Collection:
アクセサリー(周辺機器)
42 products
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オートプレゼンター Auto wafer presenter
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クリーンルーム環境における作業効率の向上とウェハ損傷リスクの低減を目的とした、多用途のウェハプレゼンターを提供しています。WHS-Pシリーズには4つの基本モデルがあり、それぞれ最先端の材料を用いて設計されているため、ウェハハンドリング性が向上し、手作業によるウェハ操作による傷のリスクを最小限に抑えることができます。
ウェハの検査、特定のウェハの選択、ウェハIDの確認など、WHSはお客様のニー...
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シングルウェハプレゼンター Single wafer presenter
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クリーンルーム環境における作業効率の向上とウェハ損傷リスクの低減を目的とした、多用途のウェハプレゼンターを提供しています。WHS-Pシリーズには4つの基本モデルがあり、それぞれ最先端の材料を用いて設計されているため、ウェハハンドリング性が向上し、手作業によるウェハ操作による傷のリスクを最小限に抑えることができます。
ウェハの検査、特定のウェハの選択、ウェハIDの確認など、WHSはお客様のニー...
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ウェハ5枚用プレゼンター 5-wafer presenter
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クリーンルーム環境における作業効率の向上とウェハ損傷リスクの低減を目的とした、多用途のウェハプレゼンターを提供しています。WHS-Pシリーズには4つの基本モデルがあり、それぞれ最先端の材料を用いて設計されているため、ウェハハンドリング性が向上し、手作業によるウェハ操作による傷のリスクを最小限に抑えることができます。
ウェハの検査、特定のウェハの選択、ウェハIDの確認など、WHSはお客様のニー...
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ウェハエスカレーター Wafer Escalators
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WHS-P2マニュアルエスカレーターは、独自の階段状機構によりカセット内の各ウェハを段階的に上昇させ、ウェハIDとロット番号の確認を容易にします。このツールは、カセット内のすべてのウェハを、過度なハンドリングなしに明瞭に確認する必要があるオペレーターに最適です。
l 独自のダブルアングルリフトコーム設計により、エッジの欠けを防止
l 読み取りを容易にしたウェハスロット構造(前のスロッ...
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水平マスクピック Horizontal mask pick
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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。
WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。
WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1...
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サイドマスクピック Side mask pick
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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。
WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。
WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1...
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EUVマスクピック EUV mask pick
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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。
WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。
WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1...
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交換カセット Replacement cassettes
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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メタルカセットハンドル Metal cassette handles
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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12インチ専用アルミメタルプロセスカセット Aluminum metal process cassette 300 mm
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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ステンレススチールカセット Stainless steel cassette
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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レガシーカセット アルミコート トップスリーブタイプ Legacy cassette, aluminum (coated) top opened
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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レガシーカセット アルミコート 天板タイプ Legacy cassette, aluminum (coated) top closed
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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カスタムプロセス アルミ製カセット 8インチ25スロット Custom process Aluminum Cassettes 8inch-25 slots
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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カスタムプロセス アルミ製カセット 6インチ25スロット Custom process Aluminum Cassettes 6inch-25 slots
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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カスタムプロセス アルミ製カセット 4インチ25スロット Custom process Aluminum Cassettes 4inch-25 slots
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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カスタムプロセス アルミ製カセット 3インチ25スロット Custom process Aluminum Cassettes 3inch-25 slots
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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アルミ製カセット 25スロット Aluminum Process Cassettes 25 slots
ASK
高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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アルミ製カセット 13スロット Aluminum Process Cassettes 13 slots
ASK
高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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真空ピンセット用コード Vacuum cords
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真空ピンセット(Vacuum wands)用コード。このコードは、PU素材、導電性ポリウレタン素材から作られており、手触りの良い軽量な 「バネ 」フィーリングを確保しながら、摩耗や圧着に対する弾力性を確保しています。特にISO 3クリーンルーム環境で高いパフォーマンスを発揮します。
Coil cord conductive polyurethane (WHS-V3)
l頑丈な圧着防止設計
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G3テーブルトップホルダー G3 tabletop holder
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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。
・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。
・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...
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化学ウェハピック Chemistry wafer picks
ASK
ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。
・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。
・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...
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メカニカルウェハピック Mechanical Wafer Picks
ASK
ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。
・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。
・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...
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Taiko® ウェハピック Taiko® wafer picks
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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。
・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。
・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...
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