CMP

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¥232,000

・FURON NVX2-144NC (旧型)の互換品・プラグ＆プレイのためすぐに取付可能・2個1セットが最小ロット

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ジンバルベース, Snap-Onタイプ Gimbal Base, Snap-On Type, Pad Conditioner

¥110,000

パッドコンディショナー用のジンバルベース（ダイアモンド/ダイヤモンド）ディスクホルダー（Diamond Disk Holder）。P/N : 0040-77317の互換品。

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パッドコンディショナーDDF3ヘッド改造キット Pad Conditioner DDF3 Head Conversion Kit

¥220,000

パッドコンディショナーキット、DDF3ヘッド、Balanceworxシリンダーレトロフィット、組立て手順書含む

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¥40,000

AMAT CMP装置MIRRA用パーツ。形状や型番は写真と異なる場合がありますので都度問い合わせください。 ※最小販売ロット数3個詳しくはこちらから

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¥850,000

Mirra 3400用のAI/Oボード。型式については別途お問い合わせください。

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¥3,300,000

純正パーツNo. 0660-01705または0190-14502に互換性のあるMEIボード。型式については別途お問い合わせください。

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Oxide Titan 1 3 Zone Head Assy (Excluding Retainer Ring and Membrane)

¥1,500,000

AMAT Mirra TITAN-1ヘッド用のキャリアヘッドAssyです。・3ゾーン仕様・リテーナーリング、メンブレンは含みません。・表示価格は１個時の単価です。

研磨ヘッドテストプラットフォーム 8インチ専用 Polishing Head Test Platform for 8 inch

from ¥11,800,000

装置に取り付ける前にポリッシングのリークチェックをするためのテストプラットフォームです。 8インチ、3、4ゾーン専用

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¥160,000

●オムロンウェハロスセンサ（ホルダ付き）E3S-BD11 (0090-77041)に互換性のあるアップグレードタイプのウェハロスセンサー（代替品） ●@160,000×4個（MOQ）からの販売改良型センサは次の点で、純正旧型タイプよりも優れた性能を発揮します。・まず旧型オムロンセンサは既に廃版品で市場での入手が困難です。・旧型センサは、ヘッドからのウェハのスリップアウトを誤検知したり、...

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¥4,000,000

・製造中止で入手困難なNSKメガトルクモーター＋ドライバーに置き換え可能な互換性のあるモーター＋ドライバーのセットです。・ケーブル、コネクター、メカニカルホルダーAssy等のインターフェースキットを含んでいるため既存モーター＋ドライバーとの乗せ換えが容易です。・新品販売のため供給不足の問題に遭遇することがありません。

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ロボットモーターShoulder軸 Robot Motor Shoulder-Axis

¥170,000

P/N: BW402L3R3 | OEM P/N: 0190-77125 Comes with encoder and 8″ high flex cable 詳しくはこちらから

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¥170,000

P/N: BW402L2R3 | OEM P/N: 0190-16236 Comes with encoder and 4.5″ high flex cable 詳しくはこちらから

¥170,000

P/N: BW402L1R4 | OEM P/N: 0190-17944 Comes with encoder and 13″ high flex cable P/N: BW402L1R5 | OEM P/N: 0190-16234 Comes with encoder and high flex cable 15 pin type 詳しくはこちらから

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アナログニューマティックボードアップグレードアッシー Analog Pneumatics Board Up-grade ASSY

¥1,200,000

・製造中止の純正Dual Channelアナログニューマティックボード（P/N：0050-01091）に置き換わるUp-gradeキットです。・本Up-gradeキットはデジタル式のため即座でより鮮明なエアーの読み取りが可能になります。・装置1台に2個必要だったアナログボードを本Up-gradeキット1式で性能をカバーします。・本Up-gradeキットを購入後、現場スタッフのみでセッテ...

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QCギアボックスアップグレードモデル 0010-25969/0021-18493 QC Gear Box Upgrade model

¥910,000

AMAT CMP装置MESA用パーツ。ギア外れ防止、部品の部分交換、スムースな回転等の機能面でオリジナル品の問題点を改善しています。形状や型番は写真と異なる場合がありますので都度問い合わせください。詳しくはこちらから

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QCウェットサイドAssyアップグレードモデル 0010-25969 QC Wetside Assy Upgrade model

¥1,320,000

AMAT CMP装置MESA用パーツ。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の機能面でオリジナル品の問題点を改善しています。形状や型番は写真と異なる場合がありますので都度問い合わせください。詳しくはこちらから

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QCドライサイドAssyアップグレードモデル 0010-25970 QC Dryside Assy Upgrade model

¥1,320,000

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改良型クロスカバー（防スラリーモデル）0020-79378 Modified Cross Cover (Anti-slurry model)

¥400,000

AMAT CMP装置Reflexion用パーツ。スラリーが付着しにくくコンタミ/パーティクル問題を改善した改良タイプのクロスカバー。形状や型番は写真と異なる場合がありますので都度問い合わせください。詳しくはこちらから

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¥700,000

AMAT CMP装置Mirra/Reflexion用パーツ。形状や型番は写真と異なる場合がありますので都度問い合わせください。

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¥1,960,000

AMAT CMP装置Reflexion LK用パーツ。形状や型番は写真と異なる場合がありますので都度問い合わせください。

¥220,000

AMAT洗浄装置MESA用パーツ。形状や型番は写真と異なる場合がありますので都度問い合わせください。

¥100,000

AMAT洗浄装置MESA用パーツ。形状や型番は写真と異なる場合がありますので都度問い合わせください。

from ¥85,000

フロッピーディスク（FD）内にあるデータを最新のメディア（SDカード）に保存可能にする「データ信号変換型の記録システム」です。一般的なPC対応モデル（PC98シリーズ、その他PC：PC/AT互換機向け）から産業用途向けモデル（SCSI規格の製造装置/工作機械向け）までの複数のラインナップを取り揃えています。詳しくはこちらから

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コンパクトフラッシュ(CF)ユニット Compact Flash (CF) Unit

ASK

SCSI規格のFDDの置換えユニットです。※現在では製造中止となっているFDドライブ、及び3.5インチFD（メディア）の入手は困難な状況となっています。 AMAT社装置を中心に多くの販売実績があります。一番の特徴はアクセススピードの速さです。※使用方法は、これまでご使用のFDDと全く同じです。装置の改造や設定変更なども一切必要ありません。詳しくはこちらから