CMP

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¥1,200,000

CMP洗浄装置用ブラシタンク用パーツ。ウェハ/ウェーハ/ウェハー・ブラシローラーアッシー。純正P/N:0021-13858/0010-23807などの互換部品。CMP洗浄装置MESA用。修理/オーバーホールも対応可能。

¥232,000

FURON(ヒューロン) HPVM2-F44-NC 2個1セット。FURON NVX2-144NC (旧型)の互換品。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)プラテンシャワー(純水)用。改造無しですぐに利用可能。

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ジンバルベース, Snap-Onタイプ Gimbal Base, Snap-On Type, Pad Conditioner

¥110,000

パッドコンディショナーダイアモンド/ダイヤモンドディスクホルダー。ジンバルベース, スナップオンタイプ(Gimbal Base, Snap-On Type, Pad Conditioner)。P/N:0040-77317の互換品。AMAT CMP装置Mirra用。

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¥850,000

AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。アナログI/Oボード(AI/O Board)。VMEラックに取り付けるCPUボードを新品で販売します。P/N:0100-03497REV2/0100-03920/0100-20100の互換品。

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¥3,300,000

AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。MEIボード(MEI Board)。VMEラックに取り付けるCPUボードを新品で販売。P/N:0660-01705/0190-14502の互換品(型番は要問い合わせ）。

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Oxide Titan 1 3 Zone Head Assy (Excluding Retainer Ring and Membrane)

¥1,500,000

AMAT MirraオキサイドTITAN-1（タイタン1）用のキャリアヘッドAssyです。3ゾーン(ポート)用。リテーナーリング、メンブレンは除く。P/N:0010-77196互換品。0010-77197(Assy,Upper,8"TITAN )、0010-77198(Assy, Lower,Oxide)。・表示価格は１個時の単価です。

研磨ヘッドテストプラットフォーム 8インチ専用 Polishing Head Test Platform for 8 inch

¥11,800,000 から

装置に取り付ける前にポリッシングのリークチェックをするためのテストプラットフォーム。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。8インチ、3、4ゾーン専用。

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¥160,000

オムロン(OMRON)ウェハロス/ウェハスリップアウトセンサ(ホルダ付き)E3S-BD11(0090-77041)に互換性のあるアップグレードタイプ(代替品)。スリップアウトの誤検知を防止。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。

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¥4,000,000

製造/生産中止のNSKメガトルクモーター(RZ0810FN507/0190-14344)＋ドライバー(EP0810AF3/AF5/AF8-05)に置き換え可能な(互換性のある)モーター＋ドライバーのセット。AMAT CMP装置 Mirra用。＜DolDolモーター＋ドライバーの従来品に対する優位点＞ DolDolモーターとドライバーは電力効率を高めた新技術を採用モーターの強化設計と改良...

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パッドコンディショナーDDF3ヘッド改造キット Pad Conditioner DDF3 Head Conversion Kit

¥220,000

パッドコンディショナーDDF3(DDF-3)ヘッド用の改造キット。ダイアフラム/ダイヤフラムレスの設計でリークの問題を低減。シリンダー式。組立て手順書含む。AMAT CMP装置Mirra用。P/N:BW412CA43。

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ロボットモーターShoulder軸 Robot Motor Shoulder-Axis

¥170,000

製造/生産中止のウェットロボットショルダー軸モーター(Shoulder Axis Motor P/N:0190-77125)の互換品。当社P/N:BW402L3R3。エンコーダー付。8" High Flex Cable仕様。AMAT CMP装置 Mirra用。詳しくはこちらから

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¥170,000

製造/生産中止のウェットロボットリスト軸モーター(Wrist Axis Motor P/N:0190-16236)の互換品。当社P/N:BW402L2R3。エンコーダー付。4.5" High Flex Cable仕様。AMAT CMP装置 Mirra用。詳しくはこちらから

¥170,000

製造/生産中止のウェットロボットZ軸モーター(Z Axis Motor)。P/N:0190-17944(当社P/N:BW402L1L4) 13" High Flex Cable仕様、P/N:0190-16234(当社BW402L1R5)15ピン仕様の互換品。エンコーダー付。AMAT CMP装置 Mirra用。詳しくはこちらから

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アナログニューマティックボードアップグレードアッシー Analog Pneumatics Board Up-grade ASSY

¥1,200,000

製造/生産中止の純正デュアルチャネル(Dual Channel)アナログニューマティックス/ニュートロ二クスI/Oボード(P/N:0050-01091)に互換性のある改造キット。デジタル式。AMAT CMP装置 Mirra用。

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QCギアボックスアップグレードモデル 0010-25969/0021-18493 QC Gear Box Upgrade model

¥910,000

洗浄装置用ブラシタンク用QCギアボックスのアップグレードモデル。P/N:0010-25969/0021-18493の互換品。ギア外れ防止、部品の部分交換、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。詳しくはこちらから

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QCウェットサイドAssyアップグレードモデル 0010-25969 QC Wetside Assy Upgrade model

¥1,320,000

洗浄装置用ブラシタンク用QCウェットサイド(Wet Side)のアップグレードモデル。P/N:0010-25969の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。詳しくはこちらから

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QCドライサイドAssyアップグレードモデル 0010-25970 QC Dryside Assy Upgrade model

¥1,320,000

洗浄装置用ブラシタンク用QCドライサイド(Dry Side)のアップグレードモデル。P/N:0010-25970の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。詳しくはこちらから

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¥40,000

フレクサー Flexure。P/N:0040-77343の互換品。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。研磨ヘッド(Polishing Head)用パーツ。3個1ロットで販売。SUS製。当社P/N:SA18-0085-00。 ※最小販売ロット数3個詳しくはこちらから