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アクセサリー(周辺機器)

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クリーンルーム環境における作業効率の向上とウェハ損傷リスクの低減を目的とした、多用途のウェハプレゼンターを提供しています。WHS-Pシリーズには4つの基本モデルがあり、それぞれ最先端の材料を用いて設計されているため、ウェハハンドリング性が向上し、手作業によるウェハ操作による傷のリスクを最小限に抑えることができます。 ウェハの検査、特定のウェハの選択、ウェハIDの確認など、WHSはお客様のニー...
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クリーンルーム環境における作業効率の向上とウェハ損傷リスクの低減を目的とした、多用途のウェハプレゼンターを提供しています。WHS-Pシリーズには4つの基本モデルがあり、それぞれ最先端の材料を用いて設計されているため、ウェハハンドリング性が向上し、手作業によるウェハ操作による傷のリスクを最小限に抑えることができます。 ウェハの検査、特定のウェハの選択、ウェハIDの確認など、WHSはお客様のニー...
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クリーンルーム環境における作業効率の向上とウェハ損傷リスクの低減を目的とした、多用途のウェハプレゼンターを提供しています。WHS-Pシリーズには4つの基本モデルがあり、それぞれ最先端の材料を用いて設計されているため、ウェハハンドリング性が向上し、手作業によるウェハ操作による傷のリスクを最小限に抑えることができます。 ウェハの検査、特定のウェハの選択、ウェハIDの確認など、WHSはお客様のニー...
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WHS-P2マニュアルエスカレーターは、独自の階段状機構によりカセット内の各ウェハを段階的に上昇させ、ウェハIDとロット番号の確認を容易にします。このツールは、カセット内のすべてのウェハを、過度なハンドリングなしに明瞭に確認する必要があるオペレーターに最適です。   l  独自のダブルアングルリフトコーム設計により、エッジの欠けを防止 l  読み取りを容易にしたウェハスロット構造(前のスロッ...
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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。   WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。 WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1...
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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。   WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。 WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1...
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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。   WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。 WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1...
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。   WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。   ・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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真空ピンセット(Vacuum wands)用コード。このコードは、PU素材、導電性ポリウレタン素材から作られており、手触りの良い軽量な 「バネ 」フィーリングを確保しながら、摩耗や圧着に対する弾力性を確保しています。特にISO 3クリーンルーム環境で高いパフォーマンスを発揮します。 Coil cord conductive polyurethane (WHS-V3) l頑丈な圧着防止設計 ...
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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。 ・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。 ・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...
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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。 ・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。 ・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...
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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。 ・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。 ・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...
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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール(ウェハグリッパー)。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。 ・G1およびG2モデル:エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。 ・G3モデル:独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...