CVD

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VAT S.10846-UE28バルブ用シールキットの販売。VAT S.10846-UE24も共通。【内訳】 1-1) Gate Compl 1個 1-2) Counter Plate 1個 1-3) Bonnet Gasket 1個 1-4) Bellows Gasket 1個 1-5) Leaf Spring 1個 1-6) Ball Stainless 1個 1-7) Bellow...

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Pfeiffer Vacuumアングルバルブ修理/再生/OH(オーバーホール)。P/N:PF A48 204(AVC 025 PA)、PF A58 204(AVC 040 PA)等の修理。納期：受注後約4～8週間保証：納入後3ケ月 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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WXZヒーター150mm再生　Heater ASSY 6”Uni-Body CPR WXZ Heater Refurbishment

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CVD装置用ヒーターの再生。AMAT(Applied Materials) Centura 6インチ(150mm)用。P/N:0010-10741等の修理。 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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CVD装置用オゾンジェネレーターの修理。AMAT(Applied Materials) Centura用。P/N:0190-35872等の修理。 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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Vacuum Valve Repair/Overhaul Vacuum Valve Repair/Overhaul

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Repair and overhaul of vacuum gate valves for semiconductor manufacturing equipment. Mainly for VAT, HVA, etc. For sputtering (PVD), CVD, etching, and ion implantation (implantation/IMP) equipment...

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Regeneration of electrostatic chucks (ESC/E chucks) and heaters for sputtering (PVD) and CVD equipment. Compatible with Centura HDP, TXZ/WXZ/CXZ/DXZ, Producer, P5000 (P-5000), ENDURA5500, etc. Pla...

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Vacuum Pump (Cryo/Turbo/Dry/Rotary) Repair/Overhaul

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Repair and overhaul (O/H, OH) of vacuum pumps (cryo, turbo, dry, rotary, etc.) for semiconductor manufacturing equipment. For sputtering (PVD), CVD, etching, and ion implantation (IMP). Helix: CT-...