Repair/Rebuild/OH

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ロワーニューマティックボード修理 LOWER PNEUMATIC Board Repair

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CMP装置用Lower Pneumaticボード No.1の修理。P/N：0100-77017に対応。リードタイム：受注後約5～6週間保証：納入後3ケ月 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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インターロックボード No.1修理 Interlock Board No.1 Repair

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CMP装置用インターロックボード No.1の修理。P/N：0100-77037に対応。リードタイム：受注後約5～6週間保証：納入後3ケ月 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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CMP装置用MKS製UPAの修理。MKS製。修理後のコントローラーは専用のテスト機での動作確認を実施。P/N：0190-15378Rに対応。 ※クリアベースとコントロールボードの修理は含まれません。　-ベースにクラックがある場合は修理不可　-コントロールボードのメインCPUに結果がある場合は修理不可リードタイム：受注後約5～6週間保証：納入後3ケ月 ※写真は代表的なものを載せて...

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WXZヒーター150mm再生　Heater ASSY 6”Uni-Body CPR WXZ Heater Refurbishment

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CVD装置用ヒーターの再生。AMAT(Applied Materials) Centura 6インチ(150mm)用。P/N:0010-10741等の修理。 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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イオン注入(IMP)装置のレゾネーターDIボード修理。NV-GSD-HE用。P/N:15S2270-Sの修理。 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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from ¥55,000

【VAT製APCバルブの修理費用】・品名：VAT製APCバルブ・型式：61140-PH52-ABU1 ・症状：シャフト部リークにより真空度NG ・リードタイム：受注後約4～5週間＜特記事項＞特殊部品の交換が必要となる場合、別途御見積の対象となります。

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Sulzer製コーティング装置磁気シール修理 Sulzer Magnetic Fluid Seal Repair

¥359,000

Sulzer製コーティング装置磁気シールフェローテック製磁気シール P/N：52-132501A S/N：C13760 ・作業費・故障解析・パーツ交換・組⽴調整　1式￥225,000 （ベアリング・Ｏリング・磁性流体交換含む）・内部研磨・洗浄作業費　1式　￥65,000 ・検査費（Heリーク試験） 1式　￥65,000 ・梱包・送料　1式　￥4,000 ・保証期間：納⼊後3か⽉...

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MKS UPAコントローラー(4ポート用)修理 MKS UPA Controller 4-port

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CMP装置用MKS製UPAコントローラー(4ポートタイプ）の修理。MKS製。修理後のロボットは専用のテスト機での動作確認を実施。P/N：0190-15840/0190-24854/0190-24857/0190-25647/0190-25733/0190-38324/0190-11803等に対応。【修理内容】 1. 分解前のコントローラーのテスト 2. 圧力・真空流量の校正 3. コ...

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CVD装置用オゾンジェネレーターの修理。AMAT(Applied Materials) Centura用。P/N:0190-35872等の修理。 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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M1020 2PH Motor Repair kit (N) CM010HK30

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・品名：M1020 2PH Motor Repair kit (N) ・Description：Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。・純正P/N：CM010HK30

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M1020 2PH Motor Repair kit (O) CM010HK20

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・品名：M1020 2PH Motor Repair kit (O) ・Description：Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。・純正P/N：CM010HK20

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・品名：M350 2PH Motor Repair Kit ・Description：Cryo Torr-8、8F、250FクライオポンプまたはOn Board-8、8F、250Fクライオポンプ用。・純正P/N：CM008HK20

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・品名：CT/OB-10 15K Array ・Description：Cryo Torr-10クライオポンプまたはOn Board-10クライオポンプに適しています。・純正P/N：CT010V030

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・品名：CT/OB-8 15K Array ・Description：Cryo Torr-8クライオポンプまたはOn Board-8クライオポンプに適しています。・純正P/N：CT008V030

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CMP装置用スピンドルの修理。標準修理。スピードファム(SPEEDFAM)向け。

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CMP装置用スピンドルの修理。標準修理。スクリーン(SCREEN) MP3000向け。

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CMP装置用ターンテーブルモーターの修理/オーバーホール。主にベアリングの交換。P/N:C-5172-041-0001/C-5172-042-0001/K89EB7341B。EBARA(荏原) EPO用。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。

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12インチ高温用MCAヒーター/チャック再生 12INCH Hi Temp MCA Heater/Chuck Refurbishment

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スパッタリング(Sputtering/PVD)装置用の高温用MCAヒーター/チャックの再生/修理。12インチ(300mm)用。AMAT CENTURA/ENDURA TXZ。P/N:0010-28715の互換品。

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スパッタリング(Sputtering/PVD)装置用の高温用MCAヒーター/チャックの再生/修理。12インチ(300mm)用。AMAT ENDURA。P/N:0010-23066の互換品。

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イオン注入(インプラ/IMP)装置用ホイールスピンアンプの修理。AMAT(Applied Materials) 9500/XR/XR80用。P/N:0090-91124の互換品。アンプ(電源)メーカー:MOTECH。MR71※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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QC Dryside Assy Repair/Overhaul with Upgrade 0010-25970

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Repair/overhaul with upgrade of QC Dry Side for cleaning equipment brush tanks. Compatible with P/N: 0010-25970. Performance such as weight reduction, corrosion resistance, and smooth rotation can ...

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QC Wetside Assy Repair/Ovehaul with Upgrade 0010-25969

ASK

Repair/overhaul with upgrade of QC Wet Side for cleaning equipment brush tanks. Compatible with P/N: 0010-25969. Performance such as weight reduction, corrosion resistance, and smooth rotation can ...

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QC Gear Box Repair/Overhaul with Upgrade

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Repair/overhaul with upgrade of QC gearbox for cleaning equipment brush tank. Compatible with P/N: 0010-25969/0021-18493. It is possible to achieve performance such as gear detachment prevention, p...

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Pump I/O Repair Pump I/O Repair. P/N: 2980-091285-11 (Compatible with model number HTE-PP1-A-11 (TAB1500). For TEL ACT8.