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Repair/Rebuild/OH

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プラテン(静電チャック/ESC/Eチャック)再生/修理 Platen(ESC/ECHUCK) Refurbishment/Repair
ASK
イオン注入(インプラ/IMP)装置のプラテン/静電チャック(ESC/ECHUCK)の再生/修理。純正P/N:E11144768/E11488220/E11488221/E11488222互換品。AMAT(Applied Materials)/Varian VIISta用。 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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静電チャック(ESC/Eチャック)再生/修理 ESC/ECHUCK Refurbishment/Repair 静電チャック(ESC/Eチャック)再生/修理 ESC/ECHUCK Refurbishment/Repair
ASK
イオン注入(インプラ/IMP)装置の静電チャック(ESC/ECHUCK)の再生/修理。純正P/N:NI970858の互換品。Exceed2000/2300用。
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M1020 2PH Motor Repair kit (N) CM010HK30
ASK
・品名：M1020 2PH Motor Repair kit (N) ・Description：Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。 ・純正P/N：CM010HK30
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M1020 2PH Motor Repair kit (O) CM010HK20
ASK
・品名：M1020 2PH Motor Repair kit (O) ・Description：Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。 ・純正P/N：CM010HK20
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M350 2PH Motor Repair Kit CM008HK20
ASK
・品名：M350 2PH Motor Repair Kit ・Description：Cryo Torr-8、8F、250FクライオポンプまたはOn Board-8、8F、250Fクライオポンプ用。 ・純正P/N：CM008HK20
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CT/OB-10 15K Array CT010V030
ASK
・品名：CT/OB-10 15K Array ・Description：Cryo Torr-10クライオポンプまたはOn Board-10クライオポンプに適しています。 ・純正P/N：CT010V030
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CT/OB-8 15K Array CT008V030
ASK
・品名：CT/OB-8 15K Array ・Description：Cryo Torr-8クライオポンプまたはOn Board-8クライオポンプに適しています。 ・純正P/N：CT008V030
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スピンドル修理 Spindle Repair スピンドル修理 Spindle Repair
ASK
CMP装置用スピンドルの修理。標準修理。スピードファム(SPEEDFAM)向け。
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スピンドル修理 Spindle Repair スピンドル修理 Spindle Repair
ASK
CMP装置用スピンドルの修理。標準修理。スクリーン(SCREEN) MP3000向け。
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ターンテーブルモーター修理 Turn Table Repair
ASK
CMP装置用ターンテーブルモーターの修理/オーバーホール。主にベアリングの交換。P/N:C-5172-042-0001/K89EB7341B。EBARA(荏原) EPO用。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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8インチポリイミド静電チャック再生(ESC/Eチャック) 8INCH Polyimide ECHUCK(ESC) Refurbishment
ASK
エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の再生。アルミ(Al)アルマイト(アノダイズ)再生＋ESC貼り換え、ESC貼り換えのみの二通りの再生。8インチ(200mm)用。AMAT(Applied Materials)。P/N:0041-34688/0010-10327/0040-99949の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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ホイールスピンアンプ修理 Wheel Spin Amp Repair ホイールスピンアンプ修理 Wheel Spin Amp Repair
ASK
イオン注入(インプラ/IMP)装置用ホイールスピンアンプの修理。AMAT(Applied Materials) 9500/XR/XR80用。P/N:0090-91124の互換品。アンプ(電源)メーカー:MOTECH。MR71※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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静電チャック(ESC/Eチャック)用電源修理 ESC/ECHUCK Power Supply Repair 静電チャック(ESC/Eチャック)用電源修理 ESC/ECHUCK Power Supply Repair
ASK
イオン注入(インプラ/IMP)装置の静電チャック(ESC/ECHUCK)用電源の修理。純正P/N:E19283790、E11287900の互換品。電源メーカー:TREK 681B。AMAT(VARIAN) VIISta810用。
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QC Dryside Assy Repair/Overhaul with Upgrade 0010-25970
ASK
Repair/overhaul with upgrade of QC Dry Side for cleaning equipment brush tanks. Compatible with P/N: 0010-25970. Performance such as weight reduction, corrosion resistance, and smooth rotation can ...
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QC Wetside Assy Repair/Ovehaul with Upgrade 0010-25969
ASK
Repair/overhaul with upgrade of QC Wet Side for cleaning equipment brush tanks. Compatible with P/N: 0010-25969. Performance such as weight reduction, corrosion resistance, and smooth rotation can ...
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QC Gear Box Repair/Overhaul with Upgrade
ASK
Repair/overhaul with upgrade of QC gearbox for cleaning equipment brush tank. Compatible with P/N: 0010-25969/0021-18493. It is possible to achieve performance such as gear detachment prevention, p...
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Pump I/O Repair PUMP I/O Repair Pump I/O Repair PUMP I/O Repair
ASK
Pump I/O Repair Pump I/O Repair. P/N: 2980-091285-11 (Compatible with model number HTE-PP1-A-11 (TAB1500). For TEL ACT8.
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Anodized Aluminum・Al2O3/Y2O3 parts refurbishment Anodized Aluminum・Al2O3/Y2O3 parts refurbishment
ASK
Cleaning and recycling service for aluminum (Al) anodized/alumina (Al2O3)/yttrium/yttrium (Y2O3) parts for etching equipment. Dry ice cleaning allows cleaning without damaging parts. Upper/lower e...
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Anodized Aluminum parts refurbishment
ASK
A recycling service for aluminum (Al) anodized/anodized parts for etching equipment. Upper/lower electrodes, electrodes, top/bottom plates, electrostatic chucks (ESC/E chucks), baffle plates, depo...
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Ion Source Upgrade
ASK
An upgrade that remodels the ion source (ion source) of the ion implantation (implant/IMP) system from the standard Bernas type to the IHC (cathode) type. A long life ion source can be realized. An...
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Vacuum Valve Repair/Overhaul Vacuum Valve Repair/Overhaul
ASK
Repair and overhaul of vacuum gate valves for semiconductor manufacturing equipment. Mainly for VAT, HVA, etc. For sputtering (PVD), CVD, etching, and ion implantation (implantation/IMP) equipment...
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Heater, Echuck/E-Chuck Refurbishment Heater, Echuck/E-Chuck Refurbishment
ASK
Regeneration of electrostatic chucks (ESC/E chucks) and heaters for sputtering (PVD) and CVD equipment. Compatible with Centura HDP, TXZ/WXZ/CXZ/DXZ, Producer, P5000 (P-5000), ENDURA5500, etc. Pla...
OAI UV Illuminometer (Power Meter) Calibration OAI UV Illuminometer (Power Meter) Calibration
from ¥100,000
from ¥100,000
Calibration service for UV illuminometers and probes made by OAI in the United States. Compatible with Model306/308/311/316/317/356/357/358/359/457/459/656/659, all 380 series. Probes are 365/400/...
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Electrostatic Chuck (ESC/E Chuck) Refurbishment Echuck/E-Chuck Refurbishment Electrostatic Chuck (ESC/E Chuck) Refurbishment Echuck/E-Chuck Refurbishment
ASK
Regeneration of electrostatic chucks (ESC/E chucks) for etching equipment. Compatible with Centura DPS, Super-e, MXP+, TCP/Alliance 9400/9600, Exelan-Hpt, Flex, Kiyo, UNITY, 8500, DRM, SCCM, etc. P...