PMリダクションキット PM Reduction Kit

CMP装置用PMリダクションキット(アップグレードモデル)の販売。インタープラテンクリーン、スプラッシュガード(Long, Short)、スラリーアームベースホルダーによる構成。スラリー残留物が残りにくい設計。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

P/N: 0040-77741 Cleaner Inter-Platen w/ Shields

Consists of 4ea Inter-Platen Block, Splash Guards, Spray Nozzle