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PVD

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・品名:M1020 2PH Motor Repair kit (N) ・Description:Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。 ・純正P/N:CM010HK30
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・品名:M1020 2PH Motor Repair kit (O) ・Description:Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。 ・純正P/N:CM010HK20
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・品名:M350 2PH Motor Repair Kit ・Description:Cryo Torr-8、8F、250FクライオポンプまたはOn Board-8、8F、250Fクライオポンプ用。 ・純正P/N:CM008HK20
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・品名:CT/OB-10 15K Array ・Description:Cryo Torr-10クライオポンプまたはOn Board-10クライオポンプに適しています。 ・純正P/N:CT010V030
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・品名:CT/OB-8 15K Array ・Description:Cryo Torr-8クライオポンプまたはOn Board-8クライオポンプに適しています。 ・純正P/N:CT008V030
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Repair and overhaul of vacuum gate valves for semiconductor manufacturing equipment. Mainly for VAT, HVA, etc. For sputtering (PVD), CVD, etching, and ion implantation (implantation/IMP) equipment...
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Regeneration of electrostatic chucks (ESC/E chucks) and heaters for sputtering (PVD) and CVD equipment. Compatible with Centura HDP, TXZ/WXZ/CXZ/DXZ, Producer, P5000 (P-5000), ENDURA5500, etc. Pla...
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Repair and overhaul (O/H, OH) of vacuum pumps (cryo, turbo, dry, rotary, etc.) for semiconductor manufacturing equipment. For sputtering (PVD), CVD, etching, and ion implantation (IMP). Helix: CT-...