Collection:
IMP
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プラテン(静電チャック/ESC/Eチャック)再生/修理 Platen(ESC/ECHUCK) Refurbishment/Repair
ASK
イオン注入(インプラ/IMP)装置のプラテン/静電チャック(ESC/ECHUCK)の再生/修理。純正P/N:E11144768/E11488220/E11488221/E11488222互換品。AMAT(Applied Materials)/Varian VIISta用。
※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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静電チャック(ESC/Eチャック)再生/修理 ESC/ECHUCK Refurbishment/Repair
ASK
イオン注入(インプラ/IMP)装置の静電チャック(ESC/ECHUCK)の再生/修理。純正P/N:NI970858の互換品。Exceed2000/2300用。
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M1020 2PH Motor Repair kit (N) CM010HK30
ASK
・品名:M1020 2PH Motor Repair kit (N)
・Description:Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。
・純正P/N:CM010HK30
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M1020 2PH Motor Repair kit (O) CM010HK20
ASK
・品名:M1020 2PH Motor Repair kit (O)
・Description:Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。
・純正P/N:CM010HK20
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M350 2PH Motor Repair Kit CM008HK20
ASK
・品名:M350 2PH Motor Repair Kit
・Description:Cryo Torr-8、8F、250FクライオポンプまたはOn Board-8、8F、250Fクライオポンプ用。
・純正P/N:CM008HK20
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CT/OB-10 15K Array CT010V030
ASK
・品名:CT/OB-10 15K Array
・Description:Cryo Torr-10クライオポンプまたはOn Board-10クライオポンプに適しています。
・純正P/N:CT010V030
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CT/OB-8 15K Array CT008V030
ASK
・品名:CT/OB-8 15K Array
・Description:Cryo Torr-8クライオポンプまたはOn Board-8クライオポンプに適しています。
・純正P/N:CT008V030
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ホイールスピンアンプ修理 Wheel Spin Amp Repair
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イオン注入(インプラ/IMP)装置用ホイールスピンアンプの修理。AMAT(Applied Materials) 9500/XR/XR80用。P/N:0090-91124の互換品。アンプ(電源)メーカー:MOTECH。MR71※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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静電チャック(ESC/Eチャック)用電源修理 ESC/ECHUCK Power Supply Repair
ASK
イオン注入(インプラ/IMP)装置の静電チャック(ESC/ECHUCK)用電源の修理。純正P/N:E19283790、E11287900の互換品。電源メーカー:TREK 681B。AMAT(VARIAN) VIISta810用。
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Ion Source Upgrade
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An upgrade that remodels the ion source (ion source) of the ion implantation (implant/IMP) system from the standard Bernas type to the IHC (cathode) type. A long life ion source can be realized. An...
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Vacuum Valve Repair/Overhaul Vacuum Valve Repair/Overhaul
ASK
Repair and overhaul of vacuum gate valves for semiconductor manufacturing equipment. Mainly for VAT, HVA, etc. For sputtering (PVD), CVD, etching, and ion implantation (implantation/IMP) equipment...
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PCB Board Repair Board Repair
ASK
PCB board repair for ion implantation (implantation/IMP) equipment. Compatible with General I/O DI board, IHC source controller PCB, etc. Repair on the premise that there are no missing board parts...
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HV/High Voltage Power Supply Repair
ASK
Repair of HV power supply (high voltage power supply) for ion implantation (implantation/IMP) equipment. Power supply: OL8000/104/02 (A1010070), Stack: OL8000/104/01 (A1010080). Also compatible wi...
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Electrostatic Chuck (ESC/E Chuck) Refurbishment Echuck/E-Chuck Refurbishment
ASK
Regeneration of electrostatic chucks (ESC/E chucks) for ion implantation (implantation/IMP) equipment. Reproduction with upgrades that extend durability and lifespan than genuine products. Compati...
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Vacuum Pump (Cryo/Turbo/Dry/Rotary) Repair/Overhaul
ASK
Repair and overhaul (O/H, OH) of vacuum pumps (cryo, turbo, dry, rotary, etc.) for semiconductor manufacturing equipment. For sputtering (PVD), CVD, etching, and ion implantation (IMP). Helix: CT-...
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HYT Probe/Particle Monitor/Sensor Repair/Cleaning
ASK
Repair and cleaning of HYT probes/particle monitors/sensors (sensors) for ion implantation (implantation/IMP) equipment. Laser diodes, beam stops, photodiodes (window photocells) can also be repla...
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