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PHOTOLITHOGRAPHY

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オートマチックノッチアライナー Automatic notch aligner オートマチックノッチアライナー Automatic notch aligner
ASK
ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。   Automatic notch aligner (WHS-A3) l  接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造 l  複数のアライメントプログラム: 標準、薄型/複合ウェハ、エッジ検査 l  ±1°ノッチアライメント...
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マニュアルノッチアライナー Manual notch aligner マニュアルノッチアライナー Manual notch aligner
ASK
ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。   Manual notch aligner (WHS-A4) l  接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造 l  200mmウェハ用の上部と下部のノッチアライメント l  ウェハを優しく取り扱うためのバネ式ノッチキャッ...
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オートマチックフラットアライナー Automatic flat aligner オートマチックフラットアライナー Automatic flat aligner
ASK
ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。   Automatic wafer flat aligner (WHS-A1) l  接地されたウェハとカセットのパスを備えた帯電防止構造 l  クリーニングとメンテナンスを簡素化するクイックディスコネクトローラー l  ±1以内の...
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ウェハソーター Wafer sorter ウェハソーター Wafer sorter
ASK
カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。   多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
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マニュアルウェハフラットアライナー (WHS-A2) Manual wafer flat aligner マニュアルウェハフラットアライナー (WHS-A2) Manual wafer flat aligner
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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。   WHS-A2 シリーズは、76 mm (3インチ) から 150 mm (6インチ) までのウェハの上部と下部のバルクアライメント用に設計された手動ウェハフラットアライナーです。InP、GaAs、GaN、SiC などの複合ウェハ...
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セーフガードウェハトランスファー Safeguard wafer transfer セーフガードウェハトランスファー Safeguard wafer transfer
ASK
カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。   多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
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オートマチックウェハトランスファー Automatic wafer transfer オートマチックウェハトランスファー Automatic wafer transfer
ASK
カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。   多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
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マニュアルウェハトランスファー Manual wafer transfer マニュアルウェハトランスファー Manual wafer transfer
ASK
カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。   多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
POLOSホットプレート 350アドバンスド POLOS HOTPLATE 350 Advanced POLOSホットプレート 350アドバンスド POLOS HOTPLATE 350 Advanced
¥2,060,000
¥2,060,000
プリベーク・ポストベークに適したデスクトップサイズのホットプレート。用途に合わせたカスタマイズが可能。精密温度制御、アラートサウンド機能付き。研究開発(R&D)向け。 詳しくはこちらから POLOS Hotplate 350 Advanced• Voltage: 230 VAC Temperature Range: 50 - 230°C - Programmable storage...
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POLOS 450 NPPアドバンスドPPスピンプロセッサー POLOS450 NPP Advanced PP Spin Processor【予約品】 POLOS 450 NPPアドバンスドPPスピンプロセッサー POLOS450 NPP Advanced PP Spin Processor【予約品】
ASK
POLOS 450 アドバンスド シングル サブストレート スピン プロセッサ、デスクトップ バージョン、NPP ハウジング、スピンカップ、手動ケミカル ディスペンス、ヘビー デューティ モーター付き。空気力学的に効率的なチャンバーが均一性を高め、天然ポリプロピレンまたはステンレス スチールのプロセス チャンバーが汚染のない、簡単に清掃できるプロセス領域を保証します。すべてのユニットに、プロ...
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POLOS Spin300x アドバンスドスピンコーターテーブルトップ POLOS Spin300x Advanced Spin Coater Tabletop 【予約品】 POLOS Spin300x アドバンスドスピンコーターテーブルトップ POLOS Spin300x Advanced Spin Coater Tabletop 【予約品】
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1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの300mm(12インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。 【使用可能基板サイズ】 最大...
POLOS Spin200x デスクトップ POLOS Spin200x【予約品】 POLOS Spin200x デスクトップ POLOS Spin200x【予約品】
from ¥1,540,000
from ¥1,540,000
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの200mm(8インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。 【使用可能基板サイズ】 最大 φ...
POLOS Spin150x デスクトップ POLOS Spin150x POLOS Spin150x デスクトップ POLOS Spin150x
from ¥1,020,000
from ¥1,020,000
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの150mm(6インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。 【使用可能基板サイズ】 最大 φ...
Desktop Nanoparticle Generator VSP P-1+G1 Desktop Nanoparticle Generator VSP P-1+G1
from ¥35,700,000
from ¥35,700,000
A printer option to add to the VSP-G1 desktop device that produces nanoparticles. Nanoparticles can be printed on the substrate by using together with G1. It is possible to create high-purity inor...
Desktop Hot Plates Desktop Hot Plates
from ¥860,000
from ¥860,000
Desktop-sized hot plate suitable for pre-baking and post-baking. Customization is possible according to the application. Precision temperature control with alert sound function. For research and d...
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POLOS µWriter POLOS µWriter
¥8,220,000
¥8,220,000
POLOS microwriter that enables optical exposure (photolithography). With confocal microscope. Equipped with microlaser control software. Mainly for 405nm laser. For research and development (R&...
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POLOS µPrinter POLOS µPrinter
¥9,460,000
¥9,460,000
POLOS micro printer that enables maskless exposure (photolithography). Equipped with software capable of micro-structuring, duplication and stitching. For research and development (R&D). POL...
Model 308/308T UV Illumination Meter Model 308/308T Light Meter
from ¥320,000
from ¥320,000
Handy type UV illumination meter (Power Meter). The successor model of the old model 306 manufactured by OAI. Calibration service is also available. We also sell dedicated probes (365nm, 400nm, 420...
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Nano-pattern exposure system PhableR 100
¥120,000,000
¥120,000,000
Desktop type nano-pattern exposure (photolithography) equipment. Using the Talbot effect, it is possible to perform batch exposure with a half-pitch of 150 nm for periodic structures. Ideal for de...
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Model 659 UV Energy Analyzer
¥2,500,000
¥2,500,000
Handy type UV illuminance meter (power meter) with touch screen and built-in USB. The successor model of the old model 358 manufactured by OAI. Calibration service is also available. We also sell d...
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Model 2000 edge bead exposure system for mass production
ASK
Single-sided mask aligner (adhesion/proximity/contact exposure) system. optical. Fully automatic/fully automatic. For medium volume production. Flood exposure/edge bead exposure is possible. For e...
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UV light source Series30 stand-alone type UV light source Series30 stand-alone type
ASK
UV light source (Light source). Collimated light source for photolithography/exposure/photolithography applications. Made by OAI. For semiconductors, MEMS, research and development (R&D), low ...
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Model 32 UV LED light source
ASK
UV LED light source (Light source). Collimated light source for photolithography/exposure/photolithography applications. Made by OAI. For semiconductors, MEMS, research and development (R&D), ...
Sold Out
Model 6020 Automatic mask aligner for large substrates for mass production
ASK
Single-sided mask aligner (adhesion/proximity/contact exposure) system. optical. Fully automatic/fully automatic. For liquid crystal/FPD/LCD/flat panel displays and medium mass production. Large s...