CMP

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ロボットモーターShoulder軸 Robot Motor Shoulder-Axis

¥170,000

製造/生産中止のウェットロボットショルダー軸モーター(Shoulder Axis Motor P/N:0190-77125)の互換品。当社P/N:BW402L3R3。エンコーダー付。8" High Flex Cable仕様。AMAT CMP装置 Mirra用。詳しくはこちらから

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¥170,000

製造/生産中止のウェットロボットリスト軸モーター(Wrist Axis Motor P/N:0190-16236)の互換品。当社P/N:BW402L2R3。エンコーダー付。4.5" High Flex Cable仕様。AMAT CMP装置 Mirra用。詳しくはこちらから

¥170,000

製造/生産中止のウェットロボットZ軸モーター(Z Axis Motor)。P/N:0190-17944(当社P/N:BW402L1L4) 13" High Flex Cable仕様、P/N:0190-16234(当社BW402L1R5)15ピン仕様の互換品。エンコーダー付。AMAT CMP装置 Mirra用。詳しくはこちらから

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アナログニューマティックボードアップグレードアッシー Analog Pneumatics Board Up-grade ASSY

¥1,200,000

製造/生産中止の純正デュアルチャネル(Dual Channel)アナログニューマティックス/ニュートロ二クスI/Oボード(P/N:0050-01091)に互換性のある改造キット。デジタル式。AMAT CMP装置 Mirra用。

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QCギアボックスアップグレードモデル 0010-25969/0021-18493 QC Gear Box Upgrade model

¥910,000

洗浄装置用ブラシタンク用QCギアボックスのアップグレードモデル。P/N:0010-25969/0021-18493の互換品。ギア外れ防止、部品の部分交換、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。詳しくはこちらから

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QCウェットサイドAssyアップグレードモデル 0010-25969 QC Wetside Assy Upgrade model

¥1,320,000

洗浄装置用ブラシタンク用QCウェットサイド(Wet Side)のアップグレードモデル。P/N:0010-25969の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。詳しくはこちらから

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QCドライサイドAssyアップグレードモデル 0010-25970 QC Dryside Assy Upgrade model

¥1,320,000

洗浄装置用ブラシタンク用QCドライサイド(Dry Side)のアップグレードモデル。P/N:0010-25970の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。詳しくはこちらから

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¥40,000

フレクサー Flexure。P/N:0040-77343の互換品。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。研磨ヘッド(Polishing Head)用パーツ。3個1ロットで販売。SUS製。当社P/N:SA18-0085-00。 ※最小販売ロット数3個詳しくはこちらから

改良型クロスカバー（防スラリーモデル）0020-79378 Modified Cross Cover (Anti-slurry model)

¥300,000 から

CMP装置改良型クロスカバー(スラリー付着防止モデル)。P/N:0020-79378の互換品。スラリーが付着しにくくコンタミ/パーティクル問題を改善するアップグレード品。AMAT Reflexion用。詳しくはこちらから

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¥700,000

CMP装置用スラリーアーム(Slurry Arm)。純正P/N:0010-77651等の互換品。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。AMAT Mirra/Reflexion用のラインアップ。

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¥1,960,000

AMAT CMP装置Reflexion LK用パーツ。形状や型番は写真と異なる場合がありますので都度問い合わせください。

¥220,000

洗浄装置用メガローラー(Mega Roller)。純正P/N:0040-43238/0040-87416/0040-87418等の互換品。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。AMAT MESA用のラインアップ。

¥100,000

洗浄装置用メガアイドラー(Mega Idler)。純正P/N:0010-77582/0010-17014等の互換品。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。AMAT MESA用のラインアップ。

¥85,000 から

製造/生産中止のフロッピーディスク(FD/Floppy Disk)をSDカードに置き換えるための変換機器/アダプター。PC/FC9801、AT互換機に対応。SCSI通信規格用も別途ラインアップ。詳しくはこちらから

コンパクトフラッシュ(CF)ユニット Compact Flash (CF) Unit

¥200,000

製造/生産中止のフロッピーディスク(FD/Floppy Disk)をConpact Flash(CF)に置き換えるための変換機器/アダプター。SCSI通信規格専用。主にAMATの装置(Centura/Endura/Producer等への互換性)。詳しくはこちらから

RAID1デュアルハードディスクシステム RAID1 Dual HDD System

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3.5インチのHDDサイズで設計されたRAID１(ミラーリング)コントロールユニット。SCSI/IDE通信規格のハードディスク内データをSATA規格のデータに変換して2.5インチSATA HDへの保存が可能。2枚のHDを収納し自動でミラーリングを開始。ホットスワップ機能付で瞬停時のデータロスの心配も無し。詳しくはこちらから