかった時にのみ反応。誤検知によるローディングエラーの問題を改善。AMAT Mirra用のラインアップ。

形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。