パッドコンディショナーカップ DIウォータースプレーレトロフィット PAD CONDITIONER CUP DIW SPRAY RETROFIT

CMP装置用パッドコンディショナーのクリーンカップポジションに連続でDIウォータースプレーを噴射させるアップグレードパーツ。DDの洗浄を改善し、ディフェクト発生率の低減が可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

この商品は装置1台につき1個使い、サービスマンによる現地インストレーション作業が必要になります。