Collection:
PHOTOLITHOGRAPHY
18 products
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Model 659 UVエネルギーアナライザー
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¥2,300,000
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¥2,300,000
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タッチスクリーン式、USB内蔵のコンパクトなハンディタイプのUV照度計です。専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm)と併用することで幅広いステッパー用途の波長の測定が可能になります。
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model
対応波長帯域
強度レンジ
Model659
365nm – 436nm
~7,500mW/cm2
電源
3.7V充電式リチウ...
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CCW再生用_樹脂製真空台用_真空ポンプ Vacuum Pump for polymer vacuum plate for CCW recycle
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¥90,000
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¥90,000
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日東工器社製真空ポンプ
真空到達圧:-53.3kPa、吐出空気量が60L/min付属品:φ6エアーチューブ(2m)、エアーON/OFFハンドバルブ、サイレンサー付き)市販(ミスミ等)の真空レギュレータ等を使用することで減圧可能となります。※過去ミスミ製RVV6AG
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Model 308/308T UV照度計 Model 308/308T Light Meter
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from ¥320,000
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【Model 308】
Relative Accuracy:275-2000 mw/cm2 range: ±(.042% of reading +.450 mw/cm2)*0-275 mw/cm2 range ±(.089% of reading +.0545 mw/cm2)*Linearity:0-275 mw/cm2 range ±(.002% of reading +.0297 mw/...
Model 308照度計用専用プローブ 220-540nm Probes for Model 308 UV Light Meter
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RAID1デュアルハードディスクシステム RAID1 Dual HDD System
ASK
3.5インチのHDDサイズで設計された、RAID1(ミラーリング)コントロールユニットです。内部には現行の通信規格であるSATA(シリアルATA)タイプの2.5インチHDDを2枚搭載し、万一、1枚のHDDがクラッシュしても、もう片方の正常なHDDにより装置停止を回避します。半導体製造装置を中心に多くの搭載実績を持つ商品です。
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コンパクトフラッシュ(CF)ユニット Compact Flash (CF) Unit
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SCSI規格のFDDの置換えユニットです。※現在では製造中止となっているFDドライブ、及び3.5インチFD(メディア)の入手は困難な状況となっています。 AMAT社装置を中心に多くの販売実績があります。一番の特徴はアクセススピードの速さです。※使用方法は、これまでご使用のFDDと全く同じです。装置の改造や設定変更なども一切必要ありません。
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チャッククリーニングウェハ(CCW) 12インチ Chuck Cleaning Wafer 12 inch
ASK
チャック上のゴミ/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。簡単な使用方法で、ダミーウェハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減を実現します。
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チャッククリーニングウェハ(CCW) 4インチ Chuck Cleaning Wafer 4 inch
ASK
チャック上のゴミ/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。簡単な使用方法で、ダミーウェハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減を実現します。
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チャッククリーニングウェハ(CCW) 5インチ Chuck Cleaning Wafer 5 inch
ASK
チャック上のゴミ/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。簡単な使用方法で、ダミーウェハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減を実現します。
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※5インチ用CCWは、予備も含めてSiウェハをご支給いただくことを前提とさせていただきます。
チャッククリーニングウェハ(CCW) 6025ガラスマスク用 Chuck Cleaning Wafer for Glass Mask 6025
ASK
チャック上のゴミ/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。簡単な使用方法で、ダミーウェハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減を実現します。
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チャッククリーニングウェハ(CCW) 6インチ Chuck Cleaning Wafer 6 inch
ASK
チャック上のゴミ/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。簡単な使用方法で、ダミーウェハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減を実現します。
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チャッククリーニングウェハ(CCW) 8インチ Chuck Cleaning Wafer 8 inch
ASK
チャック上のゴミ/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。簡単な使用方法で、ダミーウェハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減を実現します。
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フロッピーディスク(FD)⇒SDカード変換型ユニット「Masty」
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from ¥85,000
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from ¥85,000
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フロッピーディスク(FD)内にあるデータを最新のメディア(SDカード)に保存可能にする「データ信号変換型の記録システム」です。一般的なPC対応 モデル(PC98シリーズ、その他PC:PC/AT互換機向け)から産業用途向けモデル (SCSI規格の製造装置/工作機械向け)までの複数のラインナップ を取り揃えています。
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樹脂製真空台 2層 12,8,6,5,4インチ 各インチ専用タイプ
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from ¥170,000
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from ¥170,000
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チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生する時に使用する、CCW固定用の真空台。CCW接地面が樹脂のため、傷やパーティクル発生のリスクを低減できます。12~4インチ用CCWの再生が可能になります。
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樹脂製真空台 3層 12,8,6,5,4インチプレート交換可能タイプ
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from ¥280,000
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チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生する時に使用する、CCW固定用の真空台。CCW接地面が樹脂のため、傷やパーティクル発生のリスクを低減できます。最上層の樹脂プレートを交換することで12~4インチ用CCWの再生が可能になります。
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PRF補助用 樹脂製ローラー Polymer Roller for PRF assistance
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¥7,000
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¥7,000
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真空台上で吸着したCCWに、Particle Removal Film(PRF)を気泡を追い出しながら押し当てるための樹脂製ローラーです。CCW再生時に必要なアイテムです。
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